【技术实现步骤摘要】
一种新型全自动液氨气化生产氨水的新型装置及其工艺
本专利技术涉及氨水生产
，更具体地说，涉及一种新型全自动液氨气化生产氨水的新型装置及其工艺。
技术介绍
随着半导体行业技术的迅猛发展，对超净高纯(Ultra-cleanandHigh-purityReagent)的纯度的要求和标准也在不断提高，作为半导体行业中重要的电子级化学试剂之一，超纯氨水在半导体和化合物半导体器件制造中得以广泛的应用，其生产制备也得到越来越多的关注。由于氨水中存在着金属离子和固体颗粒等杂质，对于产品的制造和产率来讲影响是非常大的，甚至对于线宽较小的集成电路，几个金属离子或灰尘颗粒就足以报废整个电路。因此，通常要求超纯氨水的纯度达到国际半导体设备和材料组织制定的化学材料部分SEMIC17.1-0298标准(Grade4，G4标准)。超纯氨水生产中的关键在于解决去除金属离子杂质和颗粒杂质的问题。目前，关于高纯度氨水报道较少，而且现有技术主要通过液氨气化生产工业氨水、试剂氨水、高纯氨水，但是现有的液氨气化生产氨水的方法步骤繁琐，频繁使用高...
【技术保护点】
1.一种新型全自动液氨气化生产氨水的新型装置，其特征在于，包括：/n高效吸氨器(17)，用以实现液氨稀释、气氨回收，所述高效吸氨器(17)设置有液氨输入端a、氨气输出端b、冷却水输入端c、冷却水输出端d和氨水输出端e；/n冷却水循环机构，所述冷却水循环机构的输入端分别连接冷却水输入端c和冷却水输出端d，用以形成冷却水循环；/n连接机构，所述连接机构的输出端与液氨输入端a连接；/n液氨输入机构，所述液氨输入机构的输出端与连接机构的输入端连接，用以实现液氨和软水的输入；/n软水输入机构，所述软水输入机构的输出端与连接机构的输入端连接，用以实现氨水的输入；/n氨气回收机构，所述氨...
【技术特征摘要】
1.一种新型全自动液氨气化生产氨水的新型装置，其特征在于，包括：
高效吸氨器(17)，用以实现液氨稀释、气氨回收，所述高效吸氨器(17)设置有液氨输入端a、氨气输出端b、冷却水输入端c、冷却水输出端d和氨水输出端e；
冷却水循环机构，所述冷却水循环机构的输入端分别连接冷却水输入端c和冷却水输出端d，用以形成冷却水循环；
连接机构，所述连接机构的输出端与液氨输入端a连接；
液氨输入机构，所述液氨输入机构的输出端与连接机构的输入端连接，用以实现液氨和软水的输入；
软水输入机构，所述软水输入机构的输出端与连接机构的输入端连接，用以实现氨水的输入；
氨气回收机构，所述氨气回收机构的输入端与氨气输出端b连接，所述氨气回收机构还与软水输入机构连接，用以实现氨气的回收排放；
第八管道(11)，所述第八管道(11)与氨水输出端e连接，用以实现氨水的排出；
分流机构，所述分流机构的其中一个输入端与第八管道(11)的输出端连接，且分流机构的其中一个输出端与液氨输入机构的输入端连接，用以实现氨水分流；
换热机构，所述换热机构的输入端与冷却水循环机构的输出端连接，且换热机构的输出端与分流机构的另一个输入端连接；
氨水储存机构，所述氨水储存机构的输入端与分流机构的另一个输出端连接；
氨水输送机构，所述氨水输送机构的输入端与氨水储存机构的其中一个输出端连接；以及
余气回收机构，所述余气回收机构的输入端与氨水储存机构的另一个输出端连接，且余气回收机构的输出端与氨气回收机构的输入端连接。
2.根据权利要求1所述的一种新型全自动液氨气化生产氨水的新型装置，其特征在于，所述冷却水循环机构包括管网(7)、第五管道(8)、和第六管道(9)，所述第五管道(8)连接在管网(7)的输出端与冷却水输入端c之间，所述第五管道(8)上自左向右依次安装有篮式过滤器(81)和第三阀门(82)，所述第六管道(9)连接在冷却水输出端d与管网(7)的输入端之间，所述第六管道(9)上自左向右依次安装有第二换向阀(91)和第四阀门(92)。
3.根据权利要求2所述的一种新型全自动液氨气化生产氨水的新型装置，其特征在于，所述连接机构包括第四管道(6)，所述第四管道(6)连接在液氨输入端a上，所述第四管道(6)上安装有第二阀门(61)。
4.根据权利要求3所述的一种新型全自动液氨气化生产氨水的新型装置，其特征在于，所述液氨输入机构包括鹤管(1)、第一管道(2)和第二管道(3)，所述第一管道(2)连接在第四管道(6)的输入端与鹤管(1)的输出端之间，所述第一管道(2)上自左向右依次安装有第一单向阀(21)、第一换向阀(22)和第二单向阀(23)，所述第二管道(3)连接在第四管道(6)的输入端与鹤管(1)的输出端之间，所述第二管道(3)与第一单向阀(21)、第一换向阀(22)和第二单向阀(23)共同构成并联关系，所述第二管道(3)上安装有第一阀门(31)。
5.根据权利要求4所述的一种新型全自动液氨气化生产氨水的新型装置，其特征在于，所述软水输入机构包括软水储槽(4)和第三管道(5)，所述第三管道(5)的输入端插接在软水储槽(4)内，且第三管道(5)的输出端与第四管道(6)的输入端连接。
6.根据权利要求5所述的一种新型全自动液氨气化生产氨水的新型装置，其特征在于，所述氨气回收机构包括氨气吸收器(19)、气体排出口(13)和第七管道(10)，所述第七管道(10)连接在氨气输出端b与氨气吸收器(19)的输入端之间，所述第七管道(10)上安装有第五阀门(101)，所述氨气吸收器(19)固定设置在气体排出口(13)顶部并与其连接所述氨气吸收器(19)固定设置在气体排出口(13)顶部并与其连接，所述气体排出口(13)固定设置在软水储槽(4)的顶部并与其连通。
7.根据权利要求6所述的一种新型全自动液氨气化生产氨水的新型装置，其特征在于，所述分流机构包括第九管道(111)、第十一管道(114)、第十二管道(115)和第十三管道(117)，所述第九管道(111)的输入端与第八管道(11)的输出端连接，所述第十三管道(117)的输出端同样与第八管道(11)的输出端连接，且第十三管道(117)与第九管道(111)构成并联关系，所述第十三管道(117)上安装有...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘麟，叶建明，
申请(专利权)人：台州市睿谦环保设备制造有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江;33
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