一种用于电子级氢氟酸的制备装置及制备工艺制造方法及图纸

一种用于电子级氢氟酸的制备装置，包括：用于储备无水氟化氢的投料槽；用于得到无水氟化氢气体的塔釜；用于液化无水氟化氢气体的冷凝器；用于调配无水氟化氢液体的调配槽；及用于储备氢氟酸的成品槽；投料槽的出口通塔釜的进口连通，塔釜的出口同冷凝器的进口连通，冷凝器的出口同调配槽的进口连通，调配槽的出口同成品槽的进口连通。其结构简单，实现了化繁为简，有助于简化生产流程，降低了成产成本，对于提高生产效率具有积极意义。制备工艺基于制备装置来实现，其操作简单、易于实施，使整个生产过程更加精简，生产效率得到了提升。

【技术实现步骤摘要】
一种用于电子级氢氟酸的制备装置及制备工艺
本专利技术涉及氢氟酸制备领域，具体而言，涉及一种用于电子级氢氟酸的制备装置及制备工艺。
技术介绍
目前，现有的用于制备电子级氢氟酸的设备结构较为复杂，整个制作流程繁琐，各个部件之间的配合控制难度较高，使用相对繁琐，生产效率不高。有鉴于此，特提出本申请。
技术实现思路
本专利技术的第一个目的在于提供一种用于电子级氢氟酸的制备装置，其结构简单，实现了化繁为简，有助于简化生产流程，降低了成产成本，对于提高生产效率具有积极意义。本专利技术的第二个目的在于提供一种用于电子级氢氟酸的制备工艺，其操作简单、易于实施，使整个生产过程更加精简，生产效率得到了提升。本专利技术的实施例是这样实现的：一种用于电子级氢氟酸的制备装置，包括：用于储备无水氟化氢的投料槽；用于得到无水氟化氢气体的塔釜；用于液化无水氟化氢气体的冷凝器；用于调配无水氟化氢液体的调配槽；及用于储备氢氟酸的成品槽；投料槽的出口通塔釜的进口连通，塔釜的出口同冷凝器的进口连通，冷凝器的出口同调配槽的进口连通，调本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于电子级氢氟酸的制备装置，其特征在于，包括：/n用于储备无水氟化氢的投料槽；/n用于得到无水氟化氢气体的塔釜；/n用于液化无水氟化氢气体的冷凝器；/n用于调配无水氟化氢液体的调配槽；及/n用于储备氢氟酸的成品槽；/n所述投料槽的出口通所述塔釜的进口连通，所述塔釜的出口同所述冷凝器的进口连通，所述冷凝器的出口同所述调配槽的进口连通，所述调配槽的出口同所述成品槽的进口连通。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于电子级氢氟酸的制备装置，其特征在于，包括：
用于储备无水氟化氢的投料槽；
用于得到无水氟化氢气体的塔釜；
用于液化无水氟化氢气体的冷凝器；
用于调配无水氟化氢液体的调配槽；及
用于储备氢氟酸的成品槽；
所述投料槽的出口通所述塔釜的进口连通，所述塔釜的出口同所述冷凝器的进口连通，所述冷凝器的出口同所述调配槽的进口连通，所述调配槽的出口同所述成品槽的进口连通。


2.根据权利要求1所述的制备装置，其特征在于，所述制备装置该包括：单向进料机构；所述单向进料机构包括驱动组件、进料通道和供料活塞，所述供料活塞设于所述进料通道，所述驱动组件设于所述供料通道一端，用于驱动所述供料活塞往复运动，所述供料通道远离所述驱动组件的一端具有出料口，所述出料口同所述冷凝器的进口连通，所述供料通道侧壁开设有同所述塔釜出口连通的进料口；
能够通过所述供料活塞往复运动，使得所述进料口同所述出料口间歇式连通，以使所述供料通道内的物料快速进入所述冷凝器中。


3.根据权利要求2所述的制备装置，其特征在于，所述驱动组件包括：设备箱、驱动杆、驱动臂和第一弧形齿块，所述设备箱设于所述进料通道远离所述冷凝器的一端，所述驱动杆可活动穿过所述设备箱侧壁后同所述供料活塞连接；沿所述驱动杆轴向，所述驱动杆同所述设备箱活动连接，所述驱动杆沿其轴向设有第一齿部，所述驱动臂可转动设于所述设备箱，所述第一弧形齿块设于所述驱动臂靠近所述驱动杆的一端，且所述第一弧形齿块同所述第一齿部相互啮合；
能够通过所述驱动臂一起转动轴线为轴转动，带动所述第一弧形齿块转动，使得第一弧形齿块同所述第一齿部啮合，以使所述驱动杆沿其轴向往复运动。


4.根据权利要求3所述的制备装置，其特征在于，所述驱动臂连接有用于驱动其转动的转动组件，所述转动组件包括：转动电机、转动轴和传动臂，所述转动轴可活动穿过所述设备箱；沿所述转动轴周向，所述转动轴同所述设备箱活动连接；所述转动轴一端同所述转动电机的输出轴连接，另一端位于所述设备箱内，且其端部设有驱动块，所述传动臂一端同所述驱动...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴全贵，郑义达，吴俊贤，赖延恩，艾合买提艾尔肯，陈国民，李文斌，骆彦成，
申请(专利权)人：福建天甫电子材料有限公司，
类型：发明
国别省市：福建;35