图案化复合装置及其动作方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供图案化复合装置。上述图案化复合装置包括：图案化模块，安装有包括与目标基板接触或分离的主图案的主板，向上述目标基板施加压力来在上述目标基板形成具有上述主图案的逆像的多个目标图案；以及穿孔模块，包括与形成有上述多个目标图案的上述目标基板接触或分离的穿孔模具，向上述目标基板施加压力来分割上述多个目标图案中的至少一个。

【技术实现步骤摘要】
图案化复合装置及其动作方法
本专利技术涉及图案化复合装置及其动作方法，更详细地，涉及图案化复合装置及其动作方法，即，在目标基板形成多个目标图案，在形成的多个目标图案中分割至少一个。
技术介绍
为了克服对于超过曝光装备的边际分辨率的微细图案的光刻的光学限制，使用了在形成感光膜之后，将上述感光膜图案加热至感光膜的玻璃转移温度以上并进行软熔焊接(Reflow)来形成微细感光膜图案的工序和利用化学收缩辅助抗蚀增强光刻(RELACS，ResistEnhancementLithographyAssistedbyChemicalShrink)物质的工序等。但是，在感光膜软熔焊接或化学收缩辅助抗蚀增强光刻工序的情况下，因分辨率限界及感光膜体积减少而几乎无法形成30nm水平的微细图案。由此，正在研究开发解决上述问题的多种微细图案形成方法及装置。例如，在韩国专利授权号10-1000715(申请号码：10-2008-0086923，申请人：延世大学产学合作团)揭示了与图案化对象物的种类和厚度等无关，可通过一定的性能稳定地执行图案化的图案化装置及利用其的图案化本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种图案化复合装置，其特征在于，包括：/n图案化模块，安装有包括与目标基板接触或分离的主图案的主板，向上述目标基板施加压力来在上述目标基板上形成具有上述主图案的逆像的多个目标图案；以及/n穿孔模块，包括与形成有上述多个目标图案的上述目标基板接触或分离的穿孔模具，向上述目标基板施加压力来分割上述多个目标图案中的至少一个。/n

【技术特征摘要】
20190521 KR 10-2019-00593011.一种图案化复合装置，其特征在于，包括：
图案化模块，安装有包括与目标基板接触或分离的主图案的主板，向上述目标基板施加压力来在上述目标基板上形成具有上述主图案的逆像的多个目标图案；以及
穿孔模块，包括与形成有上述多个目标图案的上述目标基板接触或分离的穿孔模具，向上述目标基板施加压力来分割上述多个目标图案中的至少一个。


2.根据权利要求1所述的图案化复合装置，其特征在于，
上述目标基板及上述主图案多次接触，
当每次接触时，使得上述主图案与上述目标基板上的不同区域相接触。


3.根据权利要求1所述的图案化复合装置，其特征在于，
形成有上述多个目标图案的上述目标基板包括沿着第一方向延伸的第一分割区域及沿着与第一方向不同的第二方向延伸的第二分割区域，
上述多个目标图案通过上述第一分割区域及上述第二分割区域形成行及列并二维排列。


4.根据权利要求3所述的图案化复合装置，其特征在于，
上述穿孔模具包括沿着上述第一方向延伸的第一切割部及沿着上述第二方向延伸的第二切割部，
包括通过上述第一切割部及第二切割部形成行及列并二维排列的多个凹陷图案。


5.根据权利要求4所述的图案化复合装置，其特征在于，在形成有上述多个目标图案的上述目标基板与上述穿孔模具相接触的情况下，上述第一分割区域及上述第一切割部相向，上述第二分割区域及上述第二切割部相向。


6.根据权利要求1所述的图案化复合装置，其特征在于，还包括沿着第一方向及形成与上述第一方向相垂直的方向的第二方向移动并配置上述目标基板的载物台。


7.根据权利要求6所述的图案化复合装置，其特征在于，根据上述载物台的移动，上述目标基板沿着上述第一方向及第二方向移动。


8.根据权利要求6所述的图案化复合装置，其特征在于，上述载物台包括：
第一载物台，为了形成上述多个目标图案而使上述目标基板移动；以及
第二载物台，为了分割上述多个目标图...

【专利技术属性】
技术研发人员：朴云翼，朴泰玩，金光浩，
申请(专利权)人：韩国陶瓷技术院，财团法人未来素材研究团，
类型：发明
国别省市：韩国;KR