用于地震仪或其它装置中的微机械悬浮板制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种使用平面内悬挂几何结构的加速计或地震仪，该悬挂几何结构具有悬浮板以及至少一个固定电容板。悬浮板由单一件形成，并且包括外部框架、一对柔性件、以及位于柔性件之间的集成的检测质块。柔性件使得检测质块在悬挂平面内沿灵敏方向运动，同时限制沿所有离轴方向的运动。检测质块的离轴运动通过使用在柔性件内或其间支出的中间框架而最小化。中间框架可以包括运动止动件，以防止在过载情况下的进一步相对运动。设备可以包括阻尼结构，诸如弹簧或气体结构，其包括梯形活塞和对应的气缸，以在无源状态下提供阻尼。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术通常涉及地震仪。具体地说，本专利技术涉及一种可以用于地震仪(速度计)、加速计、或其它类似装置中的具有完整检测质块(proofmass)的改进的微机械悬浮板及其制造方法。
技术介绍
题为“微机械加速计”的美国专利申请No.10/058,210于2002年1月5日提交，其公布了加速计或地震仪的一种新颖结构，其利用具有悬浮板和至少一个固定电容板的平面内悬挂几何结构。与利用弹簧将一独特的检测质块支撑在外框架上的传统地震仪相对照，微机械悬浮板由一种材料制成，包括外框架、一对挠性件、以及设置在挠性件之间的完整检测质块。挠性件使得检测质块在悬挂平面内沿一个方向(敏感方向)运动，同时尽可能地限制在所有其它离轴方向上的运动。新的平面内设计还包括用于确定检测质块的相对运动的位移传感器。传感器包括优选地位于检测质块上的精确设定的驱动电极以及位于固定电容板上的相应的拾取电极(pickup electrode)。用于低噪声地震仪的这种设计的优选实施例使得系统的生产具有大约10Hz的共振频率。但是，为了在大约100Hz的带宽上利用此类设计，希望确保寄生共振(spurious resonance)频本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种地震仪，包括：至少一个固定电容板；第一电容传感器阵列，位于所述固定电容板的表面上，所述第一电容传感器阵列具有导电元件的周期图案；悬浮板，具有由多个柔性件支撑的检测质块，所述柔性件能够将所述检测质块的运动限制在一个轴线上，具有位于所述柔性件内或之间的至少一个中间框架，所述中间框架消除了寄生频率，并提供了所述地震仪的更宽的有效操作带宽；第二电容传感器阵列，位于所述检测质块的表面上，具有导电元件的周期图案，所述导电元件在与分开的相对位置中的所述第一电容传感器阵列中的所述导电元件平行的周期性的公共方向上对齐；电连接件，连接至所述固定电容板上的所述第一电容传感器阵列，使得来自外部元件的周期激励可以通...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：威廉托马斯派克，艾安斯坦德利，理查德西姆斯，
申请(专利权)人：凯恩迈特里克斯公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]