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本发明的空间光调制器包括微镜阵列，其中的每一微镜具有反射性可偏转镜板。提供一组支柱来用于将所述镜板保持在衬底上，但并不是微镜阵列的所有微镜均具有支柱。...
该专利属于德州仪器公司所有，仅供学习研究参考，未经过德州仪器公司授权不得商用。

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