一种生长石墨烯悬挂与插片式石英舟制造技术

本实用新型专利技术公开了一种生长石墨烯悬挂与插片式石英舟，包括舟座和舟架，舟架包括上横架和/或下横架；上横架包括至少一根平行于舟座长度方向的第一横杆，和/或只是一根垂直于舟座长度方向的第二横杆；下横架包括至少两根平行于舟座长度方向的第三横杆，和/或至少两根垂直于舟座长度方向的第四横杆；成对的第三横杆中的两根第三横杆至少开设有一个插槽；成对的第四横杆中的两根第四横杆至少开设有一个插槽；本实用新型专利技术的有益效果为石英舟与生长石墨烯的石英管恰好吻合，从而保证样品位置不会变化；该石英舟可以同时垂直气流悬挂式，顺气流悬挂式，垂直气流插片式，顺气流插片式生长单层石墨烯，也可以单独对四种不同方式进行石墨烯的生长。

【技术实现步骤摘要】
一种生长石墨烯悬挂与插片式石英舟
本技术涉及一种石墨烯生长装置领域，特别是一种生长石墨烯的悬挂与插片式石英舟。
技术介绍
石墨烯是一种由碳原子以SP2杂化轨道组成的二维碳纳米材料，独特的二维晶体结构赋予石墨烯良好的物理，化学，电学，力学性能，石墨烯制作的透明电极较一般的普通电极，具有更强的透光率，光电转化率更高，导热性更好，因此石墨烯在新能源，新材料和新型器件等诸多领域有着广泛的应用前景。化学气相沉积法制备石墨烯需要用金属箔作为生长衬底，在石墨烯制备用石英舟的技术中，其缺点是较薄的铜箔衬底(如常规25微米厚)在高温生长石墨烯过程中容易粘贴到石英载物台上，在生长完成后取样时会发生石墨烯撕裂或褶皱现象。
技术实现思路
本技术的专利技术目的在于：针对上述存在的问题，提供一种一种生长石墨烯的悬挂与插片式石英舟，用于放置在CVD系统石英管中使用，包括舟座和舟架，所述舟架设置于所述舟座上方，所述舟架包括上横架和/或下横架；所述上横架包括：至少一根平行于舟座长度方向的第一横杆，和/或只是一根垂直于舟座长度方向的第二横杆，以及用本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种生长石墨烯悬挂与插片式石英舟，用于放置在CVD系统石英管中使用，包括舟座和舟架，所述舟架设置于所述舟座上方，所述舟架包括上横架和/或下横架；其特征在于：所述上横架包括：至少一根平行于舟座长度方向的第一横杆，和/或一根垂直于舟座长度方向的第二横杆，以及用于支撑所述第一横杆和/或第二横杆的支撑杆；所述下横架包括：至少两根平行于舟座长度方向的第三横杆，和/或至少两根垂直于舟座长度方向的第四横杆；成对的所述第三横杆中的两根第三横杆均至少开设有一个插槽，两根第三横杆上的插槽相互对应；成对的所述第四横杆中的两根第四横杆均至少开设有一个插槽，两根第四横杆上的插槽相互对应；所述舟座为圆弧形舟座，且舟座...

【技术特征摘要】
1.一种生长石墨烯悬挂与插片式石英舟，用于放置在CVD系统石英管中使用，包括舟座和舟架，所述舟架设置于所述舟座上方，所述舟架包括上横架和/或下横架；其特征在于：所述上横架包括：至少一根平行于舟座长度方向的第一横杆，和/或一根垂直于舟座长度方向的第二横杆，以及用于支撑所述第一横杆和/或第二横杆的支撑杆；所述下横架包括：至少两根平行于舟座长度方向的第三横杆，和/或至少两根垂直于舟座长度方向的第四横杆；成对的所述第三横杆中的两根第三横杆均至少开设有一个插槽，两根第三横杆上的插槽相互对应；成对的所述第四横杆中的两根第四横杆均至少开设有一个插槽，两根第四横杆上的插槽相互对应；所述舟座为圆弧形舟座，且舟座下方设有第一石英棒、第二石英棒以及第三石英棒；所述第一石英棒设置在所述舟座截面底部；所述第二石英棒与第三石英棒分别设置...

【专利技术属性】
技术研发人员：邱锋，项金钟，吕文霞，申时立，黄涛，褚景豫，张婉，刘子睿，吕凤祺，
申请(专利权)人：云南大学，
类型：新型
国别省市：云南;53