【技术实现步骤摘要】
一种显微物镜高集成度整机装置
本专利技术属于显微物镜
，涉及一种显微物镜高集成度整机装置。
技术介绍
显微物镜作为先进光学系统在生物学、计量学以及半导体检测等领域中的应用愈发广泛。随着人类探索不断地向更加微观的领域前进，对显微物镜提出了越来越高的需求，一方面：要求物镜实现高通量，高通量意味着物镜系统需要具有大视场、大数值孔径、宽谱段等特点，如基因测序、晶元缺陷检测等领域，均对显微物镜提出了高通量的需求。另一方面：要求物镜实现高精度，如基因测序仪、光刻机、晶元缺陷检测等领域应用的显微物镜均需要更高的精度，高精度不仅意味着更高的成像精度，而是要求光学件、机械结构件、装调集成等多环节的高精度，比如对光学元件单面面形提出了1/100～1/500波长(常规系统光学元件单面面形1/5～1/20波长)，精度相对常规系统提升至少20倍。第三方面：在保证物镜高通量高精度等优异特性的同时，还要兼备高性价比适合批量化生产，因此，上述先进光学系统的应用领域已经无法满足于仅仅实现基础成像功能，对物镜的可标定、易对准、可制备性等多特性的高集成度提...
【技术保护点】
1.一种显微物镜高集成度整机装置，其特征在于包括零位标定器(2)，精确调整装置(3)；所述的零位标定器(2)包括压电驱动器(2.1)、双层柔性导向环(2.2)、标定镜片(2.3)、标定器外壳(2.4)；标定器外壳(2.4)的下部与基础成像物镜主体(1)的顶部螺纹连接；零位调整柔性导向环(2.2)嵌在标定器外壳(2.4)内部；四个压电驱动器(2.1)均匀分布在零位调整柔性导向环(2.2)与标定镜片(2.3)之间；标定镜片(2.3)为基础成像物镜主体(1)中显微物镜顶端第一片镜片，且与基础成像物镜同光轴；精确调整装置(3)包括补偿精调核心部分；所述的补偿精调核心部分包括径向驱动...
【技术特征摘要】
1.一种显微物镜高集成度整机装置，其特征在于包括零位标定器(2)，精确调整装置(3)；所述的零位标定器(2)包括压电驱动器(2.1)、双层柔性导向环(2.2)、标定镜片(2.3)、标定器外壳(2.4)；标定器外壳(2.4)的下部与基础成像物镜主体(1)的顶部螺纹连接；零位调整柔性导向环(2.2)嵌在标定器外壳(2.4)内部；四个压电驱动器(2.1)均匀分布在零位调整柔性导向环(2.2)与标定镜片(2.3)之间；标定镜片(2.3)为基础成像物镜主体(1)中显微物镜顶端第一片镜片，且与基础成像物镜同光轴；精确调整装置(3)包括补偿精调核心部分；所述的补偿精调核心部分包括径向驱动器(3.2.1)、多自由度柔性导向环(3.2.2)、核心镜组(3.2.3)、轴向驱动器(3.2.4)；多自由度柔性导向环(3.2.2)设置在基础成像物镜主体(1)下部的镜壳(1.2)内，径向驱动器(3.2.1)设置在多自由度柔性导向环(3.2.2)与核心镜组(3.2.3)之间；轴向驱动器(3.2.4)与镜壳(1.2)螺纹连接且其顶端顶在多自由度柔性导向环(3.2.2)的下端。
2.根据权利要求1所述的显微物镜高集成度整机装置，其特征在于所述的零位调整柔性导向环(2.2)采用双层柔性导向环，四个压电驱动器(2.1)均匀分布在零位调整柔性导向环(2.2)的夹层内；标定镜片(2.3)由零位调整柔性导向环(2.2)夹持固定，且与基础成像物镜同光轴。
3.根据权利要求1所述的显微物镜高集成度整机装置，其特征在于所述的零位调整柔性导向环(2.2)采用单层柔性导向环，四个压电驱动器(2.1)均匀分布在零位调整柔性导向环(2.2)与标定镜片(2.3)固定件之间；标定镜片(2.3)通过固定件被夹持固定在零位调整柔性导向环(2.2)内，且与基础成像物镜同光轴。
4.根据权利要求1所述的显微物镜高集成度整机装置，其特征在于所述的标定镜片(2.3)采用上平下凸的平凸透镜。
5.根据权利要求1所述的显微物镜高集成度整机装置，其特征在于所述的多自由度柔性导向环(3.2.2)采用双层结构，径向驱动器(3.2.1)设置在多自由度柔性导向环(3.2.2)的夹层内。
6.根据权利要求1所述的显微物镜高集成度整机装置，其特征在于所述的多自由度柔性导向环(3.2.2)采...
【专利技术属性】
技术研发人员：管海军，谢晓麟，张新，张继真，
申请(专利权)人：长春长光智欧科技有限公司，
类型：发明
国别省市：吉林;22
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