一种超灵敏强激光功率探测结构制造技术

本发明专利技术提供了一种超灵敏强激光功率探测结构，在弹性形变层的上表面设置反射层，在弹性形变层的下表面设置传感部。应用时，连续谱光源发出光并耦合进入波导；待测强激光照射在反射层上，由于光力效应，强激光在反射层声产生力，导致弹性形变层发生形变，从而改变传感部与波导之间的距离，从而改变波导的有效折射率和波导的传播特性，应用光探测器探测波导透射系数，根据波导透射特性的变化确定待测强激光的功率。由于波导的传播特性对波导周围的介电环境非常敏感，所以本发明专利技术具有强激光功率探测灵敏度高的优点。

【技术实现步骤摘要】
一种超灵敏强激光功率探测结构
本专利技术涉及激光功率测量领域，具体涉及一种超灵敏强激光功率的探测结构。
技术介绍
激光在通信、医疗、工程技术等多领域具有广泛的应用。在激光的应用中，激光功率的精确、实时测量是关键步骤。传统测量激光功率主要基于光电效应或光热效应的，传统激光功率测量手段不能直接应用于强激光，更不能实现强激光的超灵敏探测。
技术实现思路
为解决以上问题，本专利技术提供了一种超灵敏强激光功率探测结构，包括：基底、波导、第一支撑部、第二支撑部、弹性形变层、反射层、传感部，波导置于基底上，第一支撑部和第二支撑部分别置于波导截面的两侧，第一支撑部和第二支撑部的高度大于波导的高度，弹性形变层固定在第一支撑部和第二支撑部上，反射层固定在弹性形变层的上表面，反射层位于第一支撑部和第二支撑部的中间位置，传感部固定在弹性形变层的下表面，传感部位于波导的上方。更进一步地，波导内设有凹槽，传感部置于凹槽的上方，传感部的宽度小于凹槽的宽度。更进一步地，波导内设有缝隙，传感部置于缝隙的上方，传感部的宽度小于缝隙的宽度。...

【技术保护点】
1.一种超灵敏强激光功率探测结构，其特征在于，包括：基底、波导、第一支撑部、第二支撑部、弹性形变层、反射层、传感部，所述波导置于所述基底上，所述第一支撑部和所述第二支撑部分别置于所述波导截面的两侧，所述第一支撑部和所述第二支撑部的高度大于所述波导的高度，所述弹性形变层固定在所述第一支撑部和所述第二支撑部上，所述反射层固定在所述弹性形变层的上表面，所述反射层位于所述第一支撑部和所述第二支撑部的中间位置，所述传感部固定在所述弹性形变层的下表面，所述传感部位于所述波导的上方。/n

【技术特征摘要】
1.一种超灵敏强激光功率探测结构，其特征在于，包括：基底、波导、第一支撑部、第二支撑部、弹性形变层、反射层、传感部，所述波导置于所述基底上，所述第一支撑部和所述第二支撑部分别置于所述波导截面的两侧，所述第一支撑部和所述第二支撑部的高度大于所述波导的高度，所述弹性形变层固定在所述第一支撑部和所述第二支撑部上，所述反射层固定在所述弹性形变层的上表面，所述反射层位于所述第一支撑部和所述第二支撑部的中间位置，所述传感部固定在所述弹性形变层的下表面，所述传感部位于所述波导的上方。


2.如权利要求1所述的超灵敏强激光功率探测结构，其特征在于：所述波导内设有凹槽，所述传感部置于所述凹槽的上方，所述传感部的宽度小于所述凹槽的宽度。


3.如权利要求1所述的超灵敏强激光功率探测结构，其特征在于：所述波导内设有缝隙，所述传感部置于所述缝隙的上方，所述传感部的宽度...

【专利技术属性】
技术研发人员：不公告发明人，
申请(专利权)人：中山科立特光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44