监控系统、监控方法、监控终端及存储介质技术方案

本申请提供了一种监控系统、监控方法、监控终端及存储介质，涉及监控技术领域，能够较好地进行晶圆测试数据的监控，适用范围广。该监控系统包括：测试终端、监控终端和探针台，其中，所述监控终端分别与所述测试终端和所述探针台连接；所述测试终端，用于输出目标测试数据及测试指令；所述目标测试数据为所述测试终端控制所述探针台的测试晶圆时得到的测试数据；所述测试指令用于指示所述探针台对晶圆进行电测试；所述监控终端，用于当所述目标测试数据不满足预设条件时，停止将所述测试终端的所述测试指令发送至所述探针台。

【技术实现步骤摘要】
监控系统、监控方法、监控终端及存储介质
本申请属于监控
，尤其涉及一种监控系统、监控方法、监控终端及存储介质。
技术介绍
随着集成电路技术的不断发展，集成电路的功能越来越复杂、集成度越来越高、需求量和使用量越来越大，集成电路逐渐成为现代工业的基础和支柱。在集成电路的生产过程中，集成电路测试分为两个大的工序：晶圆测试(CP)和IC成品测试(FT)，晶圆测试在前，IC成品测试在后。其中，对于晶圆测试，主要是预先将测试终端与探针台连接，利用测试终端控制探针台完成晶圆测试。且现有的晶圆测试方式是将测试终端与探针台连接，且探针台只支持接收测试终端发送的测试结果，如测试通过或测试失败，使得测试终端与探针台之间的交互信息也只限于每一次开始测试信号、结束测试信号和每一次的测试结果等信息，且只能基于测试结果对晶圆的良品率、连续失效等常规异常情况进行监控报警，且当出现异常时停止控制探针台对晶圆进行测试。然而，因现有的测试终端和探针台的功能限制原因，并不能具体针对测试项目中某一目标测试数据进行监控，导致晶圆测试异常，也无法暂停测试，不便于检查异常出现的原因，即现有的晶圆测试方式存在着适用范围小的问题。
技术实现思路
本申请实施例提供了一种监控系统、监控方法、监控终端及存储介质，以解决现有的晶圆测试方式适用范围小的问题。第一方面，本申请实施例提供了一种监控系统，包括测试终端、监控终端和探针台，其中，所述监控终端分别与所述测试终端和所述探针台连接；所述测试终端，用于输出目标测试数据及测试指令；所述目标测试数据为所述测试终端控制所述探针台对晶圆片中的芯片进行测试时得到的测试数据；所述测试指令用于指示所述探针台对晶圆片中的芯片进行测试；所述监控终端，用于当所述目标测试数据不满足预设条件时，停止将所述测试终端的所述测试指令发送至所述探针台。以上方案，在监控系统中配置监控终端、测试终端和探针台，将监控终端分别与测试终端和探针台连接，通过监控终端获取到测试终端发送的目标测试数据及测试指令，并确定目标测试数据是否满足预设条件，若目标测试数据不满足预设条件时，即可及时发现异常的测试数据，且监控终端停止将测试终端的测试指令发送至探针台，从而及时地暂停晶圆测试，以可以及时地检查异常出现的原因，扩宽监控系统的适用范围，能够较好地进行晶圆测试数据的监控。可选的，所述目标测试数据包括目标测试项目的测试结果及基于所述目标测试项目测试得到的电参数测试值。可选的，所述监控终端，用于当连续多个所述测试结果指示测试正常，及每个所述测试结果对应的所述电参数测试值与多个电参数测试值的平均值的偏差值均大于预设偏差值时，停止将所述测试终端的测试指令发送至探针台。可选的，所述监控终端，用于当所述测试结果指示测试正常，及所述电参数测试值与预设的电参数测试值的差值大于预设差值时，停止将所述测试终端的测试指令发送至探针台。可选的，所述监控终端，还用于获取所述探针台记录的芯片信息，根据所述芯片信息和与所述芯片信息对应的目标测试数据，生成目标文件。可选的，所述目标文件包括晶圆图、数据日志中的一种或多种。第二方面，本申请实施例提供了一种监控方法，应用于监控终端，所述方法包括：获取测试终端发送的目标测试数据及测试指令；当所述目标测试数据不满足预设条件时，停止将所述测试终端的所述测试指令发送至探针台。可选的，所述目标测试数据包括每个测试项目的测试结果及基于每个所述测试项目测试得到的电参数测试值；所述当所述目标测试数据不满足预设条件时，停止将所述测试终端的所述测试指令发送至探针台，包括：当所述测试结果指示测试正常，及所述电参数测试值与预设的电参数测试值的差值大于预设差值时，停止将所述测试终端的所述测试指令发送至所述探针台。可选的，所述目标测试数据包括每个测试项目的测试结果及基于每个所述测试项目测试得到的电参数测试值；所述当所述目标测试数据不满足预设条件时，停止将所述测试终端的所述测试指令发送至探针台，包括：当连续多个所述测试结果指示测试正常，及每个所述测试结果对应的所述电参数测试值与多个电参数测试值的平均值的偏差值均大于预设偏差值时，停止将所述测试终端的测试指令发送至探针台。第三方面，本申请实施例提供了一种监控终端，其特征在于，包括存储器、处理器以及存储在所述存储器中并可在所述处理器上运行的计算机程序，所述处理器执行所述计算机程序时实现所述的监控方法。第四方面，本申请实施例提供了一种计算机可读存储介质，所述计算机可读存储介质存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时实现所述的监控方法。第五方面，本申请实施例提供了一种计算机程序产品，当计算机程序产品在终端设备上运行时，使得终端设备执行上述第一方面中任一项所述的监控方法。可以理解的是，上述第二方面至第五方面的有益效果可以参见上述第一方面中的相关描述，在此不再赘述。附图说明为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1是本申请一实施例提供的监控系统的结构示意图。图2是本申请一实施例提供的监控方法的流程示意图。图3是本申请一实施例提供的监控终端的结构示意图。具体实施方式以下描述中，为了说明而不是为了限定，提出了诸如特定系统结构、技术之类的具体细节，以便透彻理解本申请实施例。然而，本领域的技术人员应当清楚，在没有这些具体细节的其它实施例中也可以实现本申请。在其它情况中，省略对众所周知的系统、装置、电路以及方法的详细说明，以免不必要的细节妨碍本申请的描述。如在本申请说明书和所附权利要求书中所使用的那样，术语“如果”可以依据上下文被解释为“当...时”或“一旦”或“响应于确定”或“响应于检测到”。类似地，短语“如果确定”或“如果检测到[所描述条件或事件]”可以依据上下文被解释为意指“一旦确定”或“响应于确定”或“一旦检测到[所描述条件或事件]”或“响应于检测到[所描述条件或事件]”。另外，在本申请说明书和所附权利要求书的描述中，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。在本申请说明书中描述的参考“一个实施例”或“一些实施例”等意味着在本申请的一个或多个实施例中包括结合该实施例描述的特定特征、结构或特点。由此，在本说明书中的不同之处出现的语句“在一个实施例中”、“在一些实施例中”、“在其他一些实施例中”、“在另外一些实施例中”等不是必然都参考相同的实施例，而是意味着“一个或多个但不是所有的实施例”，除非是以其他方式另外特别强调。术语“包括”、“包含”、“具有”及它们的变形都意味着“包括但不限于”，除非是以其他方式另外特别强调。为了说明本申请所述本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种监控系统，其特征在于，包括测试终端、监控终端和探针台，其中，所述监控终端分别与所述测试终端和所述探针台连接；/n所述测试终端，用于输出目标测试数据及测试指令；所述目标测试数据为所述测试终端控制所述探针台对晶圆片中的芯片进行测试时得到的测试数据；所述测试指令用于指示所述探针台对晶圆片中的芯片进行测试；/n所述监控终端，用于当所述目标测试数据不满足预设条件时，停止将所述测试终端的所述测试指令发送至所述探针台。/n

【技术特征摘要】
1.一种监控系统，其特征在于，包括测试终端、监控终端和探针台，其中，所述监控终端分别与所述测试终端和所述探针台连接；
所述测试终端，用于输出目标测试数据及测试指令；所述目标测试数据为所述测试终端控制所述探针台对晶圆片中的芯片进行测试时得到的测试数据；所述测试指令用于指示所述探针台对晶圆片中的芯片进行测试；
所述监控终端，用于当所述目标测试数据不满足预设条件时，停止将所述测试终端的所述测试指令发送至所述探针台。


2.如权利要求1所述的监控系统，其特征在于，所述目标测试数据包括目标测试项目的测试结果及基于所述目标测试项目测试得到的电参数测试值。


3.如权利要求2所述的监控系统，其特征在于，所述监控终端，用于当连续多个所述测试结果指示测试正常，及每个所述测试结果对应的所述电参数测试值与多个电参数测试值的平均值的偏差值均大于预设偏差值时，停止将所述测试终端的测试指令发送至探针台。


4.如权利要求2所述的监控系统，其特征在于，所述监控终端，用于当所述测试结果指示测试正常，及所述电参数测试值与预设的电参数测试值的差值大于预设差值时，停止将所述测试终端的测试指令发送至探针台。


5.如权利要求1所述的监控系统，其特征在于，所述监控终端，用于获取所述探针台记录的芯片信息，根据所述芯...

【专利技术属性】
技术研发人员：王英广，游彩锋，赖永达，郑汉钦，韦敏荣，龚荣，刘活，李安平，
申请(专利权)人：深圳安博电子有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44