一种碳纳米管导电薄膜的制作方法、显示面板和显示装置制造方法及图纸

本申请公开了一种碳纳米管导电薄膜的制作方法、显示面板和显示装置。碳纳米管导电薄膜的制作方法中，包括步骤：形成介孔二氧化硅；通过原子层沉积技术在介孔二氧化硅孔道内沉积催化层；将孔道内沉积有催化层的介孔二氧化硅制作成介孔二氧化硅薄膜；通过化学气相沉积技术在介孔二氧化硅薄膜的孔道内通入碳源前驱体，在催化层的催化下发生反应形成碳纳米管薄膜；去除碳纳米管薄膜中的介孔二氧化硅和催化层，形成透明的碳纳米管导电薄膜。本申请通过结合原子层沉积技术和化学气相沉积技术得到致密性和柔韧性优良的碳纳米管导电薄膜。

【技术实现步骤摘要】
一种碳纳米管导电薄膜的制作方法、显示面板和显示装置
本申请涉及显示
，尤其涉及一种碳纳米管导电薄膜的制作方法、显示面板和显示装置。
技术介绍
随着电子工业的飞速发展，各种科技产品层出不穷，其中显示面板、触板、太阳能电池等领域必须的一种材料是透明导电薄膜。目前，主流的透明导电薄膜材料是氧化铟锡(IndiumTinOxides，ITO)薄膜，ITO具有导电性和透明性，使得它在各种相关领域得到了广泛应用。但是，随着人们对于柔性电子器件的追求逐渐成为潮流，ITO的柔韧性难以满足柔性电子器件的需求，故而，如何生产得到柔韧性良好的透明导电薄膜成为亟待解决的技术问题。
技术实现思路
本申请的目的是提供一种碳纳米管导电薄膜的制作方法、显示面板和显示装置，以获得柔韧性良好的透明导电薄膜。本申请公开了一种碳纳米管导电薄膜的制作方法，包括步骤：形成介孔二氧化硅；通过原子层沉积技术在介孔二氧化硅孔道内沉积催化层；将孔道内沉积有催化层的介孔二氧化硅制作成介孔二氧化硅薄膜；通过化学气相沉积技术在介孔二氧化硅薄膜的孔道内通入碳源前驱体，在催化层的催化下发生反应形成碳纳米管薄膜；以及去除碳纳米管薄膜中的介孔二氧化硅和催化层，形成透明的碳纳米管导电薄膜。可选的，所述形成介孔二氧化硅的步骤包括子步骤：将三嵌段共聚物溶于去离子水中，形成第一混合溶液；在第一混合溶液中加入盐酸或硫酸溶液，形成第二混合溶液，所述第二混合溶液的PH值在3到6范围内；在第二混合溶液中加入正硅酸已酯，反应后形成第三混合溶液；将第三混合溶液置于反应容器中充分反应形成第四混合溶液；以及将第四混合溶液干燥后煅烧形成固态的介孔二氧化硅。可选的，所述将第四混合溶液干燥后煅烧形成固态的介孔二氧化硅的步骤中，包括子步骤：将第四混合溶液干燥后煅烧形成固态且孔径在2到10纳米之间的介孔二氧化硅。可选的，所述通过原子层沉积技术在介孔二氧化硅孔道内沉积催化层的步骤包括子步骤：将介孔二氧化硅置于原子层沉积反应室中，然后通入催化层气相前驱体；用惰性气体进行吹扫；通入还原气体；用惰性气体进行吹扫；以及重复上述的步骤在所述介孔二氧化硅的孔道内沉积催化层。可选的，所述催化层气相前驱体为气相的二茂镍，所述催化层为金属镍催化层。可选的，所述将孔道内沉积有催化层的介孔二氧化硅制作成介孔二氧化硅薄膜的步骤包括子步骤：将孔道内沉积有催化层的介孔二氧化硅加入到有机醇溶液中，得到第五混合溶液；在第五混合溶液中加入粘接剂，使第五混合溶液变成粘稠状；以及将变成粘稠状的第五混合溶液分散均匀，然后在压片机上压制成介孔二氧化硅薄膜。可选的，通过化学气相沉积技术在介孔二氧化硅薄膜的孔道内通入碳源前驱体，在催化层的催化下发生反应形成碳纳米管薄膜的步骤包括子步骤：将介孔二氧化硅薄膜放入化学气相沉积腔室中，然后通入氩气和氢气的混合气体，并加热处理；以及向化学气相沉积腔室中通入碳源前驱体，冷却后得到包含单壁碳纳米管的碳纳米管薄膜。可选的，所述去除碳纳米管薄膜中的介孔二氧化硅和催化层，形成透明的碳纳米管导电薄膜的步骤包括子步骤：将碳纳米管薄膜进行加热退火处理；将经过加热退火处理后的碳纳米管薄膜置于氢氟酸或氢氧化钠溶液中，得到去除介孔二氧化硅的碳纳米管薄膜；以及将去除介孔二氧化硅的碳纳米管薄膜置于氯化铝溶液或氯化铁溶液中，得到去除催化层且透明的碳纳米管导电薄膜。本申请还公开了一种显示面板，所述显示面板包括上述碳纳米管导电薄膜的制作方法所制作出的碳纳米管导电薄膜。本申请还公开了一种显示装置，包括上述的显示面板，以及驱动所述显示面板的驱动电路。相对于透明导电薄膜采用ITO制程的方案来说，本申请采用原子层沉积技术在介孔二氧化硅的孔道内沉积催化层，得到具有催化层，且孔隙率和比表面积高的介孔二氧化硅薄膜，如此使得在后续通入碳源前驱体时，孔道内具有足够的孔道空间进行充分反应，得到致密性和柔韧性优良的碳纳米管导电薄膜，提高导电效果，另外，本申请还结合化学气相沉积技术将碳源前驱体通入到介孔二氧化硅薄膜的孔道内，在催化层的催化下形成碳纳米管，得到稳定性良好的碳纳米管薄膜，而去掉碳纳米管薄膜中的介孔二氧化硅和催化层，则使得形成的碳纳米管导电薄膜变为透明，增加开口率和光透过率。附图说明所包括的附图用来提供对本申请实施例的进一步的理解，其构成了说明书的一部分，用于例示本申请的实施方式，并与文字描述一起来阐释本申请的原理。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。在附图中：图1是本申请的一实施例的一种碳纳米管导电薄膜制作方法的流程图；图2是本申请的一实施例的一种介孔二氧化硅制作方法的流程图；图3是本申请的一实施例的一种在介孔二氧化硅中沉积催化层的流程图；图4是本申请的一实施例的一种制作介孔二氧化硅薄膜的流程图；图5是本申请的一实施例的一种制作碳纳米管薄膜的流程图；图6是本申请的一实施例的一种制作透明碳纳米管导电薄膜的流程图；图7是本申请的另一实施例的一种显示面板的示意图；图8是本申请的另一实施例的一种主动开关的示意图；图9是本申请的另一实施例的一种主动开关以及碳纳米管导电薄膜制作流程的示意图；图10是本申请的另一实施例的一种显示装置的示意图。其中，100、主动开关；110、衬底；120、栅极金属层；130、栅极绝缘层；140、有源层；150、欧姆接触层；160、源漏金属层；170、钝化层；180、碳纳米管导电薄膜；200、显示面板；300、显示装置；400、驱动电路。具体实施方式需要理解的是，这里所使用的术语、公开的具体结构和功能细节，仅仅是为了描述具体实施例，是代表性的，但是本申请可以通过许多替换形式来具体实现，不应被解释成仅受限于这里所阐述的实施例。在本申请的描述中，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示相对重要性，或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，除非另有说明，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征；“多个”的含义是两个或两个以上。术语“包括”及其任何变形，意为不排他的包含，可能存在或添加一个或更多其他特征、整数、步骤、操作、单元、组件和/或其组合。另外，“中心”、“横向”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系的术语，是基于附图所示的方位或相对位置关系描述的，仅是为了便于描述本申请的简化描述，而不是指示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。此外，除非另有明确的规定和限本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种碳纳米管导电薄膜的制作方法，其特征在于，包括步骤：/n形成介孔二氧化硅；/n通过原子层沉积技术在介孔二氧化硅孔道内沉积催化层；/n将孔道内沉积有催化层的介孔二氧化硅制作成介孔二氧化硅薄膜；/n通过化学气相沉积技术在介孔二氧化硅薄膜的孔道内通入碳源前驱体，在催化层的催化下发生反应形成碳纳米管薄膜；以及/n去除碳纳米管薄膜中的介孔二氧化硅和催化层，形成透明的碳纳米管导电薄膜。/n

【技术特征摘要】
1.一种碳纳米管导电薄膜的制作方法，其特征在于，包括步骤：
形成介孔二氧化硅；
通过原子层沉积技术在介孔二氧化硅孔道内沉积催化层；
将孔道内沉积有催化层的介孔二氧化硅制作成介孔二氧化硅薄膜；
通过化学气相沉积技术在介孔二氧化硅薄膜的孔道内通入碳源前驱体，在催化层的催化下发生反应形成碳纳米管薄膜；以及
去除碳纳米管薄膜中的介孔二氧化硅和催化层，形成透明的碳纳米管导电薄膜。


2.如权利要求1所述的一种碳纳米管导电薄膜的制作方法，其特征在于，所述形成介孔二氧化硅的步骤包括子步骤：
将三嵌段共聚物溶于去离子水中，形成第一混合溶液；
在第一混合溶液中加入盐酸或硫酸溶液，形成第二混合溶液，所述第二混合溶液的PH值在3到6范围内；
在第二混合溶液中加入正硅酸已酯，反应后形成第三混合溶液；
将第三混合溶液置于反应容器中充分反应形成第四混合溶液；以及
将第四混合溶液干燥后煅烧形成固态的介孔二氧化硅。


3.如权利要求2所述的一种碳纳米管导电薄膜的制作方法，其特征在于，所述将第四混合溶液干燥后煅烧形成固态的介孔二氧化硅的步骤中，包括子步骤：
将第四混合溶液干燥后煅烧形成固态且孔径在2到10纳米之间的介孔二氧化硅。


4.如权利要求1所述的一种碳纳米管导电薄膜的制作方法，其特征在于，所述通过原子层沉积技术在介孔二氧化硅孔道内沉积催化层的步骤包括子步骤：
将介孔二氧化硅置于原子层沉积反应室中，然后通入催化层气相前驱体；
用惰性气体进行吹扫；
通入还原气体；
用惰性气体进行吹扫；以及
重复上述的步骤在介孔二氧化硅的孔道内沉积催化层。


5.如权利要求4所述的一种碳纳米管导电薄膜的制作方法，...

【专利技术属性】
技术研发人员：夏玉明，卓恩宗，袁海江，
申请(专利权)人：北海惠科光电技术有限公司，惠科股份有限公司，
类型：发明
国别省市：广西;45