一种电容式强激光功率探测装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种电容式强激光功率探测装置，基底为绝缘材料，第一极板、弹性支柱部、第二极板置于基底上，第一极板和第二极板平行，弹性支柱部置于第一极板和第二极板之间，介质材料部置于弹性支柱部上，支撑部置于介质材料部上，反射层置于支撑部上，弹性支柱部和介质材料部的高度之和大于第一极板和第二极板的高度。应用时，强激光照射在反射层上，改变了第一极板和第二极板之间的电容，通过该电容的变化实现强激光功率探测。因为第一极板和第二极板之间的电容对其间的介电环境非常敏感，所以本发明专利技术具有强激光功率探测灵敏度高的优点。

【技术实现步骤摘要】
一种电容式强激光功率探测装置
本专利技术涉及强激光功率探测领域，具体涉及一种电容式强激光功率探测装置。
技术介绍
激光在通信、医疗、工程技术等多领域具有广泛的应用。在激光的应用中，激光功率的精确、实时测量是关键步骤。传统测量激光功率主要基于光电效应或光热效应的，传统激光功率测量手段不能直接应用于强激光，更不能实现强激光的超灵敏和低成本探测。
技术实现思路
为解决以上问题，本专利技术提供了一种电容式强激光功率探测装置，包括：基底、第一极板、第二极板、弹性支柱部、介质材料部、支撑部、反射层；基底为绝缘材料，第一极板、弹性支柱部、第二极板置于基底上，第一极板和第二极板平行，弹性支柱部置于第一极板和第二极板之间，介质材料部置于弹性支柱部上，支撑部置于介质材料部上，反射层置于支撑部上，弹性支柱部和介质材料部的高度之和大于第一极板和第二极板的高度。更进一步地，第一极板和第二极板为金属。更进一步地，介质材料部的介电常数大于弹性支柱部的介电常数。更进一步地，还包括金属部，金属部置于介质材料部上，支撑部置于金属部上。<本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种电容式强激光功率探测装置，其特征在于，包括：基底、第一极板、第二极板、弹性支柱部、介质材料部、支撑部、反射层；所述基底为绝缘材料，所述第一极板、所述弹性支柱部、所述第二极板置于所述基底上，所述第一极板和所述第二极板平行，所述弹性支柱部置于所述第一极板和所述第二极板之间，所述介质材料部置于所述弹性支柱部上，所述支撑部置于所述介质材料部上，所述反射层置于所述支撑部上，所述弹性支柱部和所述介质材料部的高度之和大于所述第一极板和所述第二极板的高度。/n

【技术特征摘要】
1.一种电容式强激光功率探测装置，其特征在于，包括：基底、第一极板、第二极板、弹性支柱部、介质材料部、支撑部、反射层；所述基底为绝缘材料，所述第一极板、所述弹性支柱部、所述第二极板置于所述基底上，所述第一极板和所述第二极板平行，所述弹性支柱部置于所述第一极板和所述第二极板之间，所述介质材料部置于所述弹性支柱部上，所述支撑部置于所述介质材料部上，所述反射层置于所述支撑部上，所述弹性支柱部和所述介质材料部的高度之和大于所述第一极板和所述第二极板的高度。


2.如权利要求1所述的电容式强激光功率探测装置，其特征在于：所述第一极板和所述第二极板为金属。


3.如权利要求2所述的电容式强激光功率探测装置，其特征在于：所述介质材料部的介电常数大于所述弹性支柱部的介电常数。


4.如权利要求3所述的电容式强激光功率探测装置，其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员：不公告发明人，
申请(专利权)人：中山科立特光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44