【技术实现步骤摘要】
一种基于单色系统的多限位标准球面镜头
本专利技术属于激光干涉仪用标准镜头领域，具体涉及一种基于单色系统的多限位标准球面镜头。
技术介绍
不同的光学系统需要根据要求在特定波段设计，干涉仪可以对光学系统的波像差，系统整体成像质量进行检测，这个过程是系统最终调整和质量检验的关键。激光干涉仪的工作波长主要为单一波长，而光学系统的应用非常广泛且多变，如光刻系统、DVD和红外成像系统等都需要特定波长进行检测，以显示其所需要的波长变化的要求，因此干涉仪公司根据不同的波长制造特定的干涉仪。现有的产品包括405nm、543.5nm、632.8nm、1053nm和1064nm等干涉仪。目前，标准球面镜头根据波长设计，标准镜头的性能指标很高，且需要保证参考面的球心与标准镜头的焦点重合，当改变使用波长时，由于镜头的焦点发生变化，导致标准镜头无法使用，因此标准球面镜头只能在其设计波长下使用，即标准球面镜头为单波长镜头。每种特殊波长激光干涉仪都需要额外配置相应的标准球面镜头，而标准球面镜头中的用于作为参考表面的透镜，由于需要使用高档材料...
【技术保护点】
1.一种基于单色系统的多限位标准球面镜头，可在多种波长下使用，其特征在于，包括：/n镜头主体，具有第一镜筒以及设置在第一镜筒内的单波长透镜组；以及/n移动透镜单元，具有套设在所述第一镜筒上的第二镜筒以及设置在所述第二镜筒内的参考透镜，用于获取第一使用波长以及第二使用波长，/n其中，所述单波长透镜组与所述参考透镜互相平行且光轴重合，/n所述第一镜筒的外壁设置有第一限位件，/n所述第二镜筒远离所述参考透镜的端面设置有活动件，/n所述第一镜筒靠近所述参考透镜的端面设置有第二限位件，/n所述第一限位件与所述活动件相抵接限制所述移动透镜单元向靠近所述第一镜筒的方向移动，当所述移动透镜...
【技术特征摘要】
1.一种基于单色系统的多限位标准球面镜头，可在多种波长下使用，其特征在于，包括：
镜头主体，具有第一镜筒以及设置在第一镜筒内的单波长透镜组；以及
移动透镜单元，具有套设在所述第一镜筒上的第二镜筒以及设置在所述第二镜筒内的参考透镜，用于获取第一使用波长以及第二使用波长，
其中，所述单波长透镜组与所述参考透镜互相平行且光轴重合，
所述第一镜筒的外壁设置有第一限位件，
所述第二镜筒远离所述参考透镜的端面设置有活动件，
所述第一镜筒靠近所述参考透镜的端面设置有第二限位件，
所述第一限位件与所述活动件相抵接限制所述移动透镜单元向靠近所述第一镜筒的方向移动，当所述移动透镜单元移动至第一位置时，所述活动件与所述第一限位件相抵接，所述移动透镜单元获得所述第一使用波长，
所述活动件与所述第二限位件相抵接限制所述移动透镜单元向远离所述第一镜筒的方向移动，当所述移动透镜单元移动至第二位置时，所述活动件与所述第二限位件相抵接，所述移动透镜单元获得所述第二使用波长。
2.根据权利要求1所述的基于单色系统的多限位标准球面镜头，其特征在于：
其中，所述第一限位件靠近所述第二镜筒的一面为第一限位面，
所述活动件具有面对所述第一限位面设置的第二限位面，以及面对所述参考透镜设置的第三限位面，
所述第二限位件面对所述活动件的一面为第四限位面，
所述第一限位面与所述第二限位面相抵接限制所述移动透镜单元向靠近所述第一镜筒的方向移动，当所述第一限位面与所述第二限位面相抵接时，所述单波长透镜组与所述参考透镜之间的距离为第一距离，所述移动透镜单元获得所述第一使用波长，
所述第三限位面与所述第四限位面相抵接限制所述移动透镜单元向远离所述第一镜筒的方向移动，当所述第三限位面与所述第四限位面相抵接时，所述单波长透镜组与所述参考透镜之间的距离为第二距离，所述移动透镜单元获得所述第二使用波长。
3.根据权利要求2所述的基于单色系统的多限位标准球面镜头，其特征在于：
其中，所述多限位标准球面镜头的F数为2.8，口径为4英寸，所述第一距离为6mm，所述第二距离为15.07mm，
当所述单波长透镜组与所述参考透镜之间的距离为所述第一距离时，所述多限位标准球面镜头的所述第一使用波长为632.8nm，
当所述单波长透镜组与所述参考透镜之间的距离为所述第二距离时，所述多限位标准球面镜头的所述第二使用波长为1064nm。
4.根据权利要求1所述的基于单色系统的多限位标准球面镜头，其特征在于，还包括：
活动限位件，
所述第一镜筒的外壁设置有向所述第一镜筒轴向延伸的凸部，所述活动限位件设置在所述凸部靠近所述第二镜筒的一端以及所述第二镜筒靠近所...
【专利技术属性】
技术研发人员：王全召，张齐元，韩森，王艳，王芳，
申请(专利权)人：苏州慧利仪器有限责任公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32
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