一种用于激光加工使用的光学ｆθ镜头，包括透镜组和光阑，所述光阑位于透镜组的前方，透镜组包括三个透镜，分别为第一、第二、第三透镜，依次排列为“负－正－正”分离的光焦度系统，所述第一透镜为凹平型负透镜，第二透镜为弯月型正透镜，第三透镜为双凸型正透镜，第二透镜所有的曲面均向着光阑方向弯曲，其中，整个光学系统的焦距为ｆ，第一、第二、第三透镜的焦距分别为ｆ１、ｆ２、ｆ３，各透镜的焦距与整个光学系统的焦距ｆ比率满足以下要求关系：－０．６＜ｆ１／ｆ＜－０．４；１．０＜ｆ２／ｆ＜１．２；０．６＜ｆ３／ｆ＜０．８。本发明专利技术所提供的光学ｆθ镜头，使得系统的球差、彗差与场曲都达到较好的平衡，使得成像结果良好且在整个像面上成像均匀，且该结构应用于大口径入射的ｆθ镜头的小型化取得较好的效果。
【技术实现步骤摘要】
光学镜头
本专利技术涉及一种激光应用的光学镜头，尤其是指在激光加工使用的F-theta 光学镜头。
技术介绍
目前，激光应用已深入到我们现代生活的各个方面，在激光应 用中便离不开为了符合各种工艺要求的各种应用光学系统。在目前市场上激光打标机，以其速度快，灵活性强，无耗材，标记永久性 等特点，已逐渐地替代各种印字机，丝印机等。W(F-theta)镜头是一种大视场、中小孔径、中长焦距的照相 物镜，从它要负担的参数来说，选用"三片"型的照相物镜，应该 是较为合适的。激光振镜打标机是因为有了伸(F-theta)镜头才得 以实现。图1是一种典型的/^镜光学系统，光束顺次经两块绕x轴 和y轴转动的振镜1、2，最后通过/<9镜3聚焦在像面4上，由振镜 扫描形成图像。/0镜头3是一种平像场的聚焦镜，在打标时，要求 在成像面上像高n与X振镜1和Y振镜2的扫描角度e成线性关系 即"/.^fr)。其中，/为W镜头3的焦距，e为振镜的扫描角度(单位为弧度)。由高斯光学成像理论矢ft像高;/与镜头焦距/和振镜转角^为下列关系/ = /.,^。它不满足/7 = /^(&)关系式。因此，激光打标 系统用常规的镜头是不可行的，这是因为像高7与振镜的转角^不 是呈线性关系变化，所雕刻出来的图形与实物不相似，反而是一个 变形的图像。为了解决这个问题，要求在光学设计时的象差校正中，有意引 入畸变A;7，使得满足下式所示关系= (/^^-A 7) = W 。这个结论 是非常重要的。虽然A;7是有意引入的，但决不意味着畸变就可以 不考虑，随意大小都可以，A;;应满足下式上式表明畸变应为振镜转角的正切和弧度之差与镜头焦距/的乘 积时才能满足要求。能满足这个条件的才能称作/0光学系统。光学设计的另一个特点，就是要求所有在成像范围内的聚焦点， 应有相似的聚焦质量，且不允许有渐晕，以保证所有"刻出"的像点 都相一致和清晰，并且在高功率的激光系统中，不能采用双胶面进行 校正相关的像差。
技术实现思路
本专利技术所欲解决的技术问题在于提供一种大通光口径的非对称 学系统、且使球差与场差都达到较好平衡、并使成像面在没有渐晕的 情况下成像均匀的光学/《镜头。本专利技术所采用的技术方案是提供一种用于激光加工使用的光学 W镜头，包括透镜组和光阑，所述光阑位于透镜组的前方，透镜组 包括三个透镜，分别为第一、第二、第三透镜，依次排列为"负一正一正"分离的光焦度系统，其中，所述第一透镜为凹平型负透镜，第 二透镜为弯月型正透镜，第三透镜为双凸型正透镜，第二透镜所有的 曲面均向着光阑方向弯曲，且全光学系统的焦点距离为f，第一、第二、第三透镜的镜片焦点距离分别为fl、 f2、 f3，各透镜的光焦度 与系统的光焦度1/f比率满足以下要求关系-0. 6〈f l/f<-0. 41.0〈f2/f〈1.20. 6〈f3/f<0. 8。其中，fl/f=-0. 5; f2/f=l. 14; f3/f=0.62。其中，所述第一透镜与光阑的距离为35-80mm。本专利技术所提供的光学/P镜头，使得系统的的球差、彗差与场曲 都达到较好的平衡，使得成像结果良好且在整个像面上成像均匀，且 该结构应用于大口径入射的^镜头的小型化取得较好的效果，且在 高功率的激光系统中，通过采用双胶面的透镜进行校正相关的像差。附图说明图1是一种典型的"镜头光学系统示意图。 图2是本专利技术镜头的光学系统结构示意图。图3为本专利技术y^镜头较佳实施例l中的光线追迹图。图4为本专利技术/9镜头较佳实施例1中的像散、场曲及畸变。 图5为本专利技术/P镜头较佳实施例1中的视场分别为0、0. 3、0. 5、 0.7、 0.85以及1.0各视场上的光程差图。图6为本专利技术/P镜头较佳实施例1中的光学传递函数MTF图。具体实施方式下面结合附图和具体实施例对本专利技术作进一段步说明。W(F-theta)镜头是一种大视场、中小孔径、中长焦距的照相 物镜，从它要负担的参数来说，选用"三片"型的照相物镜，应该 是较为合适的。我们采用"负一正一正"的光焦度分布型式。其入 瞳在镜头外产生的畸变，正好也是^镜所需要的，此畸变很容易达 到^镜要求，是一种"无变形"的打标。同时，它是一个大视场的 照相物镜，与照相物镜一样，它是一个"平像场"的物镜。如图2，本专利技术所采用的技术方案是提供一种用于激光加工使用 的光学/^镜头，包括透镜组和光阑(透镜)1,所述光阑位于透镜组 的前方，透镜组包括三个透镜，分别为第一、第二、第三透镜Ll、 L2、 L3，采用三片式"负一正一正"的光焦度分布进行设计，其中三 片透镜的材质都胶体，可解决在高功率的激光系统中，通过采用双胶 面的透镜进行校正相关的像差。其中，第一透镜的光焦度1/f 1为负透镜，第二透镜的光焦度 1/f2与第三透镜的光焦度1/f3均为正，其中各透镜的光焦度与系 统的光焦度1/f比率按满足以下要求关系 -0. 6<f 1/f 〈-O. 4 1.0<f2/f〈1.2 0.6<f3/f<0. 8。其中，全光学系统的焦点距离为f，第一、第二、第三透镜的镜 片焦点距离分别为fl、 f2、 f3。其中，第一透镜L1距光阑(振镜)1的距离d0为35—80mm，第一透镜Ll为凹平型的负厚透镜；第二透镜L2为弯月型正透镜， 第二透镜L2所有的曲面均向着光阑(振镜)l方向弯曲；第三透镜 L3为双凸型正透镜，第三透镜L3到焦平面4的距离为d6。它们的具体结构及参数表述为系统由L1、 L2、 L3三个透镜 构成，L1分别由曲率半径为R1、 R2的两个曲面S1、 S2构成，其中 心厚度dl，材料光学参数为Ndl:Vdl; L2分别由曲率半径为R3、 R4的两个曲面S3、 S4构成，其中心厚度d3，材料光学参数为 Nd3:Vd3; L3分别由曲率半径为R5、 R6的两个曲面S5、 S6构成， 其中心厚度d5，材料光学参数为Nd5:Vd5;第一透镜Ll与第二透 镜L2的间隔为d2，第二透镜L2与第三透镜L3的间隔为d4。结合以上的参数，本专利技术设计了一组镜头，其具体参数分别如 下所示第一透镜Ll分别由曲率半径为Rl=—67. 074腿、R2=oomm的两 个曲面S1、 S2构成其光轴上的中心厚度dl二12mm材料为Ndl:Vdl 约为1. 52/64;第二透镜L2分别由曲率半径为R3=-201. 899 mm、 R4=0. lmm的两个曲面S3、 S4构成，其光轴上的中心厚度d3=9mm， 材料为Nd3:Vd3约为1. 8/25. 4;第三透镜L3分别由曲率半径为 R5=18 mm、 R6=_316. 2 mm的两个曲面S5、 S6构成，其光轴上的中 心厚度d5二18mm，材料为Nd5:Vd5约为1. 8/25. 4;第一透镜Ll与 第二透镜L2在光轴上的间隔为d2二7 mm，第二透镜L2与第三透镜 L3在光轴上的间隔为d4=0. lmm，第三透镜L3与成象面在光轴上的 距离为d6=316. 2mm。并列表如下透镜编号曲面编号曲率R(mm)面间5ir d( mm)材料Nd/Vd<table>table see original document page 8</column></ro本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种用于激光加工使用的光学ｆθ镜头，包括透镜组和光阑，其特征在于：所述光阑位于透镜组的前方，透镜组包括三个透镜，分别为第一、第二、第三透镜，依次排列为“负－正－正”分离的光焦度系统，所述第一透镜为凹平型负透镜，第二透镜为弯月型正透镜，第三透镜为双凸型正透镜，第二透镜所有的曲面均向着光阑方向弯曲，其中，整个光学系统的焦距为ｆ，第一、第二、第三透镜的焦距分别为ｆ１、ｆ２、ｆ３，各透镜的焦距与整个光学系统的焦距ｆ比率满足以下要求关系：－０．６＜ｆ１／ｆ＜－０．４ １．０＜ｆ２／ｆ ＜１．２ ０．６＜ｆ３／ｆ＜０．８。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：高云峰，李家英，周朝明，鲍瑞武，李红梅，孙博，张维臣，
申请(专利权)人：深圳市大族激光科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：94[中国|深圳]
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