一种功率器件老化考核用加热装置制造方法及图纸

本发明专利技术实施例涉及一种功率器件老化考核用加热装置，所述装置包括：所述装置包括：控制电路和一个或多个独立控制单元；每个独立控制单元包括：继电器、恒温加热器和温度探头；所述恒温加热器与所述继电器相连接，所述继电器与所述控制电路相连接，所述温度探头与所述控制电路相连接；被考核器件的背面设置于恒温加热器上；温度探头与被考核器件的正面相接触，用以检测器件表面温度，并生成温度检测信号；所述控制电路根据每一温度探头发送的温度检测信号，生成对相应独立控制单元的控制输出信号，用以控制各个独立控制单元的继电器的通断，从而控制恒温加热器对该独立控制单元中的被考核器件的加热时间。

【技术实现步骤摘要】
一种功率器件老化考核用加热装置
本专利技术涉及半导体器件
，尤其涉及一种功率器件老化考核用加热装置。
技术介绍
功率器件在正式投入量产之前和批量生产过程中，为了确保器件在工作条件下的寿命能够满足我们的要求，会安排进行高温高压的加速寿命模拟老化考核。目前垂直导电双扩散结构场效应管(VDMOS)的可靠性老化常规的有高温漏源电压反偏(Hightemperaturereversebias，HTRB)和高温栅源电压反偏(Hightemperaturegatebias，HTGB)，其中HTGB是对栅极和源极之间的栅氧进行老化考核，因为它电压较低，一般不超过20V。而HTRB考核一般是在漏源电之间加上器件标称漏源工作电压的80％，并在高温下进行考核。目前普遍使用的商业生产的老化考核设备，主要包括高温烘箱、控制电脑、电压源和老化板等及部分组成。高温烘箱是使用不锈钢发热管通电后发热，经过高效离心风机利用空气流动将发热管中的热量带到工作室内部，在工作室内与被烘烤物品进行热量交换，以达到烘烤或加温目的。当前设备通过加热环境空气温度来使被考核器件升温，实本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种功率器件老化考核用加热装置，其特征在于，所述装置包括：控制电路和一个或多个独立控制单元；/n每个独立控制单元包括：继电器、恒温加热器和温度探头；所述恒温加热器与所述继电器相连接，所述继电器与所述控制电路相连接，所述温度探头与所述控制电路相连接；/n被考核器件的背面设置于恒温加热器上；/n温度探头与被考核器件的正面相接触，用以检测器件表面温度，并生成温度检测信号；/n所述控制电路根据每一温度探头发送的温度检测信号，生成对相应独立控制单元的控制输出信号，用以控制各个独立控制单元的继电器的通断，从而控制恒温加热器对该独立控制单元中的被考核器件的加热时间。/n

【技术特征摘要】
1.一种功率器件老化考核用加热装置，其特征在于，所述装置包括：控制电路和一个或多个独立控制单元；
每个独立控制单元包括：继电器、恒温加热器和温度探头；所述恒温加热器与所述继电器相连接，所述继电器与所述控制电路相连接，所述温度探头与所述控制电路相连接；
被考核器件的背面设置于恒温加热器上；
温度探头与被考核器件的正面相接触，用以检测器件表面温度，并生成温度检测信号；
所述控制电路根据每一温度探头发送的温度检测信号，生成对相应独立控制单元的控制输出信号，用以控制各个独立控制单元的继电器的通断，从而控制恒温加热器对该独立控制单元中的被考核器件的加热时...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵秋森，
申请(专利权)人：无锡摩斯法特电子有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32