温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种用于电子级氢氟酸的制备装置，包括：用于储备无水氟化氢的投料槽；用于得到无水氟化氢气体的塔釜；用于液化无水氟化氢气体的冷凝器；用于调配无水氟化氢液体的调配槽；及用于储备氢氟酸的成品槽；投料槽的出口通塔釜的进口连通，塔釜的出口同冷凝器的进口...
该专利属于福建天甫电子材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过福建天甫电子材料有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。