下载一种小型射频等离子体喷枪的技术资料

文档序号:24503572

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本实用新型提供一种小型射频等离子体喷枪,其特征在于,包括:等离子喷头、屏蔽手柄、固定射频匹配器、气路、同轴电缆以及调频射频电源;等离子喷头包括针式内电极、介质毛细管和外导体;射频固定匹配器包括电容、电感、射频输入接头、射频输出端和电路板;射...
该专利属于天津吉兆源科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过天津吉兆源科技有限公司授权不得商用。

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