【技术实现步骤摘要】
.本专利技术通常涉及一种包括能够旋转位移的振荡部件的微振荡元件。更具 体地，本专利技术例如涉及微镜元件、加速传感器、角速度传感器以及振动元件。
技术介绍
近年来，具有通过显微机械加工技术形成的显微结构的元件已经广 泛应用于各种
例如，在光通信
，具有光反射功能的 微/j 、的微镜元件己受到关注。在光通信中，利用光纤作为介质来传送光信号，并且通常使用光切 换装置将光信号的传输路径从一根光纤切换到另一根光纤。为实现良好 的光通信，光切换装置在切换操作期间所需的特性包括大容量、高速率 以及高可靠性。考虑到这些方面，迫切需要合并有利用显微机械加工技 术制造的微镜元件的光切换装置。微镜元件能够在光切换装置中的输入 侧光传输路径和输出侧光传输路径之间进行切换处理，而不需将光信号 转换成电信号，从而适用于实现上述列举的那些特性。微镜元件包括用于反射光的镜表面，并且能够通过使镜表面振荡来 改变光被反射的方向。在许多装置中采用静电微镜元件，其利用静电力 来使镜表面倾斜。静电微镜元件可分成两种主要类型，即由所谓的表面 显微机械加工技术制造的静电微镜元件，以及由所谓的体...
【技术保护点】
一种微振荡元件，包括： 第一框架； 振荡部件，其包括可移动操作部件、第一臂部件以及第一梳齿电极，该第一臂部件从该可移动操作部件延伸，该第一梳齿电极包括多个第一电极齿，每个第一电极齿在与该第一臂部件相交的方向上从该第一臂部件延伸； 第一扭转接合部件，其将该第一框架与该振荡部件相互连接，并且限定该振荡部件作振荡操作的第一振荡轴； 第二梳齿电极，其与该第一梳齿电极配合以使得该振荡部件振荡，该第二梳齿电极包括多个第二电极齿，每个第二电极齿在与该第一臂部件相交的方向上延伸； 第二框架；以及 第二扭转接合部件，其将该第一框架与该第二框架相互连接，并且...
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：高马悟觉，壶井修，曾根田弘光，上田知史，佐胁一平，
申请(专利权)人：富士通株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]
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