表面波传感器制造技术

本发明专利技术涉及一种表面波传感器（１），包括天线（３）、换能器（４）和反射器（５ａ和５ｂ），其中在所述表面波传感器（１）上的一个稳定的边缘区域（８）内设置附加的反射器（６ａ，６ｂ），以反射用于分析当前温度的信号。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种可无线应答的表面波传感器。
技术介绍
可无线应答的表面波传感器(OFW传感器)目前在许多领域中得到了应用，因为这种传感器无需自身供给能量就能实现无线的测量数据获取。因此长久以来这种传感器就被应用在压力测量、加速度测量、表面电压测量以及对于化学特性的测量中。由于这种表面波传感器的测量结果与温度有关，在获取测量结果时必须进行温度补偿，以能够得到实际的测量值。在EP-0619906B1中描述了一种这样的表面波传感器。同时该文献提供了一种方法，可以由发送回的无线信号获得传感器的当前温度。借助于该温度信息可以对测量结果中的温度影响进行校正。该文献的问题在于，在所述的方法中需要多个OFW传感器。专利技术目的本专利技术的目的在于提供一种表面波传感器，利用该传感器可以通过最简单的方法来获取温度或实现温度补偿。
技术实现思路
上述任务通过权利要求1的特征部分所述技术特征来解决。本专利技术的核心在于，利用了芯片表面的边缘区域来产生温度差信号，所述边缘区域在机械负荷下既不会受到挤压也不会被拉长。为此目的，在OFW传感器的这种稳定的边缘区域中以很短的间隔设置了两个反射器。由于这两个反射器与本文档来自技高网...

【技术保护点】
表面波传感器（１），包括天线（３）、换能器（４）和反射器（５ａ和５ｂ），其特征在于，在所述表面波传感器（１）上的稳定的边缘区域（８）内设置附加的反射器（６ａ，６ｂ），以反射用于分析当前温度的信号。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：亨利范德诺科，
申请(专利权)人：法格库格尔菲舍尔无限责任公司，
类型：发明
国别省市：DE[德国]