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一种双模静电超声传感器，也称为双模电容超声传感器。它是由许多子传感器在同一平面上排列构成的阵列。子传感器具有典型的膜片－气隙结构，其振动膜片作为活动电极板，背板作为固定电极板，构成电容器。其特征是子传感器的振动模片、侧壁和背板围成一个密闭腔...
该专利属于葛立峰所有，仅供学习研究参考，未经过葛立峰授权不得商用。

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