可实现温度精准原位探测的镜头结构及其温度补偿方法技术

本发明专利技术涉及一种可实现温度精准原位探测的镜头结构，该镜头结构包括镜筒，沿光轴方向依次设置的镜片，原位测温模块和精密调整模块；所述的镜筒包括依次连接的多个单段镜筒；原位测温模块包括沿各镜片圆周方向均布的四个测温单元；精密调整模块包括沿偏心补偿环节镜片圆周方向均布的四个偏心调整单元，和设置在间隔补偿环节相邻两个单段镜筒相接处内侧的四个间隔调整单元，四个间隔调整单元沿圆周方向均布。本发明专利技术可以实时对镜头从上到下，从里到外的温度数据进行原位探测和分析，对补偿环节的偏心和间隔进行调整，实现对温度变化造成的像质降低进行补偿，使镜头成像始终维持不变。

【技术实现步骤摘要】
可实现温度精准原位探测的镜头结构及其温度补偿方法
本专利技术属于光学镜头
，涉及一种可实现温度精准原位探测的镜头结构及其温度补偿方法。
技术介绍
显微物镜作为先进光学系统在生物学、计量学以及半导体检测等领域中的应用愈发广泛。随着人类探索领域不断地向更加微观的领域前进，对先进光学系统提出了越来越高的需求，一方面：对光学元件精度要求高，如应用在基因测序仪、光刻机、晶元缺陷检测等领域的先进光学系统，均对光学元件单面面形提出了1/100～1/500波长(常规系统光学元件单面面形1/5～1/20波长)，精度相对常规系统提升至少20倍，光学系统整机精度接近衍射极限，环境温度漂移等在常规系统中可以不予考虑，但是对于上述高精度显微先进光学系统，温度波动带来的缺失是毁灭性的。另一方面：在保证高精度的同时，还要兼备稳定性，能维持高精度长时间的工作状态。对先进光学系统稳定性影响最大的因素之一就是温度，而实现温控的第一前提就是温度探测，传统的温度探测镜头结构，将测温点放在工作环境中或放在镜头外壁上，就认为实现了测得的温度就是先进光学系统的温度，但是难以实本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种可实现温度精准原位探测的镜头结构，包括镜筒，沿光轴方向依次设置的镜片，其特征在于还包括原位测温模块和精密调整模块；所述的镜筒包括依次连接的多个单段镜筒；原位测温模块包括沿各镜片圆周方向均布的四个测温单元；精密调整模块包括沿偏心补偿环节镜片圆周方向均布的四个偏心调整单元(4.1)，和设置在间隔补偿环节相邻两个单段镜筒相接处内侧的四个间隔调整单元(4.2)，四个间隔调整单元(4.2)沿圆周方向均布。/n

【技术特征摘要】
1.一种可实现温度精准原位探测的镜头结构，包括镜筒，沿光轴方向依次设置的镜片，其特征在于还包括原位测温模块和精密调整模块；所述的镜筒包括依次连接的多个单段镜筒；原位测温模块包括沿各镜片圆周方向均布的四个测温单元；精密调整模块包括沿偏心补偿环节镜片圆周方向均布的四个偏心调整单元(4.1)，和设置在间隔补偿环节相邻两个单段镜筒相接处内侧的四个间隔调整单元(4.2)，四个间隔调整单元(4.2)沿圆周方向均布。


2.根据权利要求1所述的可实现温度精准原位探测的镜头结构，其特征在于所述的四个测温单元通过与单段镜筒螺纹连接镶嵌在单段镜筒的凹槽中，同时与对应镜片紧密接触。


3.根据权利要求1所述的可实现温度精准原位探测的镜头结构，其特征在于所述的偏心调整单元(4.1)和间隔调整单元(4.2)采用驱动装置。

【专利技术属性】
技术研发人员：曲贺盟，张继真，谢晓麟，王超，
申请(专利权)人：长春长光智欧科技有限公司，
类型：发明
国别省市：吉林;22