【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术大体而言涉及微机电装置
，且更具体而言，涉及用于显示系统中 的微镜阵列装置。
技术介绍
微镜阵列是基于微机电系统(MEMS)的空间光调制器(SLM)的主要组件。SLM 是传感器，其用于以对应于光或电输入的空间图案来调制入射光束。典型的基于 MEMS的SLM由可单独寻址的微镜阵列组成。每一微镜由附装至可变形铰链上的可 偏转反射镜板组成，所述可变形铰链形成于衬底上以使得镜板可在衬底上旋转。通过 静电力可使每一单独的镜板独立偏转。静电力源自于在镜板与电极之间形成的静电场。 入射到微镜上的入射光束的反射可由此得到控制，例如，通过改变施加至微镜上的静 电力来偏转微镜。基于MEMS的SLM已经历巨大发展，且己实施于许多应用之中， 其中之一是用于数字显示系统中。在显示应用中，每一微镜与所显示图像的一像素相 关联。为产生亮的像素，以使来自微镜的反射光射至目标上以便观看的方式来设置与 该像素相关联的微镜的状态。为产生暗的像素，调节微镜的状态以使来自该微镜的反 射光远离显示装置投射。为了显示黑白图像，微镜阵列由一束光来照明。通过根据所 需图像的像素的亮度来调整微镜的...
【技术保护点】
一种投影系统，其包括：照明系统，其提供要入射到空间光调制器上的光束；所述空间光调制器，其包括：微镜阵列，每一微镜定位在一个像素位置处，其进一步包括：在第一像素位置处的第一微镜，其包括：可偏转反射镜板，其附装至可变形铰链，所述可变形铰链在所述第一像素位置处由支柱支撑在衬底上；及在第二像素位置处的第二微镜，其包括：可偏转反射镜板，其附装至可变形铰链，所述可变形铰链在所述第二像素位置处不由支柱支撑于所述衬底上；及光学元件，其用于将光引导至或引导出所述空间光调制器。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。