可实现非球面通用化检测的大球差补偿镜及其装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种可实现非球面通用化检测的大球差补偿透镜结构及其装置。大球差补偿镜具有双分离镜片，双分离镜片具有两个依次排列的同轴球面负透镜、正透镜，负透镜为凸凹球面透镜、正透镜为凸凸球面透镜。利用大球差补偿透镜进行非球面的通用化检测装置：在同一光轴上依次设有大球差补偿透镜、出瞳、波前检测仪器，在波前检测仪器中设有数字相机。本发明专利技术与现有技术相比具有的有益效果主要体现在其可以实现非球面的通用化检测，即大球差补偿镜可以在不同环带产生较大的球差，一定程度上补偿非球面的纵向法线像差，使补偿后的非球面波前不超过波前检测仪器的分辨能力；利用一个大球差补偿镜即可对多个非球面达到补偿目的，从而实现通用化检测。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种可实现非球面通用化检测的大球差补偿透镜结构及其装置。技术背景非球面检测是光学检测领域的一项非常重要的内容。由于非球面在提供足 够的像差控制自由度、提高系统质量的同时，可以减小系统的尺寸、重量以及 复杂程度，所以其己广泛应用于国防、工业及民用等诸多领域。但是光学设计 人员在进行光学系统设计时目前仍然尽量避免采用具有大口径、大相对口径的 非球面，其重要原因在于这类非球面比较难于检测。目前一般采用计算全息法(Computer Generated Holograms)和补偿法等两 种方法来检验非球面。计算全息法需要制作高精度的计算全息片，使该全息片 的衍射波前与被检非球面的理论面型完全相符，实现零位检测。这种检测方法 对各器件的加工及其在系统中的位置要求比较高，特别是计算全息片(Computer Generated Hologram,縮写为CGH)的加工及位置，稍有偏差就会给检测结果带 来很大影响。补偿法通过补偿镜把平面或球面波转换为与被测非球面理论面型 完全吻合的非球面波前，之后再利用其它波前检测仪器检测。常用的有Offner、 Dall等补偿法。上面两种方法由于都本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种可实现非球面通用化检测的大球差补偿镜，其特征在于具有双分离镜片（３），双分离镜片（３）具有两个依次排列的同轴球面负透镜（１）、正透镜（２），负透镜（１）为凸凹球面透镜、正透镜（２）为凸凸球面透镜。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：杨甬英，刘东，卓永模，
申请(专利权)人：浙江大学，
类型：发明
国别省市：86[中国|杭州]