一种活动式椭偏仪安装单元制造技术

本发明专利技术涉及测试设备技术领域，且公开了一种活动式椭偏仪安装单元，包括龙门架，龙门架的上端固定连接有横梁，横梁的中部卡接有同步滑轨，同步滑轨的前方设置有连接块，连接块的内部设置有同步齿轮，同步滑轨的内部贯穿设置有两根垂直杆，垂直杆的下端固定连接有套筒，套筒的内部活动连接有伸缩杆，横梁的下方设置有拱形支架，拱形支架的前方设置有两个移动块，移动块延伸进拱形支架的一端偶接有移动轮，移动块的前端面固定连接有测量臂支架。该活动式椭偏仪安装单元，通过设置弧形支架，使同步调整两移动块时，使其在相反方向沿着同一弧形槽同步移动相同位移，保证了其新位置的偏转角也相同，从而实现不影响测点位置的同时调整偏转角。

【技术实现步骤摘要】
一种活动式椭偏仪安装单元
本专利技术涉及测试设备
，具体为一种活动式椭偏仪安装单元。
技术介绍
椭偏仪是测量透明、半透明薄膜厚度的主流方法，它采用偏振光源发射激光，当光在样本中发生反射时，会产生椭圆的偏振。椭偏仪通过测量反射得到的椭圆偏振，并结合已知的输入值精确计算出薄膜的厚度，是一种非破坏性、非接触的光学薄膜厚度测试技术。在半导体加工工艺中，椭偏仪可以直接被集成到工艺设备上，因此广受各种半导体生产厂商的青睐。但是，目前市场上能集成到工艺设备上的椭偏仪大部分不能进行角度和深度的调节，这给产线在加工不同类型的产品时带来了极大的麻烦，往往需要重新改造设备，费时费力。
技术实现思路
(一)解决的技术问题针对现有技术的不足，本专利技术提供了一种活动式椭偏仪安装单元，具备可以电控调节椭偏仪的入射角度与距离的优点，解决了目前市场上能集成到工艺设备上的椭偏仪大部分不能进行角度和深度的调节的问题。(二)技术方案为实现上述电控调节椭偏仪的入射角度与距离的目的，本专利技术提供如下技术方案：一种活动式椭偏仪安本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种活动式椭偏仪安装单元，包括龙门架(1)，其特征在于：所述龙门架(1)的上端固定连接有横梁(2)，所述横梁(2)的中部卡接有同步滑轨(3)，所述同步滑轨(3)的前方设置有连接块(4)，所述连接块(4)的内部设置有同步齿轮(5)，所述同步滑轨(3)的内部贯穿设置有两根垂直杆(6)，所述垂直杆(6)的下端固定连接有套筒(7)，所述套筒(7)的内部活动连接有伸缩杆(8)，所述横梁(2)的下方设置有拱形支架(9)，所述拱形支架(9)的前方设置有两个移动块(10)，所述移动块(10)延伸进拱形支架(9)的一端偶接有移动轮(11)，所述移动块(10)的前端面固定连接有测量臂支架(12)，所述测量臂支...

【技术特征摘要】
1.一种活动式椭偏仪安装单元，包括龙门架(1)，其特征在于：所述龙门架(1)的上端固定连接有横梁(2)，所述横梁(2)的中部卡接有同步滑轨(3)，所述同步滑轨(3)的前方设置有连接块(4)，所述连接块(4)的内部设置有同步齿轮(5)，所述同步滑轨(3)的内部贯穿设置有两根垂直杆(6)，所述垂直杆(6)的下端固定连接有套筒(7)，所述套筒(7)的内部活动连接有伸缩杆(8)，所述横梁(2)的下方设置有拱形支架(9)，所述拱形支架(9)的前方设置有两个移动块(10)，所述移动块(10)延伸进拱形支架(9)的一端偶接有移动轮(11)，所述移动块(10)的前端面固定连接有测量臂支架(12)，所述测量臂支架(12)远离移动块(10)的一侧设置有行程齿轮(13)，所述测量臂支架(12)的内部贯穿设置有偏振测量臂(14)，所述拱形支架(9)的下方设置有移动载台(15)，所述移动载台(15)的上表面放置有晶片(16)。


2.根据权利要求1所述的一种活动式椭偏仪安装单元，其特征在于：所述同步滑轨(3)中心前侧开设有槽道，其内设有齿条同步齿轮(5)相适配，其两侧内部开设有贯...

【专利技术属性】
技术研发人员：不公告发明人，
申请(专利权)人：赵利敏，
类型：发明
国别省市：河南;41