一种可见/红外宽光谱分色片的膜系结构制造技术

本发明专利技术公开了一种可见／红外宽光谱分色片的膜系结构。该膜系结构以介质－金属－介质（ＤＭＤ）结构为基础，通过在外侧增加匹配层的方法增加通带的宽度。首先根据中远红外的反射率要求选择Ａｇ层的厚度。再根据通带中心的位置选择两侧相邻介质层厚度。然后在最外层增加一层低折射率膜层以增加通带的宽度。最后将初始膜系结构输入计算机，利用膜系设计软件进行优化设计，找到最为合适的膜系结构。本膜系结构的优点在于：不用减小Ａｇ层的厚度即可展宽分色片的通带宽度。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及光学薄膜技术，具体是指一种可见/红外宽光谱分色片的膜系结构。
技术介绍
可见/红外宽光谱分色片是一种能够把可见近红外和中远红外光谱能量分 开的光学器件，它在多光谱和宽光谱仪器中有着重要应用。目前，可见/红外宽光谱分色片采用由John C.C. Fan所提出的介质/金属/介质三层薄膜结构。在0.4pm 2iam的可见近红外波段，根据诱导透射原理，利用介质层降低 金属层的反射，增加入射光波的透射率；在2jim 15iiim的中远红外波段，利用 金属高反射的性质反射入射光波，从而在宽光谱范围内实现可见近红外与中远 红外光谱的分离。所有的金属材料中，Ag的消光系数与折射率的比值最大，在可见光区的吸 收最小，且偏振效应最小。所以，通常选择Ag膜作为宽光谱分色片中的金属 层。宽光谱分色片的使用波段覆盖了从0.4pm到15pm的波长范围，因此要求 在使用波段内材料有低的吸收。ZnS薄膜从可见到红外都有低的吸收，并且性 能稳定，致密度较高，是宽光谱分色片中常用的介质材料。随着科学技术的飞速发展，多光谱仪器的空间分辨率和光谱分辨率越来越 高。例如在超高光谱仪器中，0.4 14pm的光谱本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种可见／红外宽光谱分色片的膜系结构，它由介质膜和金属膜组合而成，其特征在于：本专利技术的膜系结构在介质－金属－介质结构基础上还有一层低折射率膜层即第四膜层（５）。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：赵培，刘定权，王仍，张凤山，
申请(专利权)人：中国科学院上海技术物理研究所，
类型：发明
国别省市：31[中国|上海]