高效石墨烯卷对卷连续生长设备制造技术

本申请公开了一种高效石墨烯卷对卷连续生长设备。石墨烯卷对卷连续生长设备包括进料舱(3)、生长舱和收料舱(4)，所述进料舱(3)设置两个以上从动辊(8)，所述收料舱(4)设置两个以上主动辊(9)，所述生长舱内设置隔离支撑板(11)，所述隔离支撑板(11)将生长舱分为两个以上生长室，所述生长舱包括石墨烯生长区，所述石墨烯生长区设有加热装置。本申请的设备除了兼有现有设备制备石墨烯的优点，如石墨烯质量高、一致性好、不受尺寸限制等优点，还进一步提高了石墨烯的生产效率，并降低了制备单位面积石墨烯的能耗。

【技术实现步骤摘要】
高效石墨烯卷对卷连续生长设备
本公开涉及石墨烯生长设备及工艺，尤其是一种高效石墨烯卷对卷连续生长设备及制备方法。
技术介绍
化学气相沉积(CVD)法是指化学气体或蒸汽在基质表面反应合成涂层或纳米材料的方法。CVD法制备石墨烯是使用含碳有机气体，在高温CVD炉内的过渡金属表面气相沉积制得石墨烯薄膜。可以采用非连续CVD管式炉生长石墨烯。非连续CVD管式炉结构相对简单，操作较为容易。但是单炉次石墨烯生长时间长，耗电量大，受石英管的直径和生长温区长度的限制，无法制备大尺寸石墨烯；此外，片式金属衬底在石墨烯生长前后进料、取料过程，因人为或装置因素，会在引入大量褶皱，生长在金属衬底表面的石墨烯也因此会产生褶皱或破损。由于非连续CVD管式炉制备石墨烯薄膜存在缺陷多，品质难以控制、生产效率较低、能耗高等问题，采用石墨烯卷对卷连续生长CVD设备是一种趋势。石墨烯卷对卷连续生长CVD设备一般配有一个放料辊(从动辊)和一个收料辊(主动辊)，分别在进料舱和收料舱内，电机连接收料辊(主动辊)转动，传动至金属衬底，带动放料辊(从动辊)转动，金属衬底从进料本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种石墨烯卷对卷连续生长设备，其特征在于，所述设备包括进料舱(3)、生长舱和收料舱(4)，所述进料舱(3)设置两个以上从动辊(8)，所述收料舱(4)设置两个以上主动辊(9)，所述生长舱内设置隔离支撑板(11)，所述隔离支撑板(11)将生长舱分为两个以上生长室，所述生长舱包括石墨烯生长区，所述石墨烯生长区设有加热装置。/n

【技术特征摘要】
1.一种石墨烯卷对卷连续生长设备，其特征在于，所述设备包括进料舱(3)、生长舱和收料舱(4)，所述进料舱(3)设置两个以上从动辊(8)，所述收料舱(4)设置两个以上主动辊(9)，所述生长舱内设置隔离支撑板(11)，所述隔离支撑板(11)将生长舱分为两个以上生长室，所述生长舱包括石墨烯生长区，所述石墨烯生长区设有加热装置。


2.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，每个所述主动辊(9)独立地连接电机。


3.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，所述加热装置的上游设有等离子体发生器(13)，所述加热装置的下游设有冷却装置。


4.根据权利要求3所述的设备，其特征在于，所述加热装置为加热炉(12)，所述冷却装置为风机。


5.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，所述生长舱为石英管(10)，所述隔离支撑板(11...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴海林，张谦，袁凯杰，沈刘帮，
申请(专利权)人：烯旺新材料科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44