低温泵、低温泵系统及低温泵的再生方法技术方案

本发明专利技术的低温泵(10)具备低温板(60)及设置于低温板(60)并且能够吸附不凝性气体的吸附区域(64)。吸附区域(64)具备不燃性吸附材料，该不燃性吸附材料含有硅胶作为主要成分。低温泵(10)的再生方法具备如下步骤：向低温泵(10)供给吹扫气体；在低温板温度超过水的三相点温度之前停止向向低温泵(10)供给吹扫气体；在停止供给吹扫气体的同时，或者在停止供给之后，开始低温泵(10)的真空排气；使冷凝于低温泵(10)内的冰通过升华而气化；及根据低温泵(10)内的压力及压力上升率中的至少一个停止低温泵(10)的真空排气。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】低温泵、低温泵系统及低温泵的再生方法
本专利技术涉及一种低温泵、低温泵系统及低温泵的再生方法。
技术介绍
低温泵是通过冷凝或吸附将气体分子捕捉于冷却至超低温的低温板而进行排气的真空泵。低温泵通常用于实现半导体电路制造工艺等中要求的清洁的真空环境。低温泵是所谓的气体捕集式真空泵，因此需要定期进行将捕捉到的气体向外部排出的再生。以往技术文献专利文献专利文献1：日本特开2016-191374号公报专利文献2：日本特开平5-263760号公报
技术实现思路
专利技术要解决的技术课题本专利技术的一实施方式的示例性目的之一在于提供一种排出不凝性气体的新的低温泵。用于解决技术课题的手段根据本专利技术的一实施方式，低温泵具备低温板和设置于所述低温板并且能够吸附不凝性气体的吸附区域，所述吸附区域具备不燃性吸附材料，该不燃性吸附材料含有硅胶作为主要成分。根据本专利技术的一实施方式，低温泵系统具备上述低温泵、至少一个其他低温泵、在低温泵和至少一个其他低温泵中共用的粗抽泵、及接收各低温本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种低温泵，其特征在于，具备：/n低温板；及/n吸附区域，设置于所述低温板并且能够吸附不凝性气体，/n所述吸附区域具备不燃性吸附材料，所述不燃性吸附材料含有硅胶作为主要成分。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20180425 JP 2018-083687;20181221 JP 2018-2391741.一种低温泵，其特征在于，具备：
低温板；及
吸附区域，设置于所述低温板并且能够吸附不凝性气体，
所述吸附区域具备不燃性吸附材料，所述不燃性吸附材料含有硅胶作为主要成分。


2.根据权利要求1所述的低温泵，其特征在于，
所述硅胶具有0.5nm至3.0nm的平均细孔直径。


3.根据权利要求1或2所述的低温泵，其特征在于，
所述硅胶具有2.0nm至3.0nm的平均细孔直径。


4.根据权利要求1～3中任一项所述的低温泵，其特征在于，
所述硅胶是A型硅胶、N型硅胶或RD型硅胶。


5.根据权利要求1～4中任一项所述的低温泵，其特征在于，
所述吸附区域不包含活性碳。


6.根据权利要求1～5中任一项所述的低温泵，其特征在于，还具备：
低温泵壳体；在其内部配置有具有所述吸附区域的所述低温板；
压力传感器，生成表示所述低温泵壳体的内压的压力测定信号；
粗抽阀，安装于所述低温泵壳体并且用于将所述低温泵壳体连接于粗抽泵；
第1压力上升率监视部，接收所述压力测定信号，并在所述粗抽阀开启的期间，根据所述压力测定信号将压力上升率与第1阈值进行比较；
第2压力上升率监视部，接收所述压力测定信号，并且以所述第1压力上升率监视部判定所述压力上升率大于所述第1阈值作为条件，在所述粗抽阀开启的期间，根据所述压力测定信号将所述压力上升率与小于所述第1阈值的第2阈值进行比较；及
粗抽阀驱动部，以所述第2压力上升率监视部判定所述压力上升率小于所述第2阈值作为条件之一而关闭所述粗抽阀。


7.根据权利要求6所述的低温泵，其特征在于，
所述第1阈值被设定为正值，所述第2阈值被设定为负值。


8.根据权利要求6或7所述的低温泵，其特征在于，还具备：
冷凝低温板，配置于所述低温泵壳体内，并且与具有所述吸附区域的所述低温板相比冷却至更高的温度；
温度传感器，生成表示所述冷凝低温板或具有所述吸附区域的所述低温板中的任一个低温板的测定温度的温度测定信号；
吹扫阀，安装于所述低温泵壳体，并且用于将所述低温泵壳体连接于吹扫气体源；
温度监视部，接收所述温度测定信号并将所述测定温度与吹扫停止温度进行比较；及
吹扫阀驱动部，在开始所述低温泵的再生时开启所述吹扫阀，并且以所述温度监视部判定所述测定温度高于所述吹扫停止温度作为条件而关闭所述吹扫阀，
所述粗抽阀驱动部以所述温度监视部判定所述测定温度高于所述吹扫停止温度作为条件而开启所述粗抽阀，
所述吹扫停止温度设定为低于水的三相点温度的温度值。


9.根据权利要求6～8中任一项所述的低温泵，其特征在于，
所述粗抽阀驱动部以所述低温泵壳体的内压低于压力阈值作为追加的条件而关闭所述粗抽阀。


10.根据权利要求6～9中任一项所述的低温泵，其特征在于，
所述粗抽阀驱动部以所述低温泵壳体内的温度高于温度阈值作为追加的条件而关闭所述粗抽阀。


11.根据权利要求1～10中任一项所述的低温泵，其特征在于，
还具备再生控制器，所述再生控制器使所述吸附区域在再生中升温至65℃以上。


12.根据权利要求1～11中任一项所述的低温泵，其特征在于，
还具备压缩机，
所述低温泵进行如下动作：在所述压缩机异常停止的期间使冷凝在所述低温泵内的冰通过升华而气化并将其排出。


13.一种低温泵系统，其特征在于，具备：
权...

【专利技术属性】
技术研发人员：望月健生，
申请(专利权)人：住友重机械工业株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP