【技术实现步骤摘要】
一种陶瓷金属复合金刚石修整器的制备方法
本专利技术涉及金刚石修整器制备领域，具体涉及一种陶瓷金属复合金刚石修整器的制备方法。
技术介绍
在单晶硅片的制备过程中，需使用研磨盘对单晶硅材料进行平面研磨，铸铁研磨盘使用一段时间后会因研磨砂的研磨作用有所消耗，其表面的平面度误差随之增大，此时需用修整器对铸铁研磨盘进行平面修整。有一种在基体工作面电镀金刚石的修整器(参见附图1)，利用金刚石磨料磨削铸铁磨盘，但这种电镀金刚石修整器的工作层厚度小，工作寿命低，使用成本较高。陶瓷结合剂金刚石磨具具有磨削精度好、磨削效率高、使用寿命长等优点，在借鉴陶瓷结合剂金刚石磨具的制备工艺，开发陶瓷结合剂工作层的金刚石修整器的过程中，陶瓷工作层难以整体成型，需将分体式的工作结块通过环氧胶粘接在金属基体上，粘接得到的工作层平整度误差大，需后继通过磨削处理将工作面加工平整。但由于工作层中含有大量金刚石，难以进行大去除量的磨削加工；同时受制备工艺限制，陶瓷结合剂金刚石工作层为多孔结构，强度差，在修磨过程中易局部破碎脱落而划伤铸铁磨盘，进而阻碍研...
【技术保护点】
1.一种陶瓷金属复合金刚石修整器的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：/n步骤一、制备陶瓷结合剂：称取原料混匀并加热熔融，再经水淬及研磨，得到陶瓷结合剂粉体；/n步骤二、制备金刚石工作层粉末坯体：根据陶瓷金属复合金刚石修整器的具体规格和金刚石工作层的形状，制备相应的成型钢模；将金刚石工作层粉末原料研磨混匀后得到的成型料，投入到成型钢模中，定容成型后得到金刚石工作层粉末坯体；其中，金刚石工作层粉末原料包括所述步骤一得到的陶瓷结合剂粉体；/n步骤三、制备多孔陶瓷结合剂金刚石烧结体：将上述步骤二得到的金刚石工作层粉末坯体经干燥及多次升温、降温及保温处理后，冷却得到多孔陶瓷结合剂金...
【技术特征摘要】
1.一种陶瓷金属复合金刚石修整器的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
步骤一、制备陶瓷结合剂：称取原料混匀并加热熔融，再经水淬及研磨，得到陶瓷结合剂粉体；
步骤二、制备金刚石工作层粉末坯体：根据陶瓷金属复合金刚石修整器的具体规格和金刚石工作层的形状，制备相应的成型钢模；将金刚石工作层粉末原料研磨混匀后得到的成型料，投入到成型钢模中，定容成型后得到金刚石工作层粉末坯体；其中，金刚石工作层粉末原料包括所述步骤一得到的陶瓷结合剂粉体；
步骤三、制备多孔陶瓷结合剂金刚石烧结体：将上述步骤二得到的金刚石工作层粉末坯体经干燥及多次升温、降温及保温处理后，冷却得到多孔陶瓷结合剂金刚石烧结体；
步骤四、制备浸渗金属粉末块体：称取金属粉末原料混匀，根据多孔陶瓷结合剂金刚石烧结体的体积和气孔率，算出理论上浸渗所需的金属粉末的质量，按理论所需量的1.05-1.1倍称取混匀的金属粉末，投入金刚石工作层成型模具中，经加压、保压后，脱模，获得与多孔陶瓷结合剂金刚石烧结体形状一样的金属粉末块体；
步骤五、制备陶瓷金属复合金刚石修整器：取金刚石修整器基体，将其表面清洗晾干后，在金刚石修整器基体上的指定位置依次放置上述步骤三中得到的多孔陶瓷结合剂金刚石烧结体以及上述步骤四中得到的浸渗金属粉末块体，在真空下经升温、保温及冷却后，将金刚石工作层加工平整，得到陶瓷金属复合金刚石修整器。
2.根据权利要求1所述的一种陶瓷金属复合金刚石修整器的制备方法，其特征在于：所述步骤一中，陶瓷结合剂的配方按质量百分比计，包括：
3.根据权利要求1所述的一种陶瓷金属复合金刚石修整器的制备方法，其特征在于：所述步骤一中，将称取的各原料混匀后以5-6℃/min的速率升温至1300-1350℃，保温1-2h后得到熔融的陶瓷结合剂；然后将熔融的陶瓷结合剂倒入冷水中，收集结合剂碎块，并将结合剂碎块球磨12-16h后，烘干，再研磨后筛分，获得陶瓷结合剂粉体。
4.根据权利要求1所述的一种陶瓷金属复合金刚石修整器的制备方法，其特征...
【专利技术属性】
技术研发人员：姜洪义，郭兵健，邱俊豪，
申请(专利权)人：武汉理工大学，
类型：发明
国别省市：湖北;42
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