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本发明提供了一种基于悬臂梁的强激光功率探测装置,悬臂梁固定在振源上,压电材料块设置在悬臂梁顶面上靠近固定端的部位,压电材料块与外部电路连接,第一弹性形变部为矩形薄膜,第一弹性形变部的一边固定在悬臂梁靠近自由端的部位,第一弹性形变部相对于悬臂...该专利属于中山科立特光电科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中山科立特光电科技有限公司授权不得商用。
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本发明提供了一种基于悬臂梁的强激光功率探测装置,悬臂梁固定在振源上,压电材料块设置在悬臂梁顶面上靠近固定端的部位,压电材料块与外部电路连接,第一弹性形变部为矩形薄膜,第一弹性形变部的一边固定在悬臂梁靠近自由端的部位,第一弹性形变部相对于悬臂...