一种电子级氨水的制备系统及工艺技术方案

本发明专利技术公开了一种电子级氨水的制备系统，包括蒸发器、混合器、混合槽和成品槽，蒸发器连接有液氨储槽，混合器通过过滤管与蒸发器连接，且混合器与混合槽之间连接有循环管组，成品槽与混合槽连接。该系统组成简单，实现了化繁为简，能够实现电子级氨水生产过程的系统化，有助于企业在相对经济的条件下实现量化生产；本发明专利技术还公开了一种电子级氨水的制备工艺，该工艺在基于上述制备系统的基础上能够实现电子级氨水系统化的生产，成本相对经济且生产效率较高。

【技术实现步骤摘要】
一种电子级氨水的制备系统及工艺
本专利技术涉及材料化学
，具体而言，涉及一种电子级氨水的制备系统及工艺。
技术介绍
随着电子行业的快速发展，尤其是在半导体领域中，对氨水的纯度要求也越来越高，而现有的电子级氨水的制造工艺相对比较繁杂，且没有一套能够相对经济并直接生产电子级氨水的成熟系统。有鉴于此，特提出本申请。
技术实现思路
本专利技术的第一个目的在于提供一种电子级氨水的制备系统，该系统组成简单，实现了化繁为简，能够实现电子级氨水生产过程的系统化，有助于企业在相对经济的条件下实现量化生产；本专利技术的第二个目的在于提供一种电子级氨水的制备工艺，该制备工艺实施简单、易于操作，在基于制备系统的基础上能够实现电子级氨水系统化的生产，成本相对经济且生产效率较高。本专利技术的实施例是这样实现的：一种电子级氨水的制备系统，包括蒸发器、混合器、混合槽和成品槽，蒸发器连接有液氨储槽，混合器通过过滤管与蒸发器连接，且混合器与混合槽之间连接有循环管组，成品槽与混合槽连接。进一步地，过滤管一端与混合器的上部连接，过滤管的管身与混合器之间至少连通有一组冷凝液排放管，冷凝液排放管的上端与过滤管管身的下部连通，冷凝液排放管的下端与混合器连通。进一步地，冷凝液排放管与过滤管管身的连接处内设置有过滤组件，过滤组件包括第一过滤板和第二过滤板，第一过滤板设置于过滤管管身的内腔中并能用于分隔过滤管管身的内腔，第二过滤板设置于冷凝液排放管的内腔中并能用于分隔冷凝液排放管的内腔，第一过滤板和第二过滤板之间设置有联动机构。进一步地，联动机构包括铰链、摆杆和提杆，铰链设置于过滤管管身的内腔与冷凝液排放管内腔的连接处，第一过滤板一侧与铰链铰接并能够活动分隔过滤管管身的内腔，铰链靠近冷凝液排放管的一侧固定摆杆，第二过滤板滑动设置于冷凝液排放管的内腔中，提杆固定于第二过滤板上，摆杆上加工有条形孔，提杆上固定有可滑动地伸入至条形孔内的滑销。进一步地，冷凝液排放管的内腔壁上成型有环形台阶，第二过滤板一侧具有与环形台阶匹配的柱状凸台，第二过滤板通过柱状凸台与环形台阶插装配合。进一步地，混合器顶部设置有搅拌机构，搅拌机构包括动力电机、传动箱和搅拌轴，动力电机与传动箱的输入端连接，传动箱设置于混合器内，且传动箱具有同步动作且转向相反的第一输出轴和第二输出轴，第一输出轴上套装有第一拨轮，第二输出轴上套装有第二拨轮，第一拨轮和第二拨轮的外沿上均加工有弧形缺口，混合器内固定有套装在第一拨轮和第二拨轮上的环形轨道，第一拨轮的弧形缺口与环形轨道的内孔壁之间形成用于供搅拌轴端部嵌入的第一轨道，以使搅拌轴能够沿第一拨轮的外沿移动，第二拨轮的弧形缺口与环形轨道的内孔壁之间也形成用于供搅拌轴端部嵌入的第二轨道，以使搅拌轴能够沿第二拨轮的外沿移动，第一轨道一侧与第二轨道一侧之间相切，且第一轨道和第二轨道相切部分相互连通。进一步地，混合器的内腔上部固定有隔板，环形轨道固定在隔板上，隔板上加工有定位轨道，定位轨道贯通隔板的上下表面，定位轨道的形状与第一轨道和第二轨道组合的形状相同，搅拌轴一端穿过定位轨道并穿入至第一轨道或第二轨道内。进一步地，隔板远离动力电机的一侧设置有使搅拌轴能够在第一轨道和第二轨道之间来回切换移动的限位组件，限位组件包括T型杆、限位销和定位销，定位销固定于定位轨道中间连通部分一侧的隔板表壁上，T型杆的竖梁与定位销铰接，且T型杆的竖梁端部位于定位轨道中间连通部分的左侧或右侧，限位销固定于定位销远离定位轨道一侧的隔板表壁上，T型杆的横梁位于定位销与限位销之间，限位销用于限制T型杆横梁的转动角度，且限位销与T型杆的竖梁端部之间固定有弹簧。一种利用上述制备系统制备电子级氨水的制备工艺，将液氨储槽内储存的液氨通入至蒸发器内并加热，产生的氨气经过滤管送入至混合器内，在混合器内的氨气冷凝为液氨后并在混合器内达到指定水位，通入超纯水并调整氨水的浓度，氨水调整至指定浓度后经冷却输送至混合槽内，再加入超纯水将氨水浓度调节为29％即制得成品电子级氨水，制得的成品电子级氨水输送至成品槽内，经精密过滤后进行分装入库。作为优选地，蒸发器内采用30～40℃的循环水对液氨进行加热，控制蒸发器内的压力为1.5～1.8Mpa。本专利技术实施例的有益效果是：本专利技术实施例提供的制备系统主要包括蒸发器、混合器、混合槽和成品槽，整体结构组成简单，将复杂的工序有序且简洁地进行了实体化，实现了化繁为简，有助于企业在相对经济的条件下实现量化生产；此外，本专利技术实施例提供的制备工艺在采用上述主要结构主体的基础支撑上进行操作，整个生产过程实施简单且易于操作，可以达到成本相对经济且生产效率较高的优势。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本专利技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。图1为本专利技术实施例提供的制备工艺的流程图；图2为本专利技术实施例提供的混合器的结构示意图；图3为本专利技术实施例提供的联动结构的结构示意图；图4为本专利技术实施例提供的搅拌机构的部分结构示意图；图5为本专利技术实施例提供的限位组件的结构示意图。图标：1-混合器；2-过滤管；3-冷凝液排放管；4-搅拌机构；5-第一过滤板；6-铰链；7-摆杆；8-条形孔；9-限位组件；10-提杆；11-第二过滤板；12-环形凸台；41-第一输出轴；42-第二输出轴；43-从动齿轮；44-主动齿轮；45-第二拨轮；46-第一拨轮；47-环形轨道；48-弧形缺口；49-搅拌轴；91-定位轨道；92-隔板；93-定位销；94-竖梁；95-横梁；96-限位销；97-弹簧。具体实施方式为使本专利技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本专利技术实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此，以下对在附图中提供的本专利技术的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本专利技术的范围，而是仅仅表示本专利技术的选定实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。在本专利技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该专利技术产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种电子级氨水的制备系统，其特征在于，包括蒸发器、混合器、混合槽和成品槽，所述蒸发器连接有液氨储槽，所述混合器通过过滤管与所述蒸发器连接，且所述混合器与所述混合槽之间连接有循环管组，所述成品槽与所述混合槽连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种电子级氨水的制备系统，其特征在于，包括蒸发器、混合器、混合槽和成品槽，所述蒸发器连接有液氨储槽，所述混合器通过过滤管与所述蒸发器连接，且所述混合器与所述混合槽之间连接有循环管组，所述成品槽与所述混合槽连接。


2.根据权利要求1所述的电子级氨水的制备系统，其特征在于，所述过滤管一端与所述混合器的上部连接，所述过滤管的管身与所述混合器之间至少连通有一组冷凝液排放管，所述冷凝液排放管的上端与所述过滤管管身的下部连通，所述冷凝液排放管的下端与所述混合器连通。


3.根据权利要求2所述的电子级氨水的制备系统，其特征在于，所述冷凝液排放管与所述过滤管管身的连接处内设置有过滤组件，所述过滤组件包括第一过滤板和第二过滤板，所述第一过滤板设置于所述过滤管管身的内腔中并能用于分隔所述过滤管管身的内腔，所述第二过滤板设置于所述冷凝液排放管的内腔中并能用于分隔所述冷凝液排放管的内腔，所述第一过滤板和所述第二过滤板之间设置有联动机构。


4.根据权利要求3所述的电子级氨水的制备系统，其特征在于，所述联动机构包括铰链、摆杆和提杆，所述铰链设置于所述过滤管管身的内腔与所述冷凝液排放管内腔的连接处，所述第一过滤板一侧与所述铰链铰接并能够活动分隔所述过滤管管身的内腔，所述铰链靠近所述冷凝液排放管的一侧固定所述摆杆，所述第二过滤板滑动设置于所述冷凝液排放管的内腔中，所述提杆固定于所述第二过滤板上，所述摆杆上加工有条形孔，所述提杆上固定有可滑动地伸入至所述条形孔内的滑销。


5.根据权利要求4所述的电子级氨水的制备系统，其特征在于，所述冷凝液排放管的内腔壁上成型有环形台阶，所述第二过滤板一侧具有与所述环形台阶匹配的柱状凸台，所述第二过滤板通过所述柱状凸台与所述环形台阶插装配合。


6.根据权利要求1所述的电子级氨水的制备系统，其特征在于，所述混合器顶部设置有搅拌机构，所述搅拌机构包括动力电机、传动箱和搅拌轴，所述动力电机与所述传动箱的输入端连接，所述传动箱设置于所述混合器内，且所述传动箱具有同步动作且转向相反的第一输出轴和第二输出轴，所述第一输出轴上套装有第一拨轮，所述第二输出轴上套装有第二拨轮，所述第一拨轮和第二拨轮的外沿上均加工有弧形缺口，所述混...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡侃中，任建业，刘奕丰，邱建铭，李文斌，陈少骏，骆彦成，
申请(专利权)人：福建天甫电子材料有限公司，
类型：发明
国别省市：福建;35