【技术实现步骤摘要】
光学式角度传感器
本专利技术涉及一种光学式角度传感器。
技术介绍
以往，已知一种光学式角度传感器，具备：光源，其照射光；受光单元，其接收来自光源的光；以及运算单元，其运算因测定对象的转动而产生的角度的变化量。例如，日本特开2003-156319号公报中记载的二维角度传感器具备：光源，其用于向检测对象投射光束；透镜，其设置于光束从检测对象反射的反射光的光路中；以及检测元件(受光单元)，其设置于透镜的焦点附近，由光电二极管形成。二维角度传感器通过计算由检测元件检测出的光电流，来对检测对象的角度进行检测。具体地说，二维角度传感器根据向检测元件投射的光的形状和该光的光量的大小，来对检测对象的倾斜度进行检测。在向检测元件投射的光的形状和该光的光量的大小因透镜等而发生了变化的情况下，该变化有时作为噪声而对检测结果给予影响。因而，二维角度传感器必须具备高品质且昂贵的透镜等光学部件以抑制噪声，从而存在成本高的问题。针对这种问题，例如在日本特开平11-237207号公报中使用了激光干涉仪。激光干涉仪利用激光的干涉来测定...
【技术保护点】
1.一种光学式角度传感器，具备：衍射单元，其具有沿着测定方向以规定的周期配置的衍射光栅；光源，其朝向所述衍射单元照射光；受光单元，其接收经由了所述衍射单元的光；以及运算单元，其基于所述受光单元接收到的光，来运算以规定的轴为转动轴进行转动的测定对象的角度的变化量，所述光学式角度传感器的特征在于，/n所述光学式角度传感器还具备多个反射单元，所述多个反射单元使从所述光源照射并经由了所述衍射单元的光朝向所述衍射单元反射，/n所述衍射单元安装于所述测定对象，随着所述测定对象的转动而同步地转动，/n所述衍射单元具备：/n第一衍射部，其将来自所述光源的光分割为第一光及与所述第一光不同的第...
【技术特征摘要】
20190603 JP 2019-1037711.一种光学式角度传感器，具备：衍射单元，其具有沿着测定方向以规定的周期配置的衍射光栅；光源，其朝向所述衍射单元照射光；受光单元，其接收经由了所述衍射单元的光；以及运算单元，其基于所述受光单元接收到的光，来运算以规定的轴为转动轴进行转动的测定对象的角度的变化量，所述光学式角度传感器的特征在于，
所述光学式角度传感器还具备多个反射单元，所述多个反射单元使从所述光源照射并经由了所述衍射单元的光朝向所述衍射单元反射，
所述衍射单元安装于所述测定对象，随着所述测定对象的转动而同步地转动，
所述衍射单元具备：
第一衍射部，其将来自所述光源的光分割为第一光及与所述第一光不同的第二光并进行衍射，并使经由了所述多个反射单元的所述第一光及所述第二光衍射后进行合成，从而形成被所述受光单元接收的合成光；以及
第二衍射部，其使经由了所述多个反射单元的所述第一光及所述第二光衍射后向所述多个反射单元射出，并使沿与射出时相反的方向入射的被所述多个反射单元反射的所述第一光及所述第二光衍射后向所述多个反射单元射出，
所述多个反射单元具备：
第一反射单元，其使通过所述第一衍射部分割并进行了衍射的第一光沿与该第一光入射来的方向平行且相反的方向朝向所述第二衍射部反射；
第二反射单元，其使通过所述第一衍射部分割并进行了衍射的第二光沿与该第二光入射来的方向平行且相反的方向朝向所述第二衍射部反射；
第三反射单元，其使经由了所述第二衍射部的所述第一光及所述第二光朝向所述第二衍射部反射；
第四反射单元，其使通过所述第二衍射部进行了衍射的第一光沿与该第一光入射来的方向平行且相反的方向朝向所述第一衍射部反射；以及
第五反射单元，其使通过所述第二衍射部进行了衍射的第二光沿与该第二光入射来的方向平行且相反的方向朝向所述第一衍射部反射，
所述受光单元具备被照射所述合成光的受光面，
所述运算单元伴随着所述衍射单元的转动，基于在所述受光面产生的由所述合成光形成的干涉信号的变化，来运算角度的变化量。
2.根据权利要求1所述的光学式角度传感器，其特征在于，
所述第一反射单元及所述第四反射单元与所述第二反射单元及所述第五反射单元分别为相同的构件。
3.根据权利要求1所述的光学式角度传感器，其特征在于，
所述第三反射单元为使所述第一光及所述第二光朝向所述第二衍射部反射的单个构件。
4.根据权利要求1所述的光学式角度传感器，其特征在于，
所述多个反射单元还具备第六反射单元，该第六反射单元使来自所述光源的光朝向所述第一衍射部反射，并使所述合成光朝向所述受光单元反射。
5.根据权利要求1所述的光学式角度传感器，其特征在于，
所述第三反射单元为棱镜。
6.根据权利要求1所述的光学式角度传感器，其特征在于，
所述第一反射...
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