一种悬臂式探针卡固化装置、防尘调节机构和固定机构制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种悬臂式探针卡固化装置，包括放置板、放置壳、支撑腿、底座、支撑柱、顶盖、探针套；防尘调节机构和固定机构；防尘调节机构包括连接柱、防尘壳、磁铁板、第一铁板以及第二铁板；固定机构包括方针架、调节螺栓、探针套、树脂薄膜贴以及探针。该种悬臂式探针卡固化装置结构简单、设计新颖，便于对放针架进行防尘放置，降低放针架受到的灰尘影响，同时方便工作者进行操作使用方针架，不受防尘调节机构影响，满足使用者需求，在使用时，通过设置的固定机构的作用下，便于工作者将探针一端进行固定，便于探针表面环氧树脂的涂抹，提高涂抹的方便性，具有良好的市场价值，适合推广使用。

【技术实现步骤摘要】
一种悬臂式探针卡固化装置、防尘调节机构和固定机构
本技术一种悬臂式探针卡固化装置、防尘调节机构和固定机构属于探针卡固化应用

技术介绍
探针卡是一种测试接口，主要对裸芯进行测试，通过连接测试机和芯片，通过传输信号对芯片参数进行测试；2019年曝光的WiFi探针技术,甚至无需用户主动连接WiFi即可捕获个人信息；近年来半导体制程技术突飞猛进，超前摩尔定律预估法则好几年，现阶段已向7奈米以下挺进。经检索公开号CN201120131627.2公开的悬臂式探针卡固化装置，其方案中存在一些技术缺陷：第一、放针架不使用放置过程中容易造成灰尘积累，增加工作者的操作难度，同时一些放针架放置后不便于再次使用，降低效率。第二、探针在表面涂上环氧树脂中，探针在固化过程中一端放置不稳，不便于涂抹环氧树脂，影响操作。因此，针对上述问题提出一种悬臂式探针卡固化装置、防尘调节机构和固定机构。
技术实现思路
本技术的目的就在于为了解决上述问题而提供一种悬臂式探针卡固化装置、防尘调节机构和固定机构。r>本技术通过以下技本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种悬臂式探针卡固化装置，其特征在于，包括：放置板（1）、放置壳（2）、支撑腿（3）、底座（4）、防尘调节机构以及固定机构；其中所述放置板（1）底侧固定连接有支撑腿（3），且支撑腿（3）底端固定连接有底座（4）；所述放置板（1）顶侧固定连接支撑柱（6），且支撑柱（6）外侧设有固定连接在放置板（1）表面的放置壳（2）；/n所述防尘调节机构包括：连接柱（7）、防尘壳（10）、磁铁板（9）、第一铁板（5）以及第二铁板（8），所述连接柱（7）滑动连接在放置板（1）上；所述连接柱（7）顶端固定连接有防尘壳（10），该防尘壳（10）滑动连接在支撑柱（6）表面，且防尘壳（10）顶侧卡合连接有顶盖（14）...

【技术特征摘要】
1.一种悬臂式探针卡固化装置，其特征在于，包括：放置板（1）、放置壳（2）、支撑腿（3）、底座（4）、防尘调节机构以及固定机构；其中所述放置板（1）底侧固定连接有支撑腿（3），且支撑腿（3）底端固定连接有底座（4）；所述放置板（1）顶侧固定连接支撑柱（6），且支撑柱（6）外侧设有固定连接在放置板（1）表面的放置壳（2）；
所述防尘调节机构包括：连接柱（7）、防尘壳（10）、磁铁板（9）、第一铁板（5）以及第二铁板（8），所述连接柱（7）滑动连接在放置板（1）上；所述连接柱（7）顶端固定连接有防尘壳（10），该防尘壳（10）滑动连接在支撑柱（6）表面，且防尘壳（10）顶侧卡合连接有顶盖（14）；所述连接柱（7）底端固定连接有磁铁板（9）；所述底座（4）顶侧固定连接有第一铁板（5）；所述放置板（1）底侧固定连接有第二铁板（8）；
所述固定机构包括：方针架（11）、调节螺栓（12）、探针套（16）、树脂薄膜贴（15）以及探针（13），所述方针架（11）固定连接在支撑柱（6）顶端；所述方针架（11）内侧壁粘接有树脂薄膜贴（15），且树脂薄膜贴（15）顶侧设有探针（13）；所述探针（13）末端套接有探针套（16）；所述方针架（11）侧表面螺纹连接有调节螺栓（12），且调节螺栓（12）末端与探针套（16）表面紧密贴合。


2.根据权利要求1所述的一种悬臂式探针卡固化装置，其特征在于：所述支撑腿（3）数目为四个，四个所述支撑腿（3）位于放置板（1）底侧四个拐角位置处。


3.根据权利要求1所述的一种悬臂式探针卡固化装置，其特征在于：所述放置壳（2）数目为两个，且两个放置壳（2）位于放置板（1）顶部相对侧位置处。

【专利技术属性】
技术研发人员：于海超，赵梁玉，王艾琳，周明，
申请(专利权)人：强一半导体苏州有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32