一种低振动的低温泵制造技术

本实用新型专利技术公开了一种低振动的低温泵，包含低温泵泵体和制冷机，还包括波纹管、制冷机支撑底座、大理石基座，减震台和制冷机支撑法兰。该低温泵通过波纹管、大理石基座等结构的设置，有效地隔离了制冷机振动对低温泵泵体的振动影响。

【技术实现步骤摘要】
一种低振动的低温泵
本技术低温制冷
，具体涉及一种低温泵。
技术介绍
低温泵是利用低温表面冷凝气体的真空泵，又称冷凝泵。低温泵可以获得抽气速率最大、极限压力最低的清洁真空，广泛应用于半导体和集成电路的研究和生产，以及分子束研究、真空镀膜设备、真空表面分析仪器、离子注入机和空间模拟装置等方面。目前低温泵分为注槽式低温泵、蒸发器式低温泵和制冷机低温泵三种。在实际使用中，制冷机低温泵应用较为广泛，其具有气体抽速大、抽气时间短、压强低等优点。需要说明的是，制冷机低温泵由制冷机提供冷源，由于制冷机本身工作振动较大，使低温泵在工作过程中无法满足特殊设备或腔体抽空的低振动要求。
技术实现思路
本技术针对现有的技术问题作出改进，即技术所要解决的技术问题是提供一种低振动的制冷机低温泵。本技术的技术方案为：一种低振动的低温泵，包含低温泵泵体和制冷机，还包括波纹管、制冷机支撑底座、大理石基座，减震台和制冷机支撑法兰。所述制冷机包括位于其上部的冷头部、位于其中部的径向向外凸起的环形部和制冷机底部，低温泵泵体的底部焊接有泵体法兰，所述冷头部从所述泵体法兰伸入所述低温泵泵体的内腔。所述大理石基座固定安装于所述减震台上，所述波纹管沿其长度方向竖直布置，且位于所述大理石基座上方，所述低温泵泵体位于所述波纹管上方。所述波纹管的上端焊接有波纹管上法兰，其下端焊接有波纹管下法兰。所述泵体法兰与所述波纹管上法兰之间通过螺栓连接，所述波纹管上法兰与所述大理石基座之间通过第一支撑杆连接，所述制冷机支撑底座通过螺栓固定于所述大理石基座上，所述环形部的下表面安装于所述制冷机支撑法兰上，所述制冷机支撑法兰与所述制冷机支撑底座之间通过第二支撑杆连接，所述波纹管下法兰与所述环形部的上表面密封连接。进一步，所述制冷机底部通过支撑柱支撑于所述制冷机支撑底座上。进一步，所述泵体法兰与所述波纹管上法兰之间采用O圈密封。基于上述结构的低温泵，通过波纹管、大理石基座等结构的设置，有效地隔离了制冷机振动对低温泵泵体的振动影响。附图说明图1是本技术所提供的低温泵再生装置与低温泵和控制器的连接示意图。图2是本技术所提供的低温泵再生装置内部各组成的连接框图。具体实施方式以下描述用于揭露本技术以使本领域技术人员能够实现本技术。以下描述中的优选实施例只作为举例，本领域技术人员可以想到其他显而易见的变型。如图1和图2所示，本技术实施例所提供的低振动的低温泵包括低温泵泵体1、冷屏连接件2、冷屏3、吸附阵4、障板5和制冷机。冷头部20a伸入低温泵泵体内，考虑到所制冷机冷头部结构，冷屏连接件2便于冷屏安装，与冷头部20a和冷屏3都是螺栓连接方式，在装泵前，冷屏连接件2先安装在冷头部20a相应位置后，再安装冷屏3。低温泵泵体1的底部焊接有泵体法兰14。制冷机包括位于其上部的冷头部20a、位于其中部的径向向外凸起的环形部20b和制冷机底部20c。整个制冷机的冷头部20a从泵体法兰14伸入低温泵泵体1的内腔。低温泵泵体1、冷屏连接件2、冷屏3、吸附阵4、障板5和冷头部20的相对位置及相应连接关系为现有技术，这里不再详述。低振动的低温泵还包括波纹管6、制冷机支撑底座8、大理石基座9，减震台10、制冷机支撑法兰11。减震台10为现有技术，大理石基座9固定安装于减震台10上。波纹管6沿其长度方向竖直布置，且位于大理石基座9上方。低温泵泵体1位于波纹管6上方。波纹管6的上端焊接有波纹管上法兰13，其下端焊接有波纹管下法兰12。低温泵泵体1底部的泵体法兰14与波纹管上法兰13之间通过螺栓连接，两法兰接口处采用0圈密封。波纹管上法兰13与大理石基座9之间通过第一支撑杆16连接。制冷机支撑底座8通过螺栓固定于大理石基座9上。环形部20b的下表面安装于制冷机支撑法兰11上，制冷机支撑法兰11与制冷机支撑底座8之间通过第二支撑杆15连接。此外，制冷机底部20c另通过支撑柱7支撑于制冷机支撑底座8上。波纹管下法兰12与环形部20b的上表面密封连接。以上显示和描述了本技术的基本原理、主要特征和本技术的优点。本行业的技术人员应该了解，本技术不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是本技术的原理，在不脱离本技术精神和范围的前提下本技术还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本技术的范围内。本技术的保护范围由所附的权利要求书及其等同物界定。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种低振动的低温泵，包含低温泵泵体和制冷机，其特征在于，还包括波纹管、制冷机支撑底座、大理石基座，减震台和制冷机支撑法兰，/n所述制冷机包括位于其上部的冷头部、位于其中部的径向向外凸起的环形部和制冷机底部，低温泵泵体的底部焊接有泵体法兰，所述冷头部从所述泵体法兰伸入所述低温泵泵体的内腔，/n所述大理石基座固定安装于所述减震台上，所述波纹管沿其长度方向竖直布置，且位于所述大理石基座上方，所述低温泵泵体位于所述波纹管上方，/n所述波纹管的上端焊接有波纹管上法兰，其下端焊接有波纹管下法兰，/n所述泵体法兰与所述波纹管上法兰之间通过螺栓连接，所述波纹管上法兰与所述大理石基座之间通过第一支撑杆连接，所述制冷机支撑底座通过螺栓固定于所述大理石基座上，所述环形部的下表面安装于所述制冷机支撑法兰上，所述制冷机支撑法兰与所述制冷机支撑底座之间通过第二支撑杆连接，所述波纹管下法兰与所述环形部的上表面密封连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种低振动的低温泵，包含低温泵泵体和制冷机，其特征在于，还包括波纹管、制冷机支撑底座、大理石基座，减震台和制冷机支撑法兰，
所述制冷机包括位于其上部的冷头部、位于其中部的径向向外凸起的环形部和制冷机底部，低温泵泵体的底部焊接有泵体法兰，所述冷头部从所述泵体法兰伸入所述低温泵泵体的内腔，
所述大理石基座固定安装于所述减震台上，所述波纹管沿其长度方向竖直布置，且位于所述大理石基座上方，所述低温泵泵体位于所述波纹管上方，
所述波纹管的上端焊接有波纹管上法兰，其下端焊接有波纹管下法兰，
所述泵体法兰与所述波纹管上...

【专利技术属性】
技术研发人员：武义锋，邓家良，张海峰，何超峰，郁欢强，
申请(专利权)人：安徽万瑞冷电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽;34