一种微波等离子体炬无尖端放电的点火方法技术

本发明专利技术公开了一种微波等离子体炬无尖端放电的点火方法，属于微波应用技术领域，采用微波等离子体炬；向放电管输入氩气；微波发生器开启，并将工作模式设定为连续波工作模式，微波发生器通过微波输送装置向放电管内的氩气输入连续波；确认放电管内的氩气是否产生等离子体；放电管内的氩气产生等离子体，向放电管输入工作气体，再停止输入氩气。本发明专利技术的一种微波等离子体炬无尖端放电的点火方法，不需要探针等尖端放电结构，免去复杂的探针动作机构，可实现自动化点火，具有稳定可靠，零部件寿命长等特点。

【技术实现步骤摘要】
一种微波等离子体炬无尖端放电的点火方法
本专利技术属于微波应用
，具体地说涉及一种微波等离子体炬无尖端放电的点火方法。
技术介绍
微波等离子体炬的放电管内产生等离子体，要求发生装置的电场强度达到工作气体的击穿场强，才能对工作气体进行电离，产生活跃的等离子体成分。在大气压下激励等离子体所需的电场强度往往远高于维持等离子体的电场强度，尤其在微波等离子体放电中，需要外加高强度的局部电场来激励工作气体放电。对于连续波工作的微波等离子体放电，只需一次点火然后撤开激发装置便可通过连续的微波输入耦合来维持等离子体的放电过程。因此，要使得微波等离子体炬发生装置内产生气体击穿所需的击穿场强，一般在发生装置内设置有金属尖或是聚集电场的装置，但由于一般的微波等离子体炬发生装置内不存在这些装置，所以，在进行微波等离子体点火的时候，我们需要手动或自动用一个金属尖端去击穿工作气体使其放电，产生等离子体。目前通常采用的激励装置是在波导管耦合口处用特斯拉线圈或者用钨电极施加交流高压电点火或者是把放电区域抽成低气压直接点火，后提升气压至大气压来完成。这样点火的方式自动化程本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种微波等离子体炬无尖端放电的点火方法，其特征在于：采用微波等离子体炬；所述微波等离子体炬包括微波发生器(1)、微波输送装置(2)、屏蔽外壳(3)和放电管(4)；所述放电管(4)贯穿屏蔽外壳(3)；所述屏蔽外壳(3)上设有馈口；所述馈口用于接收微波发生器(1)通过微波输送装置(2)输入的微波；所述放电管(4)用于输入工作气体并接收馈口输入的微波；所述微波发生器(1)至少有连续波工作模式；包括以下步骤：/n步骤S10，向放电管(4)输入氩气；/n步骤S20，微波发生器(1)开启，并将工作模式设定为连续波工作模式，微波发生器(1)通过微波输送装置(2)向放电管(4)内的氩气输入连续波；/n步骤...

【技术特征摘要】
1.一种微波等离子体炬无尖端放电的点火方法，其特征在于：采用微波等离子体炬；所述微波等离子体炬包括微波发生器(1)、微波输送装置(2)、屏蔽外壳(3)和放电管(4)；所述放电管(4)贯穿屏蔽外壳(3)；所述屏蔽外壳(3)上设有馈口；所述馈口用于接收微波发生器(1)通过微波输送装置(2)输入的微波；所述放电管(4)用于输入工作气体并接收馈口输入的微波；所述微波发生器(1)至少有连续波工作模式；包括以下步骤：
步骤S10，向放电管(4)输入氩气；
步骤S20，微波发生器(1)开启，并将工作模式设定为连续波工作模式，微波发生器(1)通过微波输送装置(2)向放电管(4)内的氩气输入连续波；
步骤S30，确认放电管(4)内的氩气是否产生等离子体；
步骤S40，放电管(4)内的氩气产生等离子体，向放电管(4)输入工作气体，再停止输入氩气。


2.根据权利要求1所述的一种微波等离子体炬无尖端放电的点火方法，其特征在于：步骤S40之后有步骤S50；步骤S50为：向放电管(4)输入待处理气体。


3.根据权利要求2所述的一种微波等离子体炬无尖端放电的点火方法，其特征在于：所述微波输送装置(2)包括压缩波导(5)；所述放电管(4)包括位于屏蔽外壳(3)上方的进管部(6)、位于屏蔽外壳(3)内部的可透微波管部(7)和位于屏蔽外壳(3)下方的出管部(8)；所述进管部(6)上设有工作进气管(9)和处理进气管(10)；所述工作进气管(9)连有盘绕在进管部(6)外壁的工作进气盘管(11)；所述处理进气管(10)连有盘绕在压缩波导(5)外壁的处理进气盘管(12)；所述步骤S10中，准备向放电管(4)输入的氩气首先进入工作进气盘管(11)，再经过工作进气管(9)进入放电管(4)；所述步骤S40中，准备向放电管(4)输入的工作气体首先...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨阳，黄卡玛，朱铧丞，
申请(专利权)人：四川大学，
类型：发明
国别省市：四川;51