加速度传感器核心单元和防止载置加速度传感器的基板挠曲的方法技术

本发明专利技术提供加速度传感器核心单元和防止载置加速度传感器的基板挠曲的方法。加速度传感器核心单元(1)具有基板(3)、金属板(4、5)。基板(3)是环氧树脂制的，载置有检测箭头(105)方向的振动加速度的加速度传感器(11)。基板(3)被金属板(4、5)以三明治状夹着。在基板(3)与金属板(4)之间夹设有环状的金属间隔件(7a～7c)，在基板(3)与金属板(5)之间夹设有环状的金属间隔件(8a～8c)。将基板(3)与金属板(4、5)在3处部位螺钉固定在一起，因此能够以较小的安装空间并且可靠地将基板(3)固定于金属板(4、5)。由此，能够确保加速度传感器核心单元(1)的刚性。

【技术实现步骤摘要】
加速度传感器核心单元和防止载置加速度传感器的基板挠曲的方法
本专利技术涉及加速度传感器，尤其涉及防止载置加速度传感器的基板挠曲。
技术介绍
在专利文献1中公开了将通过MEMS工艺(半导体微细加工)制作出的加速度传感器(以下，称作MEMS加速度传感器)收纳于壳体内而成的传感器单元。该传感器单元是3轴向的加速度传感器。作为该MEMS加速度传感器，公知有专用于1个轴向的检测的小型加速度传感器。专利技术人专利技术了将该小型加速度传感器载置于基板上并收纳于壳体内而成的核心单元。使用图1对该核心单元进行说明。如图1A所示，核心单元112具有基板101和台座103。如图1B所示，台座103呈L字构造，基板101被4处螺钉固定于该台座103的侧面。在基板101的与台座103对置的面上，小型加速度传感器104被固定于安装螺钉附近。另外，小型加速度传感器104检测箭头105方向的振动加速度。通过将该核心单元112收纳于壳体(未图示)内，由此安装场所的自由度提高。专利文献1：WO2015/145489号公报然而本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种加速度传感器核心单元，其特征在于，/n该加速度传感器核心单元具有：/n基板，其在正面载置有加速度传感器；/n第1加强板，其隔着空间形成部件固定于所述基板的正面侧，来抑制所述基板挠曲；以及/n第2加强板，其隔着空间形成部件固定于所述基板的背面侧，来抑制所述基板挠曲。/n

【技术特征摘要】
20190522 JP 2019-0956401.一种加速度传感器核心单元，其特征在于，
该加速度传感器核心单元具有：
基板，其在正面载置有加速度传感器；
第1加强板，其隔着空间形成部件固定于所述基板的正面侧，来抑制所述基板挠曲；以及
第2加强板，其隔着空间形成部件固定于所述基板的背面侧，来抑制所述基板挠曲。


2.根据权利要求1所述的加速度传感器核心单元，其特征在于，
所述第1加强板、所述第2加强板与所述基板平行。


3.根据权利要求1所述的加速度传感器核心单元，其特征在于，
所述第1加强板、所述第2加强板与所述基板在3处部位被固定在一起。


4.根据权利要求2所述的加速度传感器核心单元，其特征在于，
所述第1加强板、所述第2加强板与所述基板在3处部位被固定在一起。


5.根据权利要求1至4中的任意一项所述的加速度传感器核心单元，其特征在于，
所述传感器检测与所述基板平行的方向的加速度。...

【专利技术属性】
技术研发人员：小林敏之，川平孝雄，
申请(专利权)人：爱睦威株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP