【技术实现步骤摘要】
本技术涉及传感器
的一种静电超声传感器。静电超声传感器也常称为电容超声传感器。它可以是常规精密机械加工的，也可以是微加工的。
技术介绍
静电超声传感器对于超声检测技术具有重要意义。静电超声传感器是由各子传感器以一定规律排列而形成的子传感器阵列，每个子传感器是由振动膜片和它下面的气隙形成的腔体构成。已有技术中，每一子传感器的腔体不是独立密闭空间，如常规机械加工制作的传感器，其相邻子传感器在侧壁的顶部互相连通。微加工传感器的相邻腔体虽已分隔开，不相连通，但是它的膜片上有开孔，或者将气隙抽成真空。所有这些结构形式的超声传感器都只有一个可以利用的共振频率，即基频，传感器就工作在这个共振频率范围，因而仅有一个工作模式。近十多年来发展的微加工的线阵和面阵硅超声成像传感器仍然是如此，工作在基频，可称为“单模工作模式”。近年来，又先后发展了在基频发射声波，二次谐波的能量成像的“谐波成像模式”，和在基频的2/3处发射、4/3处接收的“准优化模式”，但由于仅有一个有效的基频，因而对于超声成像来说，仍然受到带宽和谐波能量不足的限制。
技术实现思路
本技术是为避免上述现有技术所存在的...
【技术保护点】
一种双模静电超声传感器，它是由各子传感器在同一平面上排列成的子传感器阵列，各子传感器相互并联，而每个子传感器由作为活动电极板的振动膜片和固定电极板构成一个电容器，其特征是：子传感器的振动模片、侧壁和背板围成一个密闭腔体，密闭腔体内填充有气体。
【技术特征摘要】
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