直接电子探测相机进行EBSD和TKD测试切换的装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开直接电子探测相机进行EBSD和TKD测试切换的装置，涉及测试装置技术领域，主要结构包括包括底座、滑动臂、中间臂和前臂；所述滑动臂可滑动的设置于所述底座上，所述中间臂可转动的设置于所述滑动臂与所述前臂之间，直接电子探测器设置于所述前臂的前端。通过调整中间臂和前臂的角度以改变直接电子探测器的角度，通过滑动臂改变直接电子探测器的的水平方向的位置，从而能够实现方便、快捷、自动地在块体材料的EBSD和薄样品的TKD之间切换。使用DED相机，利用其没有光纤或透镜的优点，便于大角度切换其采集方向。

【技术实现步骤摘要】
直接电子探测相机进行EBSD和TKD测试切换的装置
本专利技术涉及测试装置
，特别是涉及直接电子探测相机进行EBSD和TKD测试切换的装置。
技术介绍
电子背散射衍射(Electronbackscatterdiffraction，EBSD)可以提供晶体结构和取向信息，并且结构紧凑，作为扫描电镜的配件使用。同透射电镜的选区电子衍射相比，EBSD对晶体取向的变化尤为敏感，角度分辨率更高，更适合对晶体取向的表征。目前EBSD的物理分辨率，对于致密材料(比如Pt等重金属)可以达到20nm，对于过渡族金属(比如Cu)可以达到50nm，对于轻金属(比如Al)可以达到200nm。垂直于旋转轴方向的分辨率会再差一些。对于纳米晶、变形严重的晶粒等样品，要求更高的分辨率，提高EBSD的空间分辨率的意义不言而喻。虽然空间分辨率不能与透射电镜的衍射方法相比，但是使用薄样品的TKD的分辨率已经缩小了差距。作为EBSD类似的技术，透射菊池衍射(TransmissionKikuchidiffraction，TKD)顾名思义，采用的样品应该是电子束透明的，即薄样本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.直接电子探测相机进行EBSD和TKD测试切换的装置，其特征在于，包括底座、滑动臂、中间臂和前臂；所述滑动臂可滑动的设置于所述底座上，所述中间臂可转动的设置于所述滑动臂与所述前臂之间，直接电子探测器设置于所述前臂的前端。/n

【技术特征摘要】
1.直接电子探测相机进行EBSD和TKD测试切换的装置，其特征在于，包括底座、滑动臂、中间臂和前臂；所述滑动臂可滑动的设置于所述底座上，所述中间臂可转动的设置于所述滑动臂与所述前臂之间，直接电子探测器设置于所述前臂的前端。


2.根据权利要求1所述的直接电子探测相机进行EBSD和TKD测试切换的装置，其特征在于，所述底座上设置有一第一驱动机构，所述第一驱动机构的动力输出轴上设置有一第一齿轮，所述滑动臂底部设置有一齿条，所述第一齿轮与所述齿条相匹配。


3.根...

【专利技术属性】
技术研发人员：张伟，邓伟，许佳佳，彭璟，樊申腾，张涛，
申请(专利权)人：深圳市美信检测技术股份有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44