电子级二乙基铍的生产方法技术

本发明专利技术公开了电子级二乙基铍的生产方法，包括以下步骤：原料准备，在保护气体环境下，按照反应配比，准备适量的格利雅试剂和氯化铍；原料混合，在保护气体环境下，格利雅试剂冷却至‑25℃到‑60℃，投入氯化铍，滴加完毕后，升温至‑60到‑5℃，搅拌反应1‑5h，再升温至10至20℃，继续搅拌2‑3h，制备得到二乙基铍混合物；一次蒸馏；在保护气体环境下，进行一次蒸馏，得到一次蒸馏液。二次蒸馏，在保护气体环境下，对一次蒸馏液进行二次蒸馏，得到二次蒸馏液；减压蒸馏，控制压强在20千帕，并在蒸馏釜上安装超声波换能器，控制超声波换能器工作，进行减压蒸馏，得到初成品。本发明专利技术有助于提升蒸馏效果，提升蒸馏效率，有助提升良品率，提升产品纯度。

【技术实现步骤摘要】
电子级二乙基铍的生产方法
本专利技术涉及化工生产
，尤其涉及电子级二乙基铍的生产方法。
技术介绍
二乙基铍，化学式(C2H5)2Be，无色液体。熔点-11～13℃，沸点63℃(400Pa)，194℃(外推到常压)。溶于乙醚和苯。加热至83℃分解，在空气中自燃有氧化铍白色烟雾生成。与水、醇和盐酸反应剧烈，生成乙烷。由二氯化铍与乙基溴化镁反应制备。用于有机合成。电子级，从纯度上来讲，电子级和分析纯的化学品，相对于普通化学品，其纯度都很高，杂质含量少，但是两个属于不同的标准体系，对杂质的关注点不一样。电子级是对用于电子元器件生产过程中使用的化学品的一种泛指，相对于一般工业，其纯度要求更高，尤其是平板显示行业或者半导体行业。其更每种化学品更中的有害杂质含量，金属离子，固体颗粒等等。用于半导体工业的电子级化学品纯度一般比分析纯的化学试剂更高，可参考SEMI相关化学品的标准。对于芯片生产过程来说，一般情况下，纯度会在99.999％数量级，12寸芯片生产可能会用到99.999999999％纯度的化学品。为了适应工业生产，需要更高纯度的二本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.电子级二乙基铍的生产方法，其特征在于，包括以下步骤：/nS1：原料准备，在保护气体环境下，按照反应配比，准备适量的格利雅试剂和氯化铍；/nS2：原料混合，在保护气体环境下，格利雅试剂冷却至-25℃到-60℃，投入氯化铍，滴加完毕后，升温至-60到-5℃，搅拌反应1-5h，再升温至10至20℃，继续搅拌2-3h，制备得到二乙基铍混合物；/nS3：一次蒸馏；在保护气体环境下，进行一次蒸馏，得到一次蒸馏液；/nS4：二次蒸馏，在保护气体环境下，对一次蒸馏液进行二次蒸馏，得到二次蒸馏液；/nS5：减压蒸馏，控制压强在20千帕，并在蒸馏釜上安装超声波换能器，控制超声波换能器工作，进行减压蒸馏，得到初...

【技术特征摘要】
1.电子级二乙基铍的生产方法，其特征在于，包括以下步骤：
S1：原料准备，在保护气体环境下，按照反应配比，准备适量的格利雅试剂和氯化铍；
S2：原料混合，在保护气体环境下，格利雅试剂冷却至-25℃到-60℃，投入氯化铍，滴加完毕后，升温至-60到-5℃，搅拌反应1-5h，再升温至10至20℃，继续搅拌2-3h，制备得到二乙基铍混合物；
S3：一次蒸馏；在保护气体环境下，进行一次蒸馏，得到一次蒸馏液；
S4：二次蒸馏，在保护气体环境下，对一次蒸馏液进行二次蒸馏，得到二次蒸馏液；
S5：减压蒸馏，控制压强在20千帕，并在蒸馏釜上安装超声波换能器，控制超声波换能器工作，进行减压蒸馏，得到初成品；
S6：纯度检测，对初成品进行纯度检测；
S7：灌装存储，对完成纯度检测的初成品进行灌装封存，得到成品电子级二乙基铍。


2.根据权利要求1所述的电子级二乙基铍的生产方法，其特征在于，所述保护气体为氮气、氩气中的一种或者组合。...

【专利技术属性】
技术研发人员：曹季，
申请(专利权)人：芯越芯南京电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32