宽温域减摩耐磨MoCN复合薄膜、其制备方法及应用技术

本发明专利技术公开了一种宽温域减摩耐磨MoCN复合薄膜、其制备方法及应用。所述复合薄膜包括依次形成在基体上的Mo过渡层以及MoN与C共掺层，所述共掺层由非晶碳相及多晶纳米晶相组成，所述多晶纳米晶相包括MoN、Mo

【技术实现步骤摘要】
宽温域减摩耐磨MoCN复合薄膜、其制备方法及应用
本专利技术涉及一种减摩耐磨涂层，具体涉及一种宽温域减摩耐磨MoCN复合薄膜及其制备方法，所述复合薄膜可用于宽温域环境下服役的基体表面，属于基体表面处理

技术介绍
随着航空航天技术的快速发展，从室温到高温具有自适应低摩擦性能的薄膜成为国内外航空发动机固体润滑材料领域的研究热点。然而，对于宽温域环境下的摩擦，单一润滑相润滑材料(例如：MoS2、DLC等)难以同时满足从室温到高温的低摩擦系数和低磨损率，导致部件在宽温域环境下摩擦系数不稳定，磨损率较高等问题，严重降低了高温部件的可靠性和服役寿命；此外，氮化物作为一种硬质基础相，具有高硬度、高耐磨性及热稳定性强等特性被广泛应用于各种工况下，但是，在常温摩擦条件下，摩擦系数依然相对较高。作为高温摩擦部件，较低的摩擦系数及磨损率能够显著提高部件的使役寿命和运行稳定性。因此，开展宽温域环境下低摩擦磨损的复合薄膜研究具有重要的实际意义。
技术实现思路
本专利技术的主要目的在于提供一种宽温域减摩耐磨MoCN复合薄膜，其在宽温域环境下具本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种宽温域减摩耐磨MoCN复合薄膜，其特征在于包括依次形成在基体上的Mo过渡层以及MoN与C共掺层，所述共掺层由非晶碳相及多晶纳米晶相组成，其中非晶碳相的含量为10.6at.％～18.7at.％，所述多晶纳米晶相包括24.6at.％～26.2at.％MoN、38.2at.％～42.6at.％Mo

【技术特征摘要】
1.一种宽温域减摩耐磨MoCN复合薄膜，其特征在于包括依次形成在基体上的Mo过渡层以及MoN与C共掺层，所述共掺层由非晶碳相及多晶纳米晶相组成，其中非晶碳相的含量为10.6at.％～18.7at.％，所述多晶纳米晶相包括24.6at.％～26.2at.％MoN、38.2at.％～42.6at.％Mo2N和18.5at.％～20.6at.％MoC，且所述多晶纳米晶相的晶粒大小为5.8～12.6nm。


2.如权利要求1所述的宽温域减摩耐磨MoCN复合薄膜，其特征在于：所述复合薄膜含有10.36at.％～23.4at.％的C原子；和/或，所述Mo过渡层的厚度为130～150nm；和/或，所述MoCN层的厚度为2.98～3.04um；和/或，所述复合薄膜在常温大气环境下的摩擦系数为0.23～0.26，在500℃～700℃环境下的摩擦系数为0.38～0.44；和/或，所述复合薄膜的最大硬度值为28.9±4.24GPa。


3.如权利要求1所述的宽温域减摩耐磨MoCN复合薄膜，其特征在于：所述复合薄膜含有10.36at.％～12.48at.％的C原子。


4.一种宽温域减摩耐磨MoCN复合薄膜的制备方法，其特征在于包括：采用磁控溅射技术在基体上依次沉积Mo过渡层以及MoC...

【专利技术属性】
技术研发人员：蒲吉斌，钱建国，王立平，王海新，蔡召兵，毛春龙，陈善俊，毛金根，
申请(专利权)人：中国科学院宁波材料技术与工程研究所，江苏金晟元特种阀门股份有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江;33