制备有机氨基硅烷的方法技术

一种用于制备氨基硅烷的方法，该方法包括：在反应器中形成包含氢化硅烷、胺和脱氢偶联催化剂的反应混合物；使所述反应混合物经受足以引起所述氢化硅烷与所述胺之间的脱氢偶联反应以形成所述氨基硅烷和氢气的条件；以及排出氢气；其中包含所述氢化硅烷、所述胺和所述脱氢偶联催化剂的所述反应混合物的形成包括将所述氢化硅烷连续地进料至包含所述胺和所述脱氢偶联催化剂的所述反应器。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】制备有机氨基硅烷的方法相关申请的交叉引用无。
技术介绍
甲硅烷基胺具有工业应用，包括在光伏和电子应用中用作含硅膜沉积的前体。用于制备三甲硅烷基胺(TSA)的显著工业过程包括一氯甲硅烷与氨的反应。除TSA之外，该过程还产生含氯副产物，诸如氯化铵。这些副产物在最终应用中是不希望的。例如，卤素在以化学气相沉积法形成含硅膜的过程中是有害的。因此，在这些应用中期望可能的最低量卤素。三甲硅烷基胺也通过二甲硅烷基胺反应并移除作为副产物的氨产生。然而，卤素也可存在于由该过程产生的甲硅烷基胺中，因为在制备二甲硅烷基胺的现有过程中可能引入卤素。已经开发出产生甲硅烷基胺后从其移除卤素的方法；然而，减少TSA中的卤素很困难。所用方法可显著增加产生TSA的成本，增加副产物，降低收率，并且无法完全消除卤素。已经提出了一种用于产生三甲硅烷基胺的方法，其基本上消除了产物中的卤素。该方法涉及有机氨基官能硅烷或有机氨基官能二硅烷与氨的反应。然而，因为产生有机氨基官能硅烷或有机氨基官能二硅烷材料的已知方法有限，该方法具有有限的商业实用性。因为所添加的氢化硅烷和该方法中产生本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种制备氨基硅烷的方法，所述方法包括：/n在反应器中形成包含氢化硅烷、胺和脱氢偶联催化剂的反应混合物；/n使所述反应混合物经受足以引起所述氢化硅烷与所述胺之间的脱氢偶联反应以形成所述氨基硅烷和氢气的条件；以及/n从所述反应器排出所述氢气；/n其中包含所述氢化硅烷、所述胺和所述脱氢偶联催化剂的所述反应混合物的形成包括将所述氢化硅烷连续地进料至包含所述胺和所述脱氢偶联催化剂的所述反应器。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20180523 US 62/6754391.一种制备氨基硅烷的方法，所述方法包括：
在反应器中形成包含氢化硅烷、胺和脱氢偶联催化剂的反应混合物；
使所述反应混合物经受足以引起所述氢化硅烷与所述胺之间的脱氢偶联反应以形成所述氨基硅烷和氢气的条件；以及
从所述反应器排出所述氢气；
其中包含所述氢化硅烷、所述胺和所述脱氢偶联催化剂的所述反应混合物的形成包括将所述氢化硅烷连续地进料至包含所述胺和所述脱氢偶联催化剂的所述反应器。


2.根据权利要求1所述的方法，其中所述氢气的排出是连续的。


3.根据权利要求2所述的方法，其中通过使氢气通过所述反应器中的通气孔连续地排出，从所述反应器中移除所述氢气。


4.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中所述氢化硅烷为单硅烷(SiH4)或二硅烷(Si2H6)。


5.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中所述氨基硅烷为有机氨基硅烷或三甲硅烷基胺。


6.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中所述胺为符合式(I)的伯胺或仲胺
(I)RaNH3-a，
其中每个R独立地为具有1至18个碳原子的烃基，并且下标a为1或2。


7.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中包含所述氢化硅烷、所述胺和所述脱氢偶联催化剂的所述反应混合物的所述形成包括：将脱氢偶联预催化剂添加到所述反应...

【专利技术属性】
技术研发人员：A·E·福斯，J·A·马多克，B·D·瑞肯，M·D·特拉根豪福，
申请(专利权)人：美国陶氏有机硅公司，
类型：发明
国别省市：美国;US