一种小型射频等离子体喷枪制造技术

本实用新型专利技术提供一种小型射频等离子体喷枪，其特征在于，包括：等离子喷头、屏蔽手柄、固定射频匹配器、气路、同轴电缆以及调频射频电源；等离子喷头包括针式内电极、介质毛细管和外导体；射频固定匹配器包括电容、电感、射频输入接头、射频输出端和电路板；射频匹配采用固定匹配器和调频方式结合，完成自动匹配功能。本实用新型专利技术利用小型固定射频匹配器，可以在保证人体安全的情况下尽可能缩小等离子体喷枪的体积重量，操作简单，使用便捷，可广泛应用于牙医和小型等离子加工领域。

A small RF plasma gun

【技术实现步骤摘要】
一种小型射频等离子体喷枪
本技术涉及射频等离子体喷枪领域，尤其涉及一种用于牙医和小型等离子加工的小型射频等离子体喷枪。
技术介绍
等离子体喷枪是用于形成和控制等离子弧以及喷涂材料和保护气输送的装置，小型等离子体喷枪可以用于牙医和小型等离子加工，目前在上述领域通用的常压等离子体喷枪，采用中频电源(20KHz-50KHz)和直流高压电源供电，其缺点在于：1.等离子密度低，能量大，在接触人体时会产生刺痛感；2.由于采用高压电源，容易造成高压电击，存在安全隐患。采用射频电源驱动等离子喷枪，可以较好地克服这些缺点，射频等离子喷枪相对中频和直流喷枪，具有以下优点：1.等离子体能量小，接触人体时没有刺痛感，减少人体恐惧感,增加安全性；2.由于频率较高，形成射频等离子体时电压较小，安全可靠，不会造成高压电击危险，适合人体应用；3.等离子密度高，杀菌消毒效果更好。射频等离子喷枪的研究一直受到重视，但现有射频等离子喷枪不能得到广泛应用，原因在于：1.射频匹配器体积较大，且只能与喷枪紧密相连；2.喷枪整体体积较大，不能方便移动，限制其应用于口腔等小容积空间；本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种小型射频等离子体喷枪，其特征在于，包括：等离子喷头、屏蔽手柄、固定射频匹配器、气路、同轴电缆以及调频射频电源，其中，调频射频电源与同轴电缆连接，同轴电缆与射频等离子体喷枪连接，固定射频匹配器位于屏蔽手柄内部，射频等离子体喷枪与气路软管连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种小型射频等离子体喷枪，其特征在于，包括：等离子喷头、屏蔽手柄、固定射频匹配器、气路、同轴电缆以及调频射频电源，其中，调频射频电源与同轴电缆连接，同轴电缆与射频等离子体喷枪连接，固定射频匹配器位于屏蔽手柄内部，射频等离子体喷枪与气路软管连接。


2.根据权利要求1所述的小型射频等离子体喷枪，其特征在于，所述等离子喷头包括针式内电极、介质毛细管和外导体；所述针式内电极与所述固定射频匹配器连接以作为射频电极，所述针式内电极材料采用导电材料；所述介质毛细管内径略大于所述针式内电极，用于介质阻挡，气体从所述针式内电极和所述介质毛细管之间通过，电离成为射频等离子体，从毛细管喷出，所述介质毛细管材料采用高绝缘、耐高温和低射频损耗材料；所述外导体为包裹于介质毛细管外壁的导电细管，其与地电极相连，作为射频放电的地电极，同时，所述外导体也作为射频的屏蔽装置，防止射频发射，所述外导体材料采用导电材料。


3.根据权利要求2所述的小型射频等离子体喷枪，其特征在于，所述针式内电极材料为难熔金属材料钨或不锈钢，所述介质毛细管材料为石英、玻璃或陶瓷中的一种，所述外导体材料为铜、铝或不锈钢。


4.根据权利要求1所述的小型射频等离子体喷枪，其特征在于，所述屏蔽手柄为筒形结构，采用螺纹方式将所述固定射频匹配器和内部绝缘筒固定在所述屏蔽手柄内，所述屏蔽手柄可以为可拆卸的上部和下部，所述上部为屏蔽罩，所述下部可用来安装所述固定射频匹配器，所述上部和下部采用螺接的方式进行固定。


5.根据权利要求1所述的小型射频等离子体喷枪，其特征在于，所述固定射频匹配器包括电容、电感、射...

【专利技术属性】
技术研发人员：李树瑜，
申请(专利权)人：天津吉兆源科技有限公司，
类型：新型
国别省市：天津;12