一种氩气等离子电极制造技术

本实用新型专利技术公开了一种氩气等离子电极，涉及等离子电极领域，主要为了解决现有等离子电极性能差的问题；该氩气等离子电极，包括上盖板，所述上盖板上安装有射频电源接头和汇流板，所述汇流板上的出气口通过气管分别与左支撑板和右支撑板连接，所述左支撑板和右支撑板下部分别与左氩气喷射板和右氩气喷射板固定连接，所述左支撑板和右支撑板之间设有压片，所述压片下方设有硅胶压头，所述硅胶压头将陶瓷电极压在密封胶条正中间，所述陶瓷电极通过铜片与射频电源接头连接，提高了等离子电极的放电效果。

An argon plasma electrode

【技术实现步骤摘要】
一种氩气等离子电极
本技术涉及一种电极，具体是一种氩气等离子电极。
技术介绍
在制作电极时，通常使用氩气作为等离子气体，氩气作为等离子气体具有很多优点：氩气和其它元素间缺乏稳定的化合物形式，这样相对于利用其它气体作等离子气体，会比其他稀有气体的费用较低，而且氩气因为占空气中的1％，是最可能得到的，在工艺、细节上也比较容易获取。现有的等离子电极多采用金属导管，但金属导管在使用过程中存在着很多的问题：在使用过程中，金属导管容易被氧化，降低了等离子电机的使用寿命且性能也越来越差，所以需要一种性能更优异的等离子电极。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种氩气等离子电极，解决现有的等离子电极性能差的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种氩气等离子电极，包括上盖板，所述上盖板上安装有射频电源接头和汇流板，所述汇流板上的出气口通过气管分别与左支撑板和右支撑板连接，所述左支撑板和右支撑板下部分别与左氩气喷射板和右氩气喷射板固定连接，所述左支撑板和右支撑板之间设有压片，所述压片下方设有硅胶压头，所述硅胶压头将陶瓷电极压在密封胶条正中间，所述陶瓷电极通过铜片与射频电源接头连接。在一种可选方案中：所述射频电源接头连接电源为13.56MHz的射频电源。在一种可选方案中：所述汇流板上还设有用于气体流出的出气口，所述汇流板上的出气口为六个。在一种可选方案中：所述左支撑板和右支撑板的上端均与上盖板固定连接。在一种可选方案中：所述左氩气喷射板和右氩气喷射板上设有若干导气孔，所述导气孔均匀分布在左氩气喷射板和右氩气喷射板上。在一种可选方案中：所述陶瓷电极内部设有导电粉末，所述导电粉末包括金属粉或石墨粉。在一种可选方案中：所述陶瓷电极内部还设有冷却水管，所述冷却水管包括冷却水管进口和冷却水管出口。在一种可选方案中：上盖板还与前端板和后端板固定连接。相较于现有技术，本技术的有益效果如下：1、通过采用氧化铝陶瓷圆管作为绝缘体介电系数高、坚固耐用且不易被击穿；2、氧化铝陶瓷圆管中填充的导电粉末作为输出电极，使得粉末电极与陶瓷间无任何空隙，不易产生局部放电，使得等离子更均匀，更容易点火起辉，而且也极大的避免了局部放电导致击穿，提高产品寿命；3、氧化铝陶瓷圆管中心安装有冷却水管，可降低陶瓷管和导电粉末的温度，可使得喷射出的离子气体温度降低10度左右，而且也使陶瓷电极工作温度由几百度降至几十度，进一步提高产品寿命。附图说明图1为氩气等离子电极的侧剖示意图。图2为氩气等离子电极的俯视图。图3为氩气等离子电极的主剖视图。附图标记注释：1-汇流板、2-气管、3-压片、4-上盖板、5-左支撑板、6-右支撑板、7-硅胶压头、8-密封胶条、9-左氩气喷射板、10-右氩气喷射板、11-冷却水管、12-导电粉末、13-离子喷射区、14-陶瓷电极、15-射频电源接头。具体实施方式以下实施例会结合附图对本技术进行详述，在附图或说明中，相似或相同的部分使用相同的标号，并且在实际应用中，各部件的形状、厚度或高度可扩大或缩小。本技术所列举的各实施例仅用以说明本技术，并非用以限制本技术的范围。对本技术所作的任何显而易知的修饰或变更都不脱离本技术的精神与范围。请参阅图1～3，本技术实施例中，一种氩气等离子电极，包括上盖板4，所述上盖板4上安装有射频电源接头16和汇流板1，所述射频电源接头16连接电源为13.56MHz的射频电源，所述汇流板1通过进气口进入氩气和氧气的混合气体，所述汇流板1上还设有用于气体流出的出气口，所述汇流板1上的出气口通过气管2分别与左支撑板5和右支撑板6连接，所述左支撑板5和右支撑板6的上端均与上盖板4固定连接，能够提高汇流板1和上盖板4的稳定性，所述左支撑板5和右支撑板6下部分别与左氩气喷射板9和右氩气喷射板10固定连接，所述左氩气喷射板9和右氩气喷射板10上设有若干导气孔，所述导气孔均匀分布在左氩气喷射板9和右氩气喷射板10上。进一步地，所述左支撑板5和右支撑板6之间设有压片3，所述压片3下方设有硅胶压头7，所述硅胶压头7将陶瓷电极14压在密封胶条8正中间，所述硅胶压头7通过压紧力控制陶瓷电极14与左氩气喷射板9和右喷射板10之间的间隙，所述陶瓷电极14通过铜片与射频电源接头16连接，所述陶瓷电极14内部设有导电粉末12，所述铜片将电源引入陶瓷电极14内的导电粉末12中，然后激发陶瓷电极14与左氩气喷射板9和右氩气喷射板10之间的氩气，使其产生辉光放电效应，产生等离子并通过离子喷射区13喷出，达到清洗产品的效果。进一步地，所述汇流板1上的出气口为六个，左右各三个，通过各三支气管2分别进入到左支撑板5和右支撑板6。进一步地，所述导电粉末12包括金属粉或石墨粉。进一步地，所述上盖板4还与前端板和后端板固定连接，所述前端板和后端板能够对内部进行保护，提高防护能力。进一步地，所述陶瓷电极14内部还设有冷却水管11，所述冷却水管11用于降低陶瓷电极14在离子喷射过程中的温度，所述冷却水管11包括冷却水管进口和冷却水管出口，所述陶瓷电极14两端通过密封胶片封堵，所述铜片通过陶瓷电极14上的切口埋入内部的导电粉末12内。进一步地，所述陶瓷电极为氧化铝陶瓷圆管，介电系数高、兼顾耐用且不易被击穿。本技术的工作原理：通过进气口进入氧气和氩气的混合气体，通过汇流板1上的六个出气口流出，然后气体通过左氩气喷射板9和右氩气喷射板10上的导气孔将氩气喷射到陶瓷电极14、左氩气喷射板9和右氩气喷射板10之间的缝隙内，使整条缝隙内的氩气均匀分布，通过射频电源接头16将电源引入陶瓷电极14内的导电粉末12中，然后激发陶瓷电极14与左氩气喷射板9和右氩气喷射板10之间的氩气，使其产生辉光放电效应，产生等离子并通过离子喷射区13喷出。以上所述，仅为本公开的具体实施方式，但本公开的保护范围并不局限于此，任何熟悉本
的技术人员在本公开揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本公开的保护范围之内。因此，本公开的保护范围应以权利要求的保护范围为准。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种氩气等离子电极，包括上盖板（4），其特征在于，所述上盖板（4）上安装有射频电源接头（16）和汇流板（1），所述汇流板（1）上的出气口通过气管（2）分别与左支撑板（5）和右支撑板（6）连接，所述左支撑板（5）和右支撑板（6）下部分别与左氩气喷射板（9）和右氩气喷射板（10）固定连接，所述左支撑板（5）和右支撑板（6）之间设有压片（3），所述压片（3）下方设有硅胶压头（7），所述硅胶压头（7）将陶瓷电极（14）压在密封胶条（8）正中间，所述陶瓷电极（14）通过铜片与射频电源接头（16）连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种氩气等离子电极，包括上盖板（4），其特征在于，所述上盖板（4）上安装有射频电源接头（16）和汇流板（1），所述汇流板（1）上的出气口通过气管（2）分别与左支撑板（5）和右支撑板（6）连接，所述左支撑板（5）和右支撑板（6）下部分别与左氩气喷射板（9）和右氩气喷射板（10）固定连接，所述左支撑板（5）和右支撑板（6）之间设有压片（3），所述压片（3）下方设有硅胶压头（7），所述硅胶压头（7）将陶瓷电极（14）压在密封胶条（8）正中间，所述陶瓷电极（14）通过铜片与射频电源接头（16）连接。


2.根据权利要求1所述的氩气等离子电极，其特征在于，所述射频电源接头（16）连接电源为13.56MHz的射频电源。


3.根据权利要求1所述的氩气等离子电极，其特征在于，所述汇流板（1）上还设有用于气体流出的出气口，所述汇流板（1）上的出气口为六个。

【专利技术属性】
技术研发人员：文卫红，
申请(专利权)人：文卫红，
类型：新型
国别省市：广东;44