可调节的冷阴极X射线管制造技术

本实用新型专利技术公开了一种可调节的冷阴极X射线管，包括上瓷管和下瓷管，下瓷管下端设有阳极部件，上瓷管和下瓷管之间设有栅极，上瓷管内设有冷阴极和聚焦极，冷阴极和聚焦极相对栅极之间的距离均可单独调节。本实用新型专利技术可通过调节聚焦极和阴极在轴向的位置，即可实现多种电压条件下工作，从而得到不同短波限的X射线；同样，通过调节聚焦极和阴极在轴向的位置，可在相同或不同工作电压下得到不同大小的阳极电流，从而得到不同的短波限和不同强度的X射线，不仅操作简单，具有更方便调整电子束流汇聚作用，而且调整范围更大，有利于形成更小焦点，同时该冷阴极X射线管的结构能够优化老炼过程，提升产品的良率。

【技术实现步骤摘要】
可调节的冷阴极X射线管
本技术涉及场致发射
和电真空器件领域，具体的说是涉及一种可调节的冷阴极X射线管。
技术介绍
场致发射技术：当对场致发射的阴极衬底涂覆层施加一定电场时，因为隧穿效应，一部分费米能级附近的高能电子会穿越阴极表面势垒，溢出表面而飞向阳极，形成电流。此过程不需要额外的能量来激发电子，具有响应快、能量损耗小，发射效率高等特点，并且因为使用纳米材料作为电子源，体积小巧，所造出的X射线管结构紧凑，降低了X射线管焦点的尺寸，使其能够满足当前市场对X射线管的诸多要求。尽管场致发射阴极作为X射线管电子源表现出了优异的性能和极大的发展潜力，但其中也存在许多亟待解决的问题。比如：①阴极表面涂覆层材料不论是石墨烯还是碳纳米管，生长过程中易受外界因素的影响，生长均一性难以保证，造成每个冷阴极的电流发射密度不一致；②冷阴极射线管长时间工作稳定性有待提高。一方面，由于冷阴极自身直径小，涂覆层与衬底接触面积小，导致连接处接触不良，增大了连接处的电阻，连续工作时产生的热量可能导致部分涂覆层的损毁。另一方面，在长时间工作过程中可能产生二次电子回本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种可调节的冷阴极X射线管，包括上瓷管(1a)和下瓷管(1b)，所述下瓷管(1b)下端设有阳极部件(2)，所述上瓷管(1a)和下瓷管(1b)之间设有栅极(3)，所述上瓷管(1a)内设有冷阴极(4)和聚焦极(5)，其特征在于：所述冷阴极(4)和聚焦极(5)相对所述栅极(3)之间的距离均可单独调节。/n

【技术特征摘要】
1.一种可调节的冷阴极X射线管，包括上瓷管(1a)和下瓷管(1b)，所述下瓷管(1b)下端设有阳极部件(2)，所述上瓷管(1a)和下瓷管(1b)之间设有栅极(3)，所述上瓷管(1a)内设有冷阴极(4)和聚焦极(5)，其特征在于：所述冷阴极(4)和聚焦极(5)相对所述栅极(3)之间的距离均可单独调节。


2.根据权利要求1所述的可调节的冷阴极X射线管，其特征在于：所述上瓷管(1a)的顶部开口设有阴极法兰(6)，另设有聚焦极底板(8)，所述聚焦极(5)为筒状并置于所述上瓷管(1a)内，所述聚焦极(5)的顶部活动穿过所述阴极法兰(6)并与所述聚焦极底板(8)固定连接；所述聚焦极底板(8)上设有若干向外延伸的调节凸耳(9)，每一调节凸耳(9)上设有第一通孔(91)及在该第一通孔(91)内设有一聚焦极调节螺钉(10)，所述阴极法兰(6)上对应设有第一调节螺纹孔(61)，所述聚焦极调节螺钉(10)的螺纹端套设一锁定螺母(7)后旋进所述第一调节螺纹孔(61)内；所述聚焦极(5)位于所述阴极法兰(6)与所述聚焦极底板(8)之间的部分外分别设有外侧波纹管(11)和内侧波纹管(12)，该外侧波纹管(11)和内侧波纹管(12)的上下两端分别固定在所述阴极法兰(6)和所述聚焦极底板(8)上。


3.根据权利要求2所述的可调节的冷阴极X射线管，其特征在于：所述聚焦极底板(8)中心设有调节孔(81)。


4.根据权利要求3所述的可调节的冷阴极X射线管，其特征在于：所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘宇荣，李永明，王少哲，葛锐，李晨辉，黄浩，
申请(专利权)人：昆山国力大功率器件工业技术研究院有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32