一种基于悬臂梁的强激光功率探测装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种基于悬臂梁的强激光功率探测装置，悬臂梁固定在振源上，压电材料块设置在悬臂梁顶面上靠近固定端的部位，压电材料块与外部电路连接，第一弹性形变部为矩形薄膜，第一弹性形变部的一边固定在悬臂梁靠近自由端的部位，第一弹性形变部相对于悬臂梁表面倾斜设置。应用时，待测强激光照射在第一弹性形变部上，对第一弹性形变部产生光压，从而改变第一弹性形变部的倾斜角度，从而改变悬臂梁和第一弹性形变部复合结构的质量分布，从而改变悬臂梁的共振频率，通过探测悬臂梁共振频率的改变实现强激光功率探测的目的。本发明专利技术结构简单，成本低，探测灵敏度高，设备制备简单。

【技术实现步骤摘要】
一种基于悬臂梁的强激光功率探测装置
本专利技术涉及强激光功率探测领域，具体涉及一种基于悬臂梁的强激光功率探测装置。
技术介绍
激光在通信、医疗、工程技术等多领域具有广泛的应用。在激光的应用中，激光功率的精确、实时测量是关键步骤。传统测量激光功率主要基于光电效应或光热效应的，传统激光功率测量手段不能直接应用于强激光，更不能实现强激光的超灵敏和低成本探测。
技术实现思路
为解决以上问题，本专利技术提供了一种基于悬臂梁的强激光功率探测装置，包括：振源、悬臂梁、压电材料块、第一弹性形变部；悬臂梁固定在振源上，压电材料块设置在悬臂梁顶面上靠近固定端的部位，压电材料块与外部电路连接，第一弹性形变部为矩形薄膜，第一弹性形变部的一边固定在悬臂梁靠近自由端的部位，第一弹性形变部相对于悬臂梁表面倾斜设置。更进一步地，第一弹性形变部倾斜的方向朝向悬臂梁的固定端。更进一步地，还包括第二弹性形变部，第二弹性形变部为矩形薄膜，第二弹性形变部的一边固定在悬臂梁上，第二弹性形变部相对于悬臂梁表面倾斜设置，第二弹性形变部相对于悬臂梁表面倾斜的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基于悬臂梁的强激光功率探测装置，其特征在于，包括：振源、悬臂梁、压电材料块、第一弹性形变部；所述悬臂梁固定在所述振源上，所述压电材料块设置在所述悬臂梁顶面上靠近固定端的部位，所述压电材料块与外部电路连接，所述第一弹性形变部为矩形薄膜，所述第一弹性形变部的一边固定在所述悬臂梁靠近自由端的部位，所述第一弹性形变部相对于所述悬臂梁表面倾斜设置。/n

【技术特征摘要】
1.一种基于悬臂梁的强激光功率探测装置，其特征在于，包括：振源、悬臂梁、压电材料块、第一弹性形变部；所述悬臂梁固定在所述振源上，所述压电材料块设置在所述悬臂梁顶面上靠近固定端的部位，所述压电材料块与外部电路连接，所述第一弹性形变部为矩形薄膜，所述第一弹性形变部的一边固定在所述悬臂梁靠近自由端的部位，所述第一弹性形变部相对于所述悬臂梁表面倾斜设置。


2.如权利要求1所述的基于悬臂梁的强激光功率探测装置，其特征在于：所述第一弹性形变部倾斜的方向朝向所述悬臂梁的固定端。


3.如权利要求2所述的基于悬臂梁的强激光功率探测装置，其特征在于：还包括第二弹性形变部，所述第二弹性形变部为矩形薄膜，所述第二弹性形变部的一边固定在所述悬臂梁上，所述第二弹性形变部相对于所述悬臂梁表面倾斜设置，所述第二弹性形变部相对于所述悬臂梁表面倾斜的方向与所述第一弹性形变部相对于所述悬臂梁表面倾斜的方向相反，所述第一弹性形变部和所述第二弹性形变部的翘起端固定连接。
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【专利技术属性】
技术研发人员：不公告发明人，
申请(专利权)人：中山科立特光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44