具有超精细导电图案的石墨烯透明导电薄膜的制备方法技术

本发明专利技术提供一种具有超精细导电图案的石墨烯透明导电薄膜的制备方法，包括：S1、准备一片平面玻璃基板；S2、在平面玻璃基板表面制备聚对二甲苯(派瑞林)薄膜，以此作为导电薄膜的离型层；S3、在聚对二甲苯薄膜表面，制备一层聚酰亚胺(PI)薄膜；S4、采用短波长激光光源的激光诱导石墨烯(LIG)技术，在透明绝缘膜表面制备石墨烯并形成石墨烯精细图案；S5、从平面玻璃表面剥离出聚酰亚胺透明绝缘膜，即可获得超薄柔性石墨烯透明导电薄膜。

【技术实现步骤摘要】
具有超精细导电图案的石墨烯透明导电薄膜的制备方法
本专利技术涉及一种石墨烯透明导电薄膜的制备方法。
技术介绍
透明导电薄膜，从技术角度来分析，已经研发了近百年。而从产业化情况来看，伴随发光及显示技术发展，也有近60年的发展历程，是20世纪及21世纪名副其实的具有战略作用的功能材料，在多个领域具有举足轻重的作用。石墨烯是二十一世纪发展起来的新兴战略性材料，在石墨烯产业发展过程中，石墨烯透明导电薄膜是具有重要应用价值的一个产业分支。当前石墨烯透明导电薄膜，从技术上来说，具有两大技术路径：其一是采用化学气相沉积(CVD)法制备的石墨烯透明导电薄膜；其二是采用石墨烯油墨制备的石墨烯透明导电薄膜。这两者目前主要问题如下：1、CVD法制备的透明导电薄膜，制造成本高，掺杂稳定性存在诸多问题，导致无法大规模应用；2、采用石墨烯油墨制备的石墨烯透明导电薄膜，透过率低、方阻偏高，也阻碍了相应的规模化生产和应用。随着有机发光二极管(OLED)显示器及终端应用的发展，为满足显示触控集成系统的技术要求，对于以超薄聚合物为基材的导电膜有极大本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种具有超精细导电图案的石墨烯透明导电薄膜的制备方法，其特征在于，包括：/nS1、准备一片平面玻璃基板；/nS2、在平面玻璃基板表面制备聚对二甲苯薄膜，以此作为导电薄膜的离型层；/nS3、在聚对二甲苯薄膜表面，制备一层聚酰亚胺薄膜；/nS4、采用短波长激光光源的激光诱导石墨烯技术，在透明绝缘膜表面制备石墨烯并形成石墨烯精细图案；/nS5、从平面玻璃表面剥离出聚酰亚胺透明绝缘膜，即可获得超薄柔性石墨烯透明导电薄膜。/n

【技术特征摘要】
1.一种具有超精细导电图案的石墨烯透明导电薄膜的制备方法，其特征在于，包括：
S1、准备一片平面玻璃基板；
S2、在平面玻璃基板表面制备聚对二甲苯薄膜，以此作为导电薄膜的离型层；
S3、在聚对二甲苯薄膜表面，制备一层聚酰亚胺薄膜；
S4、采用短波长激光光源的激光诱导石墨烯技术，在透明绝缘膜表面制备石墨烯并形成石墨烯精细图案；
S5、从平面玻璃表面剥离出聚酰亚胺透明绝缘膜，即可获得超薄柔性石墨烯透明导电薄膜。


2.根据权利要求1所述的具有超精细导电图案的石墨烯透明导电薄膜的制备方法，其特征在于，所述平面玻璃基板的厚度为0.1-10mm，优选2mm；
优选地，所述石墨烯精细图案的厚度为1-5μm，进一步优选2μm。


3.根据权利要求1所述的具有超精细导电图案的石墨烯透明导电薄膜的制备方法，其特征在于，所述S2中，所述聚对二甲苯薄膜的厚度为0.2-15微米，优选5微米。


4.根据权利要求1所述的具有超精细导电图案的石墨烯透明导电薄膜的制备方法，其特征在于，所述S2中，所述在玻璃表面采用化学气相沉积法制备聚对二甲苯薄膜；
优选地，具体工艺如下：
1)将平面玻璃基板放置在真空腔体沉积区，真空腔沉积区背景真空度达15Pa；
2)控制材料升华及裂解区真空度，使其背景真空度达100-150Pa，在150-170℃下，将对二甲苯二聚体粉末加热升华，形成气态环状二聚体；
3)继续升高材料升华及裂解区温度以及提升背景真空度，在650-700℃，气压为50-70Pa条件下，对二甲苯二聚体裂解...

【专利技术属性】
技术研发人员：谭化兵，潘智军，
申请(专利权)人：安徽宇航派蒙健康科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：安徽;34