本实用新型专利技术提供了一种用于多种柱体喷涂的载物装置；包括上板、下板、设置于所述上板和所述下板之间的侧网以及以及若干连接所述上板和所述下板的支撑柱，所述支撑柱用于支撑所述侧网；所述上板、所述下板和闭合的所述侧网形成柱形的喷涂腔室，所述下板设置有支撑网，所述上板和下板之间设置侧网；所述下板靠近所述涂覆腔室的一侧设置锥形的支撑网；本实用新型专利技术的有益效果是：载物装置设置侧网，原料蒸气均匀地扩散进入喷涂腔室，便于在产品表面形成厚薄均一的沉积膜；支撑产品的支撑网设置为锥形，且可通过原料蒸气，产品底部可以接触原料蒸气，大大减少单次沉积过程中产品不能接触蒸气的区域面积，两次沉积后可以在产品表面形成较为均匀的沉积膜。
【技术实现步骤摘要】
一种用于多种柱体喷涂的载物装置
本技术涉及化学气相沉积设备领域，特别涉及一种用于多种柱体喷涂的载物装置。
技术介绍
蒸气沉积聚合，VDP是一种新型涂覆技术。主要过程为，将待涂覆产品放置在真空的涂覆腔室中，加热原料，使原料蒸气化后扩散至整个涂覆腔室，原料蒸气接触产品后在室温下于产品表面自发聚合形成薄膜，这种覆膜方法具有不会残留催化剂、固化温度与室温一致、覆膜不会受到热胀冷缩的影响。然而，现有技术中，产品上靠近蒸气来源的一端薄膜较厚，远离蒸气来源的一端薄膜较薄，并且产品接触载物装置的一面因接触不到蒸气而无法覆膜。因此需要一种可以实现产品整体均匀覆膜的载物装置。
技术实现思路
为了解决上述技术问题，本技术中披露了一种用于多种柱体喷涂的载物装置，本技术的技术方案是这样实施的：一种用于多种柱体喷涂的载物装置，包括上板、下板、设置于所述上板和所述下板之间的侧网以及以及若干连接所述上板和所述下板的支撑柱，所述支撑柱用于支撑所述侧网；所述上板、所述下板和闭合的所述侧网形成柱形的喷涂腔室，所述侧网使原料蒸气均匀进入所述喷涂腔室；所述下板靠近所述喷涂腔室的一侧设置有用于支撑产品的底部，且具有供所述原料蒸气通过的网状结构的支撑网，所述支撑网的形状为锥形。优选地，所述支撑柱包括若干两端分别固定至所述上板和所述下板的固定柱以及若干两端分别活动连接至所述上板和所述下板的用于打开所述侧网的活动柱。优选地，所述锥形支撑网固定至所述下板和所述固定柱。优选地，所述用于多种柱体喷涂的载物装置，还包括用于将一条所述活动柱固定至一条所述固定柱的限制件；所述支撑柱的数量为n+1条，包括相邻的m条所述固定柱以及相邻的n+1-m条活动柱；当所述限制件将一条所述活动柱固定至一条所述固定柱时，所述侧网闭合，所述上板、下板和闭合的所述侧网之间形成n边形棱柱状的涂覆腔室。优选地，所述支撑柱活动连接所述上板，所述支撑网固定至所述下板和所述支撑柱。优选地，所述支撑柱活动连接所述下板，所述支撑网固定至所述下板。优选地，所述上板背离所述喷涂腔室的一侧设置有用于移动所述载物装置的第一连接件。优选地，所述下板背离所述喷涂腔室的一侧设置有用于固定所述载物装置的第二连接件。实施本技术的有益效果是：1、载物装置设置侧网，原料蒸气均匀地扩散进入喷涂腔室，便于在产品表面形成厚薄均一的沉积膜；2、支撑产品的支撑网设置为锥形，且可通过原料蒸气，产品底部可以接触原料蒸气，大大减少单次沉积过程中产品不能接触蒸气的区域面积，两次沉积后可以在产品表面形成较为均匀的沉积膜。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一种实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本技术实施例1的载物装置俯视图；图2为本技术实施例1的载物装置侧网固定的侧面示意图；图3为本技术实施例1的载物装置侧网及多条支撑柱的结构示意图；图4为本技术实施例1的支撑网安装结构示意图；图5为本技术实施例1的侧网闭合时的载物装置活动柱侧结构示意图；图6为本技术实施例1的侧网打开时的载物装置活动柱侧结构示意图；图7为本技术实施例1的下板俯视图；图8为本技术实施例2的载物装置俯视图；图9为本技术实施例2的载物装置仰视图视图；图10为本技术实施例2的载物装置主视图；图11为本技术实施例3的载物装置俯视图；图12为本技术实施例3的载物装置仰视图；图13为本技术实施例3的下板及支撑网结构示意图。在上述附图中，各图号标记分别表示：1-上板；11-第一通孔；12-第二通孔；2-下板；21-第一滑槽；22-第二滑槽；3-侧网；4-支撑网；41-加强筋；5-支撑柱；51-固定柱；521-第一活动柱；522-第二活动柱；6-喷涂腔室；7-第一连接件；8-第二连接件；91-第一螺栓；92-第二螺栓。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。其中相同的零部件用相同的附图标记表示。需要说明的是，下面描述中使用的词语“前”、“后”、“左”、“右”、“上”和“下”指的是附图中的方向，词语“底面”和“顶面”、“内”和“外”分别指的是朝向或远离特定部件几何中心的方向。一种用于多种柱体喷涂的载物装置，本技术提供三种实施例。实施例1：如图1、图3、图5、图6和图7所示，上板1和下板2为规格相同的圆板，n＝6，m＝2，装置共有七条平行于上板1轴向的支撑柱5，其中包括五条相邻的固定柱和两条相邻的活动柱，活动柱包括第二活动柱522和可被限制件固定至一条固定柱的第一活动柱521，限制件为固定至第一活动柱521的磁铁。当限制件将第一活动柱521固定至与第一活动柱521相邻的固定柱后，五条固定柱与第二活动柱522在装置周向向均匀分布，形成六棱柱状的涂覆腔室6。侧网3摊平后为高度等于上板1下板2的间距、长度等于六棱柱六条棱总和的长方形，侧网3的面积等于六棱柱的侧面积，侧网3焊接连接固定柱和活动柱。固定柱焊接至上板1和下板2，上板1设置分别供第一活动柱521和第二活动柱522滑动的第一通孔11和第二通孔12，下板2设置分别供第一活动柱521和第二活动柱522滑动的第一滑槽21和第二滑槽22。首先将第一活动柱521滑出第一通孔11和第一滑槽21，使其脱离上板1和下板2，其后将第二活动柱522滑出第二通孔12和第二滑槽22，使其脱离上板1和下板2，即可将侧网3打开，用户可以从侧网3打开的缺口处放入或取出产品。载物装置在原料真空气化室中工作时，原料蒸气经过侧网3向喷涂腔室6内扩散。具有网格结构的侧网3供蒸气通过的同时，也对蒸气有一定的阻挡作用，3使一部分蒸气沿着侧网3在竖直方向上扩散，便于蒸气从侧网3的不同位置相对均匀地扩散进入喷涂腔室6，在产品表面形成厚度均匀的涂层。如图4所示，锥形的支撑网4倒置在喷涂腔室6的底部。支撑网4用以支撑产品时，柱状产品的底部边缘接触支撑网4，原料蒸气可以在先后经过侧网3和支撑网4后扩散至柱状产品的底部，因此产品底部接触支撑网4以外的部分均可接触原料蒸气。支撑网4通过加强筋41焊接固定至下板2和每条固定柱51。载料装置各部件均使用不锈钢材料。如图1、图2、图4、图5和图6所示，上板1通过螺栓固定有圆柱状的第一连接件7，下板2通过螺栓固定有圆柱状的第二连接件本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种用于多种柱体喷涂的载物装置，其特征在于：包括上板(1)、下板(2)、设置于所述上板(1)和所述下板(2)之间的侧网(3)以及若干连接所述上板(1)和所述下板(2)的支撑柱(5)，所述支撑柱(5)用于支撑所述侧网(3)；/n所述上板(1)、所述下板(2)和闭合的所述侧网(3)形成柱形的喷涂腔室(6)，所述侧网(3)使原料蒸气均匀进入所述喷涂腔室(6)；/n所述下板(2)靠近所述喷涂腔室(6)的一侧设置有用于支撑产品的底部，且具有供所述原料蒸气通过的网状结构的支撑网(4)，所述支撑网(4)的形状为锥形。/n
【技术特征摘要】
1.一种用于多种柱体喷涂的载物装置，其特征在于：包括上板(1)、下板(2)、设置于所述上板(1)和所述下板(2)之间的侧网(3)以及若干连接所述上板(1)和所述下板(2)的支撑柱(5)，所述支撑柱(5)用于支撑所述侧网(3)；
所述上板(1)、所述下板(2)和闭合的所述侧网(3)形成柱形的喷涂腔室(6)，所述侧网(3)使原料蒸气均匀进入所述喷涂腔室(6)；
所述下板(2)靠近所述喷涂腔室(6)的一侧设置有用于支撑产品的底部，且具有供所述原料蒸气通过的网状结构的支撑网(4)，所述支撑网(4)的形状为锥形。
2.根据权利要求1所述的一种用于多种柱体喷涂的载物装置，其特征在于：所述支撑柱(5)包括若干两端分别固定至所述上板(1)和所述下板(2)的固定柱(51)以及若干两端分别活动连接至所述上板(1)和所述下板(2)的用于打开所述侧网(3)的活动柱。
3.根据权利要求2所述的一种用于多种柱体喷涂的载物装置，其特征在于：所述锥形支撑网(4)固定至所述下板(2)和所述固定柱(51)。
4.根据权利要求2所述的一种用于多种柱体喷涂的载物装置，其特征在于：还包括用于...
【专利技术属性】
技术研发人员：袁全超，
申请(专利权)人：上海派正纳米科技有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。