【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】使用波导的倏逝波的粒子密度传感器本公开涉及小型空气粒子的检测。需要一种紧凑并且容易获得的粒子传感器装置，以能够快速且容易地检查环境中的空气粒子，尤其是直径为2.5μm或更小的粒子。这种粒子干扰光的传播，并且能够通过它们对电磁辐射的散射效应来检测，该电磁辐射由在光学传感器装置中设置的光源发射。本专利技术的目的是提供一种提高灵敏度的紧凑型粒子传感器装置。这个目的通过根据权利要求1的粒子传感器装置实现。实施例源于从属权利要求。粒子传感器装置包括：衬底、光电检测器、在衬底上或衬底上方的电介质、电磁辐射源和衬底中的衬底通孔。衬底通孔暴露于环境，特别是环境空气。在电介质中或电介质上方设置有波导。由电磁辐射源发射的电磁辐射在衬底通孔的一侧耦合到波导的一部分。波导的另外的部分设置在衬底通孔的另一侧与光电检测器相对的位置，使得所述部分位于衬底通孔的不同侧。波导横穿两侧之间的衬底通孔。在粒子传感器装置的实施例中，波导包括相对于彼此平行并且横向设置的多个单独的波导，单独的波导中的每个横穿衬底通孔。在另外的实施例中，波导包括在衬底上方...
【技术保护点】
1.一种粒子传感器装置，包括：/n衬底(1)，/n光电检测器(3)，/n所述衬底(1)上或衬底上方的电介质(4)，/n电磁辐射源(5)，以及/n所述衬底(1)中的衬底通孔(6)，/n其特征在于，/n所述衬底通孔(6)暴露于环境，/n在所述电介质(4)中或电介质上方设置有波导(7)，来自所述电磁辐射源(5)的电磁辐射耦合到所述波导(7)的一部分(7.1)，/n所述波导(7)的另外的部分(7.2)设置在所述光电检测器(3)处，并且/n所述波导(7)在所述部分(7.1)与所述另外的部分(7.2)之间的位置处横穿衬底通孔(6)。/n
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20171215 EP 17207761.21.一种粒子传感器装置，包括：
衬底(1)，
光电检测器(3)，
所述衬底(1)上或衬底上方的电介质(4)，
电磁辐射源(5)，以及
所述衬底(1)中的衬底通孔(6)，
其特征在于，
所述衬底通孔(6)暴露于环境，
在所述电介质(4)中或电介质上方设置有波导(7)，来自所述电磁辐射源(5)的电磁辐射耦合到所述波导(7)的一部分(7.1)，
所述波导(7)的另外的部分(7.2)设置在所述光电检测器(3)处，并且
所述波导(7)在所述部分(7.1)与所述另外的部分(7.2)之间的位置处横穿衬底通孔(6)。
2.根据权利要求1所述的粒子传感器装置，其中，所述波导(7)包括相对于彼此平行并且横向设置的多个单独的波导，所述单独的波导中的每个横穿衬底通孔(6)。
3.根据权利要求1或2所述的粒子传感器装置，其中，所述波导(7)包括在衬底(1)上方平行并且在不同的水平设置的多个单独的波导，所述单独的波导中的每个横穿衬底通孔(6)。
4.根据权利要求1至3之一所述的粒子传感器装置，其中，所述电磁辐射源(5)集成在衬底(1)中或集成在电介质(4)中。
5.根据权利要求1至4之一所述的粒子传感器装置，其中，所述电磁辐射源(5)是垂直腔面发射激光器。
6.根据权利要求1至5之一所述的粒子传感器装置，其中，所述光电检测器(3)集成在衬底(1)中。
7.根据权利要求1至6之一所述的粒子传感器装置，还包括：
在所述衬底(1)中形成的集成电路(2)，所述集成电路(2)配置用于光电检测器(3)的工作。
8.根据权利要求1至7之一所述的粒子传感器装置，还包括：
在所述波导(7)的一部分(7...
【专利技术属性】
技术研发人员：约亨·克拉夫特，格奥尔格·勒雷尔，费尔南多·卡斯塔诺，安德森·辛格拉尼，保罗·迈尔霍费尔，
申请(专利权)人：AMS有限公司，格拉茨工业大学，
类型：发明
国别省市：奥地利;AT
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