下载图案化复合装置及其动作方法的技术资料

文档序号:26477844

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本发明提供图案化复合装置。上述图案化复合装置包括:图案化模块,安装有包括与目标基板接触或分离的主图案的主板,向上述目标基板施加压力来在上述目标基板形成具有上述主图案的逆像的多个目标图案;以及穿孔模块,包括与形成有上述多个目标图案的上述目标基...
该专利属于韩国陶瓷技术院;财团法人未来素材研究团所有,仅供学习研究参考,未经过韩国陶瓷技术院;财团法人未来素材研究团授权不得商用。

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