一种可拉伸弹性十字超材料的制备方法技术

一种可拉伸弹性十字超材料的制备方法，本发明专利技术涉及超材料的制备领域。本发明专利技术要解决现有太赫兹开关器件结构复杂，且不能卷曲拉伸、工作频段单一的技术问题。方法：在基底旋涂牺牲层，磁控溅射金属银，形成银层；旋涂光刻胶，采用光刻机曝光，通过掩膜版将所需图案转移到步骤四形成的光刻胶层上，采用硝酸铁溶液腐蚀的暴露银层，旋涂PDMS混合液，采用溶解液将牺牲层溶解。本发明专利技术通过PDMS成膜工艺和传统光刻技术制备了十字金属超材料，利用外加应力作用于PDMS基底上改变样品宏观尺寸，从而在微观上改变超材料周期。电偶极子共振频率和表面布洛赫模式共振频率随着周期增大发生红移，使得共振频率位置处透过强度增大。本发明专利技术用于制备可拉伸弹性十字超材料。

【技术实现步骤摘要】
一种可拉伸弹性十字超材料的制备方法
本专利技术涉及超材料的制备领域。
技术介绍
太赫兹波位于微波和红外之间，其独特的光谱位置使太赫兹波在生物医学、通信和雷达等领域具有巨大的潜力。近年来，随着通信技术的不断升级，通信频段逐渐从微波向毫米兹波靠近，太赫兹波段已然成为下一代通信技术的抢占点。太赫兹开关作为太赫兹波通信技术的核心器件，在控制太赫兹信号传输过程中起着重要的作用。另外目前的器件设计正朝着小型化，超薄化，多功能化发展，多波段太赫兹柔性开关可以应用于柔性设备及可拉伸系统中，通过一个装置实现多带太赫兹信号的同步调制，将极大的促进太赫兹通信领域的发展。由于缺乏天然响应材料和电子学方法的频率限制，早期太赫兹波段调制器件由于调制深度较小，难以实现开关功能，使得多年来太赫兹相关调制器件的发展陷入瓶颈。超材料作为一种具有特定电磁特性的周期性人工亚波长结构，自本世纪初提出以来得到了广泛的研究。从微波到紫外光，超材料已经被设计用于频率选择、传感、调制、检测等方面，在太赫兹领域应用的超材料技术极大地促进了太赫兹功能器件的发展。然而目前的太赫兹开关都是基于本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种可拉伸弹性十字超材料的制备方法，其特征在于该方法具体按以下步骤进行：/n一、将光刻胶旋涂在基底上，然后在热台上前烘，紫外曝光，形成牺牲层；/n二、将PDMS主剂和固化剂混合均匀，真空脱泡，然后旋涂在牺牲层上，固化形成PDMS膜；/n三、在步骤二形成的PDMS膜上磁控溅射金属银，形成银层；/n四、在步骤三形成的银层上旋涂光刻胶，然后放在热台上前烘，形成光刻胶层；/n五、采用光刻机曝光，通过掩膜版将所需图案转移到步骤四形成的光刻胶层上，再放在热台上后烘，然后在显影液中显影，光刻胶层呈现所需图案，其余部分暴露银层；/n六、采用硝酸铁溶液腐蚀步骤五的暴露银层，然后旋涂PDMS混合液，固化，形成...

【技术特征摘要】
1.一种可拉伸弹性十字超材料的制备方法，其特征在于该方法具体按以下步骤进行：
一、将光刻胶旋涂在基底上，然后在热台上前烘，紫外曝光，形成牺牲层；
二、将PDMS主剂和固化剂混合均匀，真空脱泡，然后旋涂在牺牲层上，固化形成PDMS膜；
三、在步骤二形成的PDMS膜上磁控溅射金属银，形成银层；
四、在步骤三形成的银层上旋涂光刻胶，然后放在热台上前烘，形成光刻胶层；
五、采用光刻机曝光，通过掩膜版将所需图案转移到步骤四形成的光刻胶层上，再放在热台上后烘，然后在显影液中显影，光刻胶层呈现所需图案，其余部分暴露银层；
六、采用硝酸铁溶液腐蚀步骤五的暴露银层，然后旋涂PDMS混合液，固化，形成PDMS薄膜覆盖层；
七、采用溶解液将牺牲层溶解，获得可拉伸弹性十字超材料，完成该方法。


2.根据权利要求1所述的一种可拉伸弹性十字超材料的制备方法，其特征在于步骤一中基底材质为玻璃，使用前依次采用丙酮、酒精和去离子水分别超声清洗10min。


3.根据权利要求1所述的一种可拉伸弹性十字超材料的制备方法，其特征在于步骤一中旋涂光刻胶时，控制转速为4000r/min，时间为50s。...

【专利技术属性】
技术研发人员：田浩，王晶，谭鹏，周忠祥，
申请(专利权)人：哈尔滨工业大学，
类型：发明
国别省市：黑龙江;23