下载一种电容式强激光功率探测装置的技术资料

文档序号:26649274

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本发明提供了一种电容式强激光功率探测装置,基底为绝缘材料,第一极板、弹性支柱部、第二极板置于基底上,第一极板和第二极板平行,弹性支柱部置于第一极板和第二极板之间,介质材料部置于弹性支柱部上,支撑部置于介质材料部上,反射层置于支撑部上,弹性支...
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