流体控制阀、流量控制装置及驱动电路制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种流体控制阀，能抑制从压电致动器放出电荷并收缩时的发热量并能降低驱动压电致动器所需要的能量，流体控制阀(3)具备压电致动器(31)以及与所述压电致动器(31)连接的驱动电路(32)，所述驱动电路(32)具备：回扫变压器(5)，具备与直流电源(DV)连接的一次侧线圈(51)及与所述压电致动器(31)连接的二次侧线圈(52)；充电开关(61)，与所述一次侧线圈(51)连接，当所述压电致动器(31)充电时从ON切换为OFF；放电开关(62)，与所述二次侧线圈(52)连接，当所述压电致动器(31)放电时从OFF切换为ON；再生用电容(71)，与所述一次侧线圈(51)连接，利用所述压电致动器(31)的放电对电能进行再生。

【技术实现步骤摘要】
流体控制阀、流量控制装置及驱动电路
本专利技术涉及一种用于对流体的压力、流量进行控制的具备压电致动器的流体控制阀。
技术介绍
例如在半导体制造工序中向腔室内供给的气体的流量由质量流量控制器进行控制。该质量流量控制器例如具备具有压电致动器的流体控制阀以及流量传感器。对施加给压电致动器的电压进行控制，以使由流量传感器测量到的测量流量与由使用者设定的设定流量之间的偏差变小(参照专利文献1)。但是，在从对压电致动器施加电压而伸长的状态收缩时，需要对积蓄于压电致动器的电荷进行放电。在以往，从压电致动器放出的电荷在例如驱动电路中的电阻中作为热量被消耗。但是，例如在如ALD工序这样的气体的供给与停止以高速反复进行的情况下，不仅这样的能量的浪费变大，而且从压电致动器产生的热量变大，有可能对最终的流量控制特性等造成影响。现有技术文献专利文献1：日本专利公开公报特开2009-265988号
技术实现思路
本专利技术是鉴于上述的问题而做出的专利技术，本专利技术的目的在于提供一种能够抑制从压电致动器放出电荷并本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种流体控制阀，其特征在于，/n所述流体控制阀具备压电致动器以及与所述压电致动器连接的驱动电路，/n所述驱动电路具备：/n回扫变压器，具备：一次侧线圈，与直流电源连接；以及二次侧线圈，与所述压电致动器连接；/n充电开关，与所述一次侧线圈连接，当所述压电致动器充电时从ON切换为OFF；/n放电开关，与所述二次侧线圈连接，当所述压电致动器放电时从OFF切换为ON；以及/n再生用电容，与所述一次侧线圈连接，利用所述压电致动器的放电对电能进行再生。/n

【技术特征摘要】
20190607 JP 2019-1069521.一种流体控制阀，其特征在于，
所述流体控制阀具备压电致动器以及与所述压电致动器连接的驱动电路，
所述驱动电路具备：
回扫变压器，具备：一次侧线圈，与直流电源连接；以及二次侧线圈，与所述压电致动器连接；
充电开关，与所述一次侧线圈连接，当所述压电致动器充电时从ON切换为OFF；
放电开关，与所述二次侧线圈连接，当所述压电致动器放电时从OFF切换为ON；以及
再生用电容，与所述一次侧线圈连接，利用所述压电致动器的放电对电能进行再生。


2.根据权利要求1所述的流体控制阀，其特征在于，所述驱动电路还具备二极管，所述二极管的阳极与所述直流电源侧连接、阴极与所述再生用电容侧连接。


3.根据权利要求1所述的流体控制阀，其特征在于，...

【专利技术属性】
技术研发人员：杰弗里·兰斯德尔，德永和弥，
申请(专利权)人：株式会社堀场STEC，
类型：发明
国别省市：日本;JP